【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及芯片检测装置，尤其是涉及一种瞬时高、低温转化测试芯片用探针装置及其测试方法。
技术介绍
1、伴随智能化的快速发展，芯片的需求量越来越大，芯片检测技术的作用越来越举足轻重。芯片在现代社会中广泛应用于通信、计算机、消费电子等领域，对芯片进行瞬时高、低温转化测试检测的需求迫在眉睫。传统的测试用探针装置进行单一的高温或低温检测具有低效率、成本高等问题，对推进测量芯片性能的发展造成了巨大阻碍。
技术实现思路
1、本专利技术要解决的技术问题是：为了解决传统的测试用探针装置进行单一的高温或低温检测具有低效率、成本高的问题，现提供了一种瞬时高、低温转化测试芯片用探针装置及其测试方法。
2、本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种瞬时高、低温转化测试芯片用探针装置，包括底座及可拆卸安装在底座上的盖板，所述底座和盖板之间设置有用于放置待检测芯片的空腔体，所述盖板上设置有用于检测芯片的探针，还包括压缩机、第一储气瓶、第二储气瓶和至少一个涡流管制冷器，所述压缩机的输出端与涡流管制冷器的涡旋室连通，所述涡流管制冷器的冷端与第一储气瓶连通，所述涡流管制冷器的热端与第二储气瓶连通，所述第一储气瓶的输出端和第二储气瓶的输出端均与空腔体连通，所述第一储气瓶的输出端上设置有第一阀门，所述第二储气瓶的输出端上设置有第二阀门。相比于现有技术，本方案通过压缩机、涡流管制冷器、第一储气瓶和第二储气瓶配合，在第一储气瓶和第二储气瓶内存储所需温度的气体，并通过控制第一阀门和第二阀门向口腔体内输送
3、为了便于控制所需温度气体，优选地一些实施方式，所述涡流管制冷器的冷端与第一储气瓶之间设置有第三阀门。通过第三阀门可以控制涡流管制冷器的冷端，控制涡流管制冷器的冷端的气体进行输送至第一储气瓶或者切断第一储气瓶的连通，满足使用要求。
4、为了便于控制所需温度气体，优选地一些实施方式，所述涡流管制冷器的热端与第二储气瓶之间设置有第四阀门。通过第四阀门可以控制涡流管制冷器的热端，控制涡流管制冷器的热端的气体进行输送至第二储气瓶或者切断第二储气瓶连通，满足使用要求。
5、为了提高检测效率，优选地一些实施方式，所述底座和盖板之间设置有第一储气室和第二储气室，所述第一储气室分别与第一储气瓶的输入端和空腔体连通，所述第一储气室上设置有用于切断或者连通空腔体或第一储气瓶的第五阀门，所述第一储气室上设置有用于向外部排气的第六阀门，所述第二储气室分别与第二储气瓶的输入端和空腔体连通，所述第二储气室上设置有用于切断或者连通空腔体或第二储气瓶的第七阀门，所述第二储气室上设置有用于向外部排气的第八阀门。通过在底座和盖板之间设置有第一储气室和第二储气室，第一储气室和第二储气室可以先将一部分的气体排输送所对应的第一储气室或第二储气室内存储，后续在检测时将存储的气体输送至空腔体内，大大提高检测效率。
6、为了提高检测效率，优选地一些实施方式，所述涡流管制冷器有两个且相对设置在盖板的两侧。
7、为了保证被测晶圆检测温度可靠，优选地一些实施方式，所述盖板上设置有用于固定被测晶圆的橡胶垫。
8、优选地一些实施方式，所述盖板上设置有pcb板、密封垫和转阶层，所述探针穿过导引板和密封垫并连接在pcb板上，所述导引板位于空腔体内，所述探针的一端穿过导引板并与检测芯片接触。
9、优选地一些实施方式，所述pcb板和盖板之间设置有密封套。密封套确保装置使用过程中无检测气体泄露，保证设备内部温度和压力恒定。
10、一种采用如上述的瞬时高、低温转化测试芯片用探针装置的测试方法，包括如下步骤：
11、s1、旋转底座，将被测晶圆放置于空腔体内，再反向旋转底座并将底座与盖板安装到位；
12、s2、测试探针装置的密封性；
13、s3、测试完成后，当达到密封性要求，闭合第一阀门和第二阀门，打开第五阀门、第七阀门、第六阀门和第八阀门，将空腔体内气体排出；
14、s4、启动压缩机，通过涡流管制冷器分别将所需气体输送至对应的第一储气瓶和第二储气瓶内，等待一段时间，待第一储气瓶和第二储气瓶内部气体至所需温度，关闭第五阀门、第七阀门、第六阀门和第八阀门，并打开第一阀门和/或第二阀门，向空腔体内输送所需气体；
15、s5、等待一段时间，待检测完成，闭合第一阀门和第二阀门，并打开第五阀门、第七阀门、第六阀门和第八阀门，将空腔体内气体排出；
16、s6、等待一段时间，旋转下盖板，将被测晶圆从装置内部取出后，旋紧下盖板，检测完成。
17、优选地一些实施方式，步骤s2中，启动压缩机，并打开第一阀门、第二阀门、第三阀门和第四阀门，闭合第五阀门和第七阀门。
18、本专利技术的有益效果是：本专利技术一种瞬时高、低温转化测试芯片用探针装置及其测试方法在使用时，通过压缩机、涡流管制冷器、第一储气瓶和第二储气瓶配合，在第一储气瓶和第二储气瓶内存储所需温度的气体，并通过控制第一阀门和第二阀门向口腔体内输送所需温度气体，满足多种温度的检测要求，提高检测效率，降低了检测成本，避免了传统的测试用探针装置进行单一的高温或低温检测具有低效率、成本高的问题。
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1.一种瞬时高、低温转化测试芯片用探针装置，包括底座(1)及可拆卸安装在底座(1)上的盖板(2)，所述底座(1)和盖板(2)之间设置有用于放置待检测芯片的空腔体(3)，所述盖板(2)上设置有用于检测芯片的探针(4)，其特征在于：还包括压缩机(5)、第一储气瓶(6)、第二储气瓶(7)和至少一个涡流管制冷器(8)，所述压缩机(5)的输出端与涡流管制冷器(8)的涡旋室连通，所述涡流管制冷器(8)的冷端与第一储气瓶(6)连通，所述涡流管制冷器(8)的热端与第二储气瓶(7)连通，所述第一储气瓶(6)的输出端和第二储气瓶(7)的输出端均与空腔体(3)连通，所述第一储气瓶(6)的输出端上设置有第一阀门(9)，所述第二储气瓶(7)的输出端上设置有第二阀门(10)。
2.根据权利要求1所述的一种瞬时高、低温转化测试芯片用探针装置，其特征在于：所述涡流管制冷器(8)的冷端与第一储气瓶(6)之间设置有第三阀门(11)。
3.根据权利要求1所述的一种瞬时高、低温转化测试芯片用探针装置其特征在于：所述涡流管制冷器(8)的热端与第二储气瓶(7)之间设置有第四阀门(12)。
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