【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及真空镀膜及真空镀膜设备，具体为一种真空镀膜自动加料的方法与装置。
技术介绍
1、真空蒸发镀膜设备，又称真空蒸发镀膜机。其种类较多，型式各异。如果按照其作业方式进行分类，则有间歇式(周期式)、半连续式或连续式等三种类型。真空蒸发卷绕镀膜机则是在真空下应用蒸发方法在柔性基体上实现连续镀膜的一种技术。
2、在一般的真空卷绕热蒸发镀铝机中，镀料为铝丝，采用送料机构加步进电机进行镀料的输送，来保证产品的连续生产。在使用电子束、感应加热等蒸发源类型时，通常采用坩埚进行加热，镀料一般均为颗粒，无自动送料装置，每次工作之前需将大量镀料放入坩埚。此种情况将会出现如下问题：1.随着镀料的消耗，蒸发源到基材的距离将越来越远，将会导致蒸发距离的增加，从而导致产品的不均匀；2.生产能力有限，效率低。
3、江苏菲沃泰纳米科技股份有限公司的cn118086870a真空镀膜自动加料装置用于cvd管式炉，并非应用于蒸镀的坩埚中加料。广东镭宝光电科技有限公司cn216237267u为传统送丝镀铝机。福建金石能源有限公司cn 220116646u一种连续加料真空蒸发镀膜源系统并未考虑颗粒镀料加料。无锡极电光能科技有限公司cn219218130u不适用于卷绕式镀膜设备。
4、本申请人按其设想实施时发现三大技术难题：第一，传统的漏斗式补料无法控制开启与关闭，导致在抽真空期间一直有粉料进入坩埚中，将导致镀料表面高低不平，严重影响到镀膜工艺；第二，振动送料机构很容易引起坩埚表面的共振，对工艺有着严重影响；第三，棒状膜材送料机
5、综上所述，如何在增加自动加料装置时使其不影响正常蒸镀工艺，并可以控制其送料数量与蒸发速率相等。保证长时间运转时蒸发参数不变，一直是摆在真空卷绕坩埚镀膜设备材料科研工作者面前的技术攻关难题。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种真空镀膜自动加料的方法与装置，以解决上述
技术介绍
中提出的相关问题。
2、为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种真空镀膜自动加料的方法，包括送料机构、储料罐、传动机构、闭环控制、晶振膜厚检测仪，加热机构，真空抽气系统，电子枪和坩埚，所述工艺步骤如下：
3、s1、储料加热：将镀料放入储料罐中，并开启真空抽气系统，在粗抽过程中开启储料罐的加热功能，对镀料充分除气，避免由于加料导致真空度下降；
4、s2、真空镀膜：到达电子枪开启真空度，开启电子枪对坩埚内的镀料进行小功率预热，束流开启到100ma，开启坩埚旋转并关闭挡板防止对基材产生损伤，并在达到指定真空度时，增大束流并打开挡板进行镀膜；
5、s3、检测送料：通过晶振膜厚检测仪测量蒸发量，进行pid送料调节，通过输入材料密度来进行蒸发量的计算，并反馈给伺服电机来进行调节送料速度进行送料；
6、s4、自动补料：将储存在储料罐中的镀料，通过螺杆推动至坩埚中，实现自动补料。
7、优选的，所述加热机构为冷热交换机进行加热，且冷热交换机最高温度达到100℃以上。
8、本专利技术还包括一种真空镀膜自动加料的方法所用的加料装置，包括电子枪、坩埚旋转机构、储料罐、伺服电机、螺杆机构和晶振膜厚仪，所述坩埚旋转机构的顶部设有旋转调节的坩埚，所述伺服电机的顶部联动有传动机构，所述传动机构和螺杆机构之间设有传动啮合的锥形齿轮，所述储料罐分别包括进料口和热水。
9、优选的，所述伺服电机和传动机构相互连接进行传动，所述传动机构的传动轴顶部连接两个锥形齿轮，且其中一组锥形齿轮与螺杆机构相互连接。
10、优选的，所述储料罐采用304无磁不锈钢抛光后成型制成，且为双层结构，中间流道配备有介质加热。
11、优选的，所述传动机构和伺服电机使用磁流体进行动密封，其中伺服电机设置在真空室外部。
12、优选的，所述螺杆机构的内侧设有伸缩段，所述螺杆机构的外部采用抛光304无磁不锈钢。
13、优选的，所述储料罐的底部为空心轴，且空心轴通过真空法兰固定在储料罐的真空腔体上，所述螺杆机构设置在空心轴与储料罐的连接处。
14、与现有技术相比，本专利技术提供了一种真空镀膜自动加料的方法，具备以下有益效果：
15、1、本专利技术设计的机构较为简单，方便安装，可满足多种真空镀膜机的坩埚加料需求。
16、2、本专利技术控制容易，可与膜厚仪晶振系统进行送料-蒸发系统的闭环控制，保证整个镀膜过程中的蒸发状态都是一致的。
17、3、本专利技术储料罐进行烘烤除气，不会对真空抽气系统造成负担。
18、4、本专利技术螺杆可进行长度调节，针对不同的材料可进行不同位置的送料，保证熔池蒸发的稳定。
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1.一种真空镀膜自动加料的方法，包括送料机构、储料罐、传动机构、闭环控制、晶振膜厚检测仪，加热机构，真空抽气系统，电子枪和坩埚，所述工艺步骤如下：
2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜自动加料的方法，其特征在于：所述加热机构为冷热交换机进行加热，且冷热交换机最高温度达到100℃以上。
3.根据权利要求1一种真空镀膜自动加料的方法所用的加料装置，其特征在于：包括电子枪(1)、坩埚旋转机构(3)、储料罐(4)、伺服电机(5)、螺杆机构(8)和晶振膜厚仪(9)，所述坩埚旋转机构(3)的顶部设有旋转调节的坩埚(2)，所述伺服电机(5)的顶部联动有传动机构(6)，所述传动机构(6)和螺杆机构(8)之间设有传动啮合的锥形齿轮(7)，所述储料罐(4)分别包括有进料口(10)和热水(11)。
4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜自动加料装置，其特征在于：所述伺服电机(5)和传动机构(6)相互连接进行传动，所述传动机构(6)的传动轴顶部连接两个锥形齿轮，且其中一组锥形齿轮与螺杆机构(8)相互连接。
5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜自动加料装置，其
6.根据权利要求1所述的一种真空镀膜自动加料装置，其特征在于：所述传动机构(6)和伺服电机(5)使用磁流体进行动密封，其中伺服电机(5)设置在真空室外部。
7.根据权利要求1所述的一种真空镀膜自动加料装置，其特征在于：所述螺杆机构(8)的内侧设有伸缩段，所述螺杆机构(8)的外部采用抛光304无磁不锈钢。
8.根据权利要求1所述的一种真空镀膜自动加料装置，其特征在于：所述储料罐(4)的底部为空心轴，且空心轴通过真空法兰固定在储料罐(4)的真空腔体上，所述螺杆机构(8)设置在空心轴与储料罐(4)的连接处。
...【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜自动加料的方法，包括送料机构、储料罐、传动机构、闭环控制、晶振膜厚检测仪，加热机构，真空抽气系统，电子枪和坩埚，所述工艺步骤如下：
2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜自动加料的方法，其特征在于：所述加热机构为冷热交换机进行加热，且冷热交换机最高温度达到100℃以上。
3.根据权利要求1一种真空镀膜自动加料的方法所用的加料装置，其特征在于：包括电子枪(1)、坩埚旋转机构(3)、储料罐(4)、伺服电机(5)、螺杆机构(8)和晶振膜厚仪(9)，所述坩埚旋转机构(3)的顶部设有旋转调节的坩埚(2)，所述伺服电机(5)的顶部联动有传动机构(6)，所述传动机构(6)和螺杆机构(8)之间设有传动啮合的锥形齿轮(7)，所述储料罐(4)分别包括有进料口(10)和热水(11)。
4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜自动加料装置，其特征在于：所述伺服电机(5)和传动机构(6)相...
【专利技术属性】
技术研发人员：夏海波，贺涛，
申请(专利权)人：正创堂深圳新材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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