一种电火花多线切割辅助装置制造方法及图纸

本技术涉及线电极放电加工领域，尤其涉及一种电火花多线切割辅助装置。一种电火花多线切割辅助装置，包括安装架，安装架上设置有用于安装固定在机床的线架或者立柱上的固定结构，安装架上同一平面内设置有至少三个导轮，每个导轮均设置有至少两个间隔布置的用于容纳电极丝的导槽。其中通过设置安装架便于将该装置固定设置在机床上，便于对机床进行额外的安装操作，此时不必对机床进行改造，只需要将该装置额外安装到机床上即可，便于机床的升级改造，进而解决了现有技术中电火花多线切割需要重新设计机床，改动量大且不能兼容旧机床的问题。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及线电极放电加工领域，尤其涉及一种电火花多线切割辅助装置。

技术介绍

1、随着半导体的发展，现有产品中半导体使用的场景越来越多，在半导体中尤其以硅的应用最为广泛。硅在应用时一般是以硅片的形式，硅片通常是由硅棒切割加工而来。具体地，现有技术中较多使用线锯进行切割。线锯切割的过程中，线锯与待切割硅棒之间会产生较大的应力而导致工件表面产生较大的应力损伤，不利于硅片的大尺寸、超薄化加工需求的满足。因此，现有技术中还存在使用电火花加工工艺对硅棒进行加工的方法。

2、电火花加工是利用脉冲放电产生电蚀现象去除材料的一种加工方法，加工过程中不存在宏观切削力，对硬脆的半导体材料加工效果好，并且能够满足大尺寸、超薄等加工需求。但传统的电火花线切割机床都仅有一根电极丝，单次加工只能切割出一个硅片，加工效率较低。现有技术中还存在多线切割的电火花机床（即机床）。如公开日为2009年8月19日、公开号为cn101508042a的专利技术专利申请公布说明书中公开了一种高阻半导体材料的随动进电电火花加工方法及装置，其中，该装置包括储丝筒，固定在上线架、下线架（上线架和下线架构成线架）以及立柱上的导轮，电极丝在导轮上缠绕多圈，且多圈电极丝相互间隔布置，以使得电极丝在相邻两个导轮之间平行间隔排布，方便对同一个半导体材料在不同位置同步进行切割，加工一次可以成型多片半导体片，提高了加工效率。

3、然而，上述技术方案中需要对机床重新设计，工程量较大，会提高机床的生产加工成本，且对于已经成型售卖的电火花线切割机床无法适用。

技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种电火花多线切割辅助装置，用于解决现有技术中电火花多线切割需要重新设计机床，改动量大且不能兼容旧机床的问题。

2、为实现上述目的，本技术中的电火花多线切割辅助装置采用如下技术方案：

3、一种电火花多线切割辅助装置，包括安装架，安装架上设置有用于安装固定在机床的线架或者立柱上的固定结构，安装架上同一平面内设置有至少三个导轮，每个导轮均设置有至少两个间隔布置的用于容纳电极丝的导槽，电火花多线切割辅助装置还包括用于保持电极丝和所安装的线架之间或者电极丝和所安装的立柱之间绝缘的绝缘件。

4、进一步地，固定结构为连接在安装架上的固定架，固定架包括用于夹设在线架或者立柱上的至少一组两两相对布置的夹板，每个夹板在使用时超出线架或者立柱的两个端部上均设置有安装孔，固定架还包括通过安装孔将每组内的两个夹板固定连接的连接杆。

5、进一步地，安装架上设置有至少两个供连接杆穿过的连接杆穿孔。

6、进一步地，安装架包括平行间隔布置的安装板和支撑板，安装板上设置有所述固定结构，安装板和支撑板上分别设置有所述导轮，安装架还包括固定连接在安装板和支撑板之间的支撑件。

7、进一步地，所述支撑件为支撑杆，支撑杆设置有至少两个，支撑杆的端部分别设置有与安装板穿装配合的安装螺纹段和用于与支撑板穿装配合的支撑螺纹段，安装螺纹段上且位于安装板的两侧分别设置有安装螺母，支撑螺纹段的位于支撑板的两侧分别设置有支撑螺母。

8、进一步地，安装架上固定设置有用于安装导轮的轴承座，所述安装板上和支撑板上均设置有用于对轴承座限位的限位凹槽。

9、进一步地，导轮为绝缘导轮，绝缘导轮构成所述绝缘件，安装架上还设置有绝缘座，绝缘座上设置有用于与导轮的导槽内的多根电极丝接触以使多根间隔布置的电极丝电连接的导电件。

10、进一步地，导电件为导电棒，导电棒的外周面上形成有用于顶压张紧电极丝的顶压张紧部。

11、进一步地，安装架包括平行间隔布置的安装板和支撑板，安装板上设置有所述连接杆穿孔，安装板的至少一侧还设置有用于避让夹板以使夹板紧贴线架或者立柱的避让槽。

12、进一步地，电火花多线切割辅助装置还包括用于固定设置在线架或者立柱上的喷液底座，喷液底座上设置有万向喷液管，万向喷液管上设置有用于连通机床上的工作液管的工作液接口。

13、本技术中电火花多线切割辅助装置的有益效果在于：本技术开拓性地提出一种电火花多线切割辅助装置，其中通过设置安装架便于将该装置固定设置在机床上，便于对机床进行额外的安装操作，同时也方便导轮的安装；通过设置至少三个导轮，且每个导轮上设置至少两个间隔布置的导槽，便于对电极丝进行引导，便于将电极丝排布成多条间隔布置的形式，通过绝缘件的设置避免电极丝和线架或者电极丝与立柱之间的电连接，也就是说此时不必对机床进行改造，只需要将该装置额外安装到机床上即可，便于机床的升级改造，进而解决了现有技术中电火花多线切割需要重新设计机床，改动量大且不能兼容旧机床的问题。

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【技术保护点】

1.一种电火花多线切割辅助装置，其特征在于：包括安装架，安装架上设置有用于安装固定在机床的线架或者立柱上的固定结构，安装架上同一平面内设置有至少三个导轮，每个导轮均设置有至少两个间隔布置的用于容纳电极丝的导槽，电火花多线切割辅助装置还包括用于保持电极丝和所安装的线架之间或者电极丝和所安装的立柱之间绝缘的绝缘件。

2.根据权利要求1所述的电火花多线切割辅助装置，其特征在于：固定结构为连接在安装架上的固定架，固定架包括用于夹设在线架或者立柱上的至少一组两两相对布置的夹板，每个夹板在使用时超出线架或者立柱的两个端部上均设置有安装孔，固定架还包括通过安装孔将每组内的两个夹板固定连接的连接杆。

3.根据权利要求2所述的电火花多线切割辅助装置，其特征在于：安装架上设置有至少两个供连接杆穿过的连接杆穿孔。

4.根据权利要求1-3任一项所述的电火花多线切割辅助装置，其特征在于：安装架包括平行间隔布置的安装板和支撑板，安装板上设置有所述固定结构，安装板和支撑板上分别设置有所述导轮，安装架还包括固定连接在安装板和支撑板之间的支撑件。

5.根据权利要求4所述的电火花多线切割辅助装置，其特征在于：所述支撑件为支撑杆，支撑杆设置有至少两个，支撑杆的端部分别设置有与安装板穿装配合的安装螺纹段和用于与支撑板穿装配合的支撑螺纹段，安装螺纹段上且位于安装板的两侧分别设置有安装螺母，支撑螺纹段的位于支撑板的两侧分别设置有支撑螺母。

6.根据权利要求4所述的电火花多线切割辅助装置，其特征在于：安装架上固定设置有用于安装导轮的轴承座，所述安装板上和支撑板上均设置有用于对轴承座限位的限位凹槽。

7.根据权利要求1-3任一项所述的电火花多线切割辅助装置，其特征在于：导轮为绝缘导轮，绝缘导轮构成所述绝缘件，安装架上还设置有绝缘座，绝缘座上设置有用于与导轮的导槽内的多根电极丝接触以使多根间隔布置的电极丝电连接的导电件。

8.根据权利要求7所述的电火花多线切割辅助装置，其特征在于：导电件为导电棒，导电棒的外周面上形成有用于顶压张紧电极丝的顶压张紧部。

9.根据权利要求3所述的电火花多线切割辅助装置，其特征在于：安装架包括平行间隔布置的安装板和支撑板，安装板上设置有所述连接杆穿孔，安装板的至少一侧还设置有用于避让夹板以使夹板紧贴线架或者立柱的避让槽。

10.根据权利要求1-3任一项所述的电火花多线切割辅助装置，其特征在于：电火花多线切割辅助装置还包括用于固定设置在线架或者立柱上的喷液底座，喷液底座上设置有万向喷液管，万向喷液管上设置有用于连通机床上的工作液管的工作液接口。

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【技术特征摘要】

1.一种电火花多线切割辅助装置，其特征在于：包括安装架，安装架上设置有用于安装固定在机床的线架或者立柱上的固定结构，安装架上同一平面内设置有至少三个导轮，每个导轮均设置有至少两个间隔布置的用于容纳电极丝的导槽，电火花多线切割辅助装置还包括用于保持电极丝和所安装的线架之间或者电极丝和所安装的立柱之间绝缘的绝缘件。

2.根据权利要求1所述的电火花多线切割辅助装置，其特征在于：固定结构为连接在安装架上的固定架，固定架包括用于夹设在线架或者立柱上的至少一组两两相对布置的夹板，每个夹板在使用时超出线架或者立柱的两个端部上均设置有安装孔，固定架还包括通过安装孔将每组内的两个夹板固定连接的连接杆。

3.根据权利要求2所述的电火花多线切割辅助装置，其特征在于：安装架上设置有至少两个供连接杆穿过的连接杆穿孔。

4.根据权利要求1-3任一项所述的电火花多线切割辅助装置，其特征在于：安装架包括平行间隔布置的安装板和支撑板，安装板上设置有所述固定结构，安装板和支撑板上分别设置有所述导轮，安装架还包括固定连接在安装板和支撑板之间的支撑件。

5.根据权利要求4所述的电火花多线切割辅助装置，其特征在于：所述支撑件为支撑杆，支撑杆设置有至少两个，支撑杆的端部分别设置有与安装板穿装配合的安装螺纹段和用于...

【专利技术属性】
技术研发人员：常皓，李中盼，郭家乐，张梦洋，王昕妍，王前行，杨墨杰，何禄亮，薛克明，王世杰，
申请(专利权)人：郑州职业技术学院，
类型：新型
国别省市：