【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种被配置为将用于测量物理量的测量头附接到安装表面上的固定装置、使用该固定装置附接到安装表面上的测量头、以及包括该测量头的位移传感器装置。
技术介绍
1、通过非接触方法测量测量对象的表面的位移的装置的示例包括共焦位移传感器，该共焦位移传感器包括白光源、光纤和测量头。在共焦位移传感器中，由白光源产生的宽波长带的光(白光)通过光纤被引导到测量头。测量头包括光学系统(例如，多个透镜)和容纳光学系统的主壳体，并且通过光学系统将被引导通过光纤的光发射到测量对象。同时，在通过多个透镜发射到测量对象的光中产生色差。另外，测量头接收在测量对象的表面上聚焦和反射的光。基于由测量头接收的光测量测量对象的表面的位移。
2、已知一种将两个测量头布置为以便在测量对象介于其之间的情况下面向彼此并且测量测量对象的厚度的方法。在该方法中，为了以高准确性测量测量对象的厚度，需要将一个测量头的光学系统的光轴与另一个测量头的光学系统的光轴准确地匹配。
3、jp 2019-203866a描述了一种保持每个测量头使得测量头的位置和姿态可以被调整以便准确地测量测量对象的厚度的保持装置。该保持装置具有其中在多个方向上能够移动且可旋转地支撑测量头的多个构件被提供在一个基座上的配置。此外，该保持装置被提供有用于在多个方向上移动或旋转测量头的多个旋钮。
4、因此，用户可以通过将基座附接在期望安装表面上且操作多个旋钮来调整每个测量头的位置和姿态。
5、同时，在测量测量对象的多个部分的厚度的情况下，优选的是通过使用两个测量
6、如上所述，需要将多组测量头组适当地布置在对应于测量对象的多个部分的位置处，以便利用多组测量头组同时测量测量对象的多个部分的厚度。另外，优选的是以高密度布置多个测量头的光轴，以便测量测量对象的更多部分的厚度。
7、然而，多个测量头中的每一个由保持装置保持。因此，多个测量头的光轴可以布置的密度限于多个保持装置不彼此干扰的程度。另外，在jp 2019-203866a中描述的用于测量头的保持装置包括由用户操作的多个旋钮。因此，在旋钮周围需要用于用户操作每个旋钮的工作空间。当确保这样的工作空间时，更难以密集地布置多个测量头的光轴。
技术实现思路
1、本专利技术的一个目的是提供一种使得多个测量头的多个光轴能够以更高的密度布置同时实现分别针对多个测量头的光轴的位置调整的固定装置、使用该固定装置附接到安装表面上的测量头、以及包括该测量头的位移传感器装置。
2、根据本专利技术的一个实施例，固定装置是一种被配置为将测量头附接到安装表面上的固定装置，所述测量头具有在一个方向上延伸的光轴并获取与布置在所述光轴上的测量对象相关的物理量，并且所述固定装置包括：头保持器，所述头保持器保持所述测量头；基部壳体，所述基部壳体被配置为能够附接到所述安装表面上，并且将所述头保持器能够移动地支撑在一个表面上，所述一个表面与由所述头保持器保持的所述测量头的所述光轴正交；第一调整螺钉，所述第一调整螺钉在所述一个表面上、在第一调整方向上移动由所述基部壳体所支撑的所述头保持器；第二调整螺钉，所述第二调整螺钉在所述一个表面上在不同于所述第一调整方向的第二调整方向上移动由所述基部壳体支撑的所述头保持器；以及切换部分，所述切换部分在所述头保持器在所述一个表面上不能够移动的固定状态和所述头保持器在所述一个表面上能够移动的释放状态之间，切换由所述基部壳体支撑的所述头保持器的状态，所述基部壳体以这种方式进行配置：包括所述基部壳体的多个基部壳体被布置为在所述安装表面上以共同姿态在预定对准方向上对准，并且当所述多个基部壳体在所述安装表面上以所述共同姿态在所述对准方向上对准时，所述第一调整方向和所述第二调整方向中的每一个与所述对准方向相交。
3、根据本专利技术的另一个实施例，测量头是一种作为所述第一测量头或所述第二测量头被附接到上述固定装置的测量头，并且包括保持对应于所述光轴的光学系统的光学系统保持器，其中所述光学系统和所述光学系统保持器被配置为在使用框架体测量所述测量对象的厚度期间，在由所述框架体和所述固定装置保持的所述测量头的保持位置在所述光轴上随着温度环境变化而变化的情况下，抵消由所述测量头的所述保持位置的变化引起的所述测量对象的所述厚度的测量的结果中的误差。
4、根据本专利技术的又一实施例，一种位移传感器装置包括上述第一测量头；上述第二测量头；匹配程度确定单元，所述匹配程度确定单元基于在所述第一测量头和所述第二测量头被布置为面向彼此的状态下从所述第一测量头和所述第二测量头中的一个测量头发射并且入射在另一个测量头上的光的强度，来确定匹配程度，所述匹配程度指示所述第一测量头的光轴与所述第二测量头的光轴匹配有多少；以及信息通信单元，所述信息通信单元将由所述匹配程度确定单元获得的匹配程度确定结果发送到预定的外部装置。
5、根据本专利技术，可以对多个测量头中的每一个的光轴进行位置调整，并且可以以更高的密度布置多个测量头的多个光轴。
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1.一种固定装置，所述固定装置被配置为将测量头附接到安装表面上，所述测量头具有在一个方向上延伸的光轴，并且所述测量头获取与布置在所述光轴上的测量对象相关的物理量，所述固定装置包括：
2.根据权利要求1所述的固定装置，其中所述基部壳体具有第一侧表面和第二侧表面，在所述基部壳体被附接到所述安装表面上的状态下，当从面向所述安装表面的位置观察时，所述第一侧表面和所述第二侧表面在所述对准方向上彼此相对，并且所述基部壳体以这种方式进行配置：从所述第一侧表面和所述第二侧表面中的任一个侧表面，所述第一调整螺钉在所述第一调整方向上能够旋拧，并且所述第二调整螺钉在所述第二调整方向上能够旋拧。
3.根据权利要求1或2所述的固定装置，其中
4.根据权利要求3所述的固定装置，其中
5.根据权利要求1或2所述的固定装置，其中
6.根据权利要求5所述的固定装置，还包括旋转力阻挡构件，在所述固定螺钉通过所述头保持器的所述通孔被旋拧到所述第一主体的所述固定螺纹孔中的状态下，所述旋转力阻挡构件被提供在所述固定螺钉的头部和所述头保持器之间，
7.
8.根据权利要求1或2所述的固定装置，其中
9.根据权利要求1或2所述的固定装置，其中所述头保持器、所述基部壳体、所述第一调整螺钉、所述第二调整螺钉、以及所述切换部分包括共同的金属材料。
10.根据权利要求1或2所述的固定装置，其中
11.一种测量头，所述测量头被附接到根据权利要求10所述的固定装置，作为所述第一测量头或所述第二测量头，所述测量头包括保持对应于所述光轴的光学系统的光学系统保持器，
12.一种位移传感器装置，包括：
...【技术特征摘要】
1.一种固定装置，所述固定装置被配置为将测量头附接到安装表面上，所述测量头具有在一个方向上延伸的光轴，并且所述测量头获取与布置在所述光轴上的测量对象相关的物理量，所述固定装置包括：
2.根据权利要求1所述的固定装置，其中所述基部壳体具有第一侧表面和第二侧表面，在所述基部壳体被附接到所述安装表面上的状态下，当从面向所述安装表面的位置观察时，所述第一侧表面和所述第二侧表面在所述对准方向上彼此相对，并且所述基部壳体以这种方式进行配置：从所述第一侧表面和所述第二侧表面中的任一个侧表面，所述第一调整螺钉在所述第一调整方向上能够旋拧，并且所述第二调整螺钉在所述第二调整方向上能够旋拧。
3.根据权利要求1或2所述的固定装置，其中
4.根据权利要求3所述的固定装置，其中
5.根据权利要求1或2所述的固定装置，其中
6.根据权利要求5所述的固定...
【专利技术属性】
技术研发人员：武井英人，南川义久，古闲拓海，原田势那，
申请(专利权)人：株式会社基恩士，
类型：发明
国别省市：
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