【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及扫描电镜，具体而言，涉及一种光阑输送装置和具有它的扫描电镜。
技术介绍
1、扫描电镜是一种高分辨率的电子显微镜，可用于观察样品的表面形貌和微观结构，扫描电镜可利用电子束成像，能够提供比光学显微镜更高的分辨率。
2、在相关技术中，扫描电镜中的物镜口处通常设有可移动的光阑，光阑在与物镜口配合和分离时，光阑相对于物镜口产生平搓式运动，导致光阑发生磨损，降低了光阑的使用寿命，另外，光阑和物镜口摩擦产生的磨屑会污染扫描电镜，影响成像质量。
技术实现思路
1、本专利技术旨在至少在一定程度上解决现有技术中的上述技术问题之一。为此，本专利技术提出一种光阑输送装置，可降低光阑的磨损。
2、本专利技术还提出了一种具有上述光阑输送装置的扫描电镜。
3、根据本专利技术实施例的光阑输送装置，包括：支撑件，所述支撑件具有支撑孔；推送杆，所述推送杆穿设于所述支撑孔，所述推送杆具有推送端和光阑连接端，所述推送端与所述光阑连接端位于所述支撑孔的轴向两侧，所述光阑连接端适于与光阑相连；驱动组件，所述驱动组件用于驱动所述推送杆沿所述支撑孔的轴向方向移动；致动组件，在所述推送杆沿所述支撑孔的轴向方向移动时，所述致动组件用于带动所述推送杆摆动，以在所述支撑孔的径向方向上使所述推送端和所述光阑连接端的运动方向相反。
4、根据本专利技术实施例的光阑输送装置，驱动组件可驱动推送杆沿支撑孔的轴向方向移动，同时，致动组件可带动推送杆摆动，以使推送杆的光阑连接端形成变轨曲线
5、根据本专利技术的一些实施例，所述驱动组件包括：传动件，所述传动件与所述推送端活动连接；驱动件，所述驱动件用于驱动所述传动件沿所述支撑孔的轴向方向移动。
6、根据本专利技术的一些实施例，所述致动组件包括：导向架，所述导向架具有导向面，所述导向面相对于所述支撑孔的轴线倾斜设置；导向件，所述导向件与所述推送杆相连，所述导向件适于与所述导向面导向配合。
7、根据本专利技术的一些实施例，所述导向件包括：安装板，所述安装板与所述推送杆固定连接；滚轮，所述滚轮与所述安装板转动连接，所述滚轮适于沿所述导向面滚动。
8、根据本专利技术的一些实施例，所述导向架设于所述支撑件与所述推送端之间，所述导向面位于所述推送杆的上方，在所述支撑孔的轴向方向上，所述导向面具有靠近所述光阑连接端的导向前端和远离所述光阑连接端的导向后端，由所述导向前端至所述导向后端的方向上，所述导向面与所述推送杆的间距逐渐增大。
9、根据本专利技术的一些实施例，所述致动组件还包括：弹性件，所述弹性件分别与所述传动件和所述推送端相连，所述弹性件用于对所述推送端施加弹性力，以使所述导向件与所述导向面保持抵接状态。
10、根据本专利技术另一方面实施例的扫描电镜，包括：电子枪室，所述电子枪室具有物镜口；样品室，所述样品室通过所述物镜口与所述电子枪室连通；光阑输送装置，所述光阑输送装置为上述的光阑输送装置，所述光阑连接端位于所述样品室内；光阑，所述光阑与所述光阑连接端相连，所述光阑输送装置用于驱动所述光阑运动至第一预设位置和第二预设位置，在所述光阑运动至所述第一预设位置时，所述光阑与所述物镜口密封配合，在所述光阑运动至所述第二预设位置时，所述光阑与所述物镜口分离；真空泵，所述真空泵用于对所述电子枪室和所述样品室抽真空。
11、根据本专利技术实施例的扫描电镜，光阑输送装置用于驱动光阑运动至第一预设位置和第二预设位置，在光阑运动至第一预设位置时，光阑与物镜口密封配合，通过真空泵对电子枪室和样品室抽真空，扫描电镜可实现标准真空工作模式和低真空工作模式的兼容与快速切换，从而有利于提升扫描电镜的产品竞争力。
12、根据本专利技术的一些实施例，所述光阑输送装置还包括：密封波纹管，所述密封波纹管和所述驱动组件均设于所述样品室的外侧，所述密封波纹管套设于所述推送杆，所述密封波纹管的一端与所述样品室连通，所述密封波纹管的另一端与所述推送杆固定并密封配合。
13、根据本专利技术的一些实施例，所述光阑包括：转轴座，所述转轴座与所述光阑连接端绕第一轴线转动连接；光阑本体，所述光阑本体与所述转轴座绕第二轴线转动连接，且所述第二轴线与所述第一轴线垂直。
14、根据本专利技术的一些实施例，所述光阑还包括：密封圈，所述密封套设于所述光阑本体，在所述光阑运动至所述第一预设位置时，所述密封圈与所述物镜口密封配合。
15、本专利技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本专利技术的实践了解到。
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1.一种光阑输送装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的光阑输送装置，其特征在于，所述驱动组件(3)包括：
3.根据权利要求2所述的光阑输送装置，其特征在于，所述致动组件(4)包括：
4.根据权利要求3所述的光阑输送装置，其特征在于，所述导向件(42)包括：
5.根据权利要求3所述的光阑输送装置，其特征在于，所述导向架(41)设于所述支撑件(1)与所述推送端(21)之间，所述导向面(411)位于所述推送杆(2)的上方，在所述支撑孔(11)的轴向方向上，所述导向面(411)具有靠近所述光阑连接端(22)的导向前端(4111)和远离所述光阑连接端(22)的导向后端(4112)，由所述导向前端(4111)至所述导向后端(4112)的方向上，所述导向面(411)与所述推送杆(2)的间距逐渐增大。
6.根据权利要求3-5中任一项所述的光阑输送装置，其特征在于，所述致动组件(4)还包括：弹性件(43)，所述弹性件(43)分别与所述传动件(31)和所述推送端(21)相连，所述弹性件(43)用于对所述推送端(21)施加弹性力，
7.一种扫描电镜，其特征在于，包括：
8.根据权利要求7所述的扫描电镜，其特征在于，所述光阑输送装置还包括：密封波纹管(8)，所述密封波纹管(8)和所述驱动组件(3)均设于所述样品室(30)的外侧，所述密封波纹管(8)套设于所述推送杆(2)，所述密封波纹管(8)的一端与所述样品室(30)连通，所述密封波纹管(8)的另一端与所述推送杆(2)固定并密封配合。
9.根据权利要求7所述的扫描电镜，其特征在于，所述光阑(40)包括：
10.根据权利要求9所述的扫描电镜，其特征在于，所述光阑(40)还包括：密封圈(408)，所述密封套设于所述光阑本体(402)，在所述光阑(40)运动至所述第一预设位置时，所述密封圈(408)与所述物镜口(201)密封配合。
...【技术特征摘要】
1.一种光阑输送装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的光阑输送装置，其特征在于，所述驱动组件(3)包括：
3.根据权利要求2所述的光阑输送装置，其特征在于，所述致动组件(4)包括：
4.根据权利要求3所述的光阑输送装置，其特征在于，所述导向件(42)包括：
5.根据权利要求3所述的光阑输送装置，其特征在于，所述导向架(41)设于所述支撑件(1)与所述推送端(21)之间，所述导向面(411)位于所述推送杆(2)的上方，在所述支撑孔(11)的轴向方向上，所述导向面(411)具有靠近所述光阑连接端(22)的导向前端(4111)和远离所述光阑连接端(22)的导向后端(4112)，由所述导向前端(4111)至所述导向后端(4112)的方向上，所述导向面(411)与所述推送杆(2)的间距逐渐增大。
6.根据权利要求3-5中任一项所述的光阑输送装置，其特征在于，所述致动组件(4)还包括：弹性件(43)，所述弹...
【专利技术属性】
技术研发人员：张安邦，栗宽，张茂辉，崔帅超，张伟，曹峰，贺羽，
申请(专利权)人：国仪量子技术合肥股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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