【技术实现步骤摘要】
本技术涉及超高精度检测设备，具体而言，涉及一种基于高精度气浮式单轴螺旋运动的大中空检测装置。
技术介绍
1、随着超高精度检测领域的快速发展，高端精密制造行业对于检测精度的要求也逐步提高。例如在半导体高精度检测领域，传统的检测手段和方法已经无法满足其超高的检测要求，特别是半导体晶圆检测行业。当前在芯片制造过程中需要对其所用晶圆的平整度、厚度、尺寸、瑕疵等项目进行超高精度检测，此时需借助专业的高精度光学检测设备。然而，现有技术中的高精度光学检测设备对应的检测运动普遍为xy两轴运动，不仅测量效率低，而且在测量过程中获取的是米字型路径，由于米字型路径是两轴叠加，因此极易造成整体运动误差大，稳定性差，测量精度低，进而对于超高精度测量的真实结果影响极大。
技术实现思路
1、为此，本技术提供了一种基于高精度气浮式单轴螺旋运动的大中空检测装置，以解决现有技术中的高精度光学检测设备对应进行超高精度测量时，其整体检测运动路径误差大，稳定性差，测量结果精度低的技术问题。
2、为了实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
3、一种基于高精度气浮式单轴螺旋运动的大中空检测装置，包括：
4、直线驱动组件，具有至少一直线位移动能输出端；
5、旋转驱动组件，具有定位基础部以及旋转装配设于所述定位基础部的旋转动能输出端，所述定位基础部与所述直线驱动组件的直线位移动能输出端之间传动固接装配相连设置，所述旋转动能输出端对应形成晶圆承载面。
6、在上述技术方案的基
7、作为本技术的进一步方案，所述直线驱动组件包括气浮导向结构和直线驱动结构；
8、所述气浮导向结构和所述直线驱动结构均设置有两组，两组所述气浮导向结构和两组所述直线驱动结构之间分别一一对应固接装配相连设置，且两组所述直线驱动结构分别一一对应位于两组所述气浮导向结构的外侧部；所述直线驱动结构基于所述气浮导向结构形成气浮式所述直线位移动能输出端。
9、作为本技术的进一步方案，每组所述气浮导向结构均包括气浮式导轨和气浮滑位座体；
10、两组所述气浮式导轨之间相平行设置；两组所述气浮滑位座体通过所述气浮式导轨的气浮作用分别一一对应滑动装配设于两组所述气浮式导轨。
11、作为本技术的进一步方案，每组所述直线驱动结构均包括直线电机定子和直线电机动子；
12、两组所述直线电机定子分别一一对应与两组所述气浮式导轨之间固接装配相连，且两组所述直线电机定子的延伸方向均与两组所述气浮式导轨的延伸方向之间相平行设置；
13、两组所述直线电机动子分别一一对应传动装配设于两组所述直线电机定子，且两组所述直线电机动子分别一一对应与两组所述气浮滑位座体之间固接装配相连设置；两组所述直线电机动子形成气浮式所述直线位移动能输出端。
14、作为本技术的进一步方案，还包括：
15、传动承台结构，包括传动对接部和内凹承台部；
16、所述传动对接部设置有两组，且两组所述传动对接部分别一一对应固接装配设于两组所述气浮滑位座体的顶部；
17、所述内凹承台部呈下凹式一体固接设置于两组所述传动对接部之间；
18、所述旋转驱动组件的定位基础部固接装配设于所述内凹承台部。
19、作为本技术的进一步方案，所述旋转驱动组件包括气浮转台结构和弧形电机结构；
20、所述气浮转台结构设置为中空式架构，中空式所述气浮转台结构的基础部作为所述旋转驱动组件的定位基础部固接装配于所述内凹承台部的顶部，且中空式所述气浮转台结构的气浮输出端部对应形成于其中空位置；
21、所述弧形电机结构具有一所述旋转动能输出端，所述旋转动能输出端与所述气浮转台结构的中空式气浮输出端部之间相对应设置。
22、作为本技术的进一步方案，所述弧形电机结构包括弧形电机定子和弧形电机转子；
23、所述弧形电机定子与所述气浮转台结构的基础部之间固接装配相连设置，且所述弧形电机定子具有一环形磁性驱动端；
24、所述弧形电机转子与所述弧形电机定子的环形磁性驱动端之间传动装配相连设置，且所述弧形电机转子作为所述弧形电机结构的旋转动能输出端，其中间位置与所述气浮转台结构的气浮输出端部之间竖向对应设置；
25、通过所述弧形电机转子对应形成所述晶圆承载面。
26、作为本技术的进一步方案，所述气浮转台结构内置固接装配设有至少两组光栅尺结构；
27、和/或，两组所述气浮导向结构的气浮式导轨内侧部均固接装配设有至少一组光栅尺结构。
28、作为本技术的进一步方案，所述弧形电机转子形成的晶圆承载面还开设有若干个负压吸孔和/或真空吸盘，若干个所述负压吸孔均通过管路与抽吸泵体之间接通相连设置。
29、作为本技术的进一步方案，所述内凹承台部内置装配设有若干组气浮通道，所述气浮通道一端部与气输出机构之间接通相连设置，且所述气浮通道的另一端部对应于所述内凹承台部的底端面形成有若干个顶浮气口，所述内凹承台部的底端面与所述基础平台结构的顶端面之间形成有顶浮气隙，若干个所述顶浮气口均与所述基础平台结构的顶端面及所述顶浮气隙之间相对应设置。
30、本技术具有如下有益效果：
31、1、该装置能够通过气浮式直线驱动形成的单轴运动设计以及气浮式旋转驱动形成的螺旋运动设计相配合，辅以光栅尺结构的数据反馈功能可有效提升检测运动的稳定性能，同时配合控制系统及算法可准确获取稳定螺旋式路径检测，螺旋式路径不仅避免了叠加轴导致的运动误差，测量时不需要进行纠编校正，且更为提升了运动效率及检测效率，提高了整体运动稳定性和检测精度，对测量真实结果有质的提升，能够满足超高精度测量场景下的检测需求；
32、2、通过采用单轴运动设计，能够有效避免传统叠加轴或多轴运动产生的运动误差，并且在功能调试方面，单轴运动设计在调试过程中仅需调试好直线单轴气浮机构的运动精度即可，无需调试多轴的精度，由此显著降低了调试难度及工序繁琐度，亦增加了整个运动模组的定位精度、运动精度及稳定性；
33、3、通过传动承台结构的内凹承台部的下凹式布置，使得晶圆承载面与传动承台结构的两侧部顶面能够处于同一水平面，由此不仅使得模组整体结构更为紧凑，而且相较于传统晶圆检测结构设置，还降低了晶圆承载面的高度，使其具备更好的兼容性以有效兼容外部上下料机构的运动行程。
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1.一种基于高精度气浮式单轴螺旋运动的大中空检测装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的基于高精度气浮式单轴螺旋运动的大中空检测装置，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的基于高精度气浮式单轴螺旋运动的大中空检测装置，其特征在于，
4.根据权利要求3所述的基于高精度气浮式单轴螺旋运动的大中空检测装置，其特征在于，
5.根据权利要求4所述的基于高精度气浮式单轴螺旋运动的大中空检测装置，其特征在于，还包括：
6.根据权利要求5所述的基于高精度气浮式单轴螺旋运动的大中空检测装置，其特征在于，
7.根据权利要求6所述的基于高精度气浮式单轴螺旋运动的大中空检测装置，其特征在于，
8.根据权利要求7所述的基于高精度气浮式单轴螺旋运动的大中空检测装置，其特征在于，
9.根据权利要求8所述的基于高精度气浮式单轴螺旋运动的大中空检测装置，其特征在于，
10.根据权利要求5所述的基于高精度气浮式单轴螺旋运动的大中空检测装置，其特征在于，
【技术特征摘要】
1.一种基于高精度气浮式单轴螺旋运动的大中空检测装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的基于高精度气浮式单轴螺旋运动的大中空检测装置，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的基于高精度气浮式单轴螺旋运动的大中空检测装置，其特征在于，
4.根据权利要求3所述的基于高精度气浮式单轴螺旋运动的大中空检测装置，其特征在于，
5.根据权利要求4所述的基于高精度气浮式单轴螺旋运动的大中空检测装置，其特征在于，还包括：
<...【专利技术属性】
技术研发人员：汪小星，
申请(专利权)人：宁波普利姆半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：
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