System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 一种碳头自动输送喷射处理生产线及方法技术_技高网

一种碳头自动输送喷射处理生产线及方法技术

技术编号:43903827 阅读:1 留言:0更新日期:2025-01-03 13:14
本发明专利技术提供一种碳头自动输送喷射处理生产线及方法,涉及多晶硅加工技术领域。该碳头自动输送喷射处理生产线及方法,包括多晶硅棒、平移机械手、供料传送装置、清理箱、出料传送装置、喷砂机、负压泵以及碳头拔除装置。本发明专利技术,多组夹持装置同步动作,使得一次可清理多个多晶硅棒,平移机械手往复移动作业,有效避免气管、电线纠缠的问题,喷砂时多晶硅棒通过第一电机带动旋转,喷嘴通过第二电机带动摇摆,从而大大增加喷射清理范围,多晶硅棒底部碳头安装孔喷射处理完成后,位于防尘罩内部含有灰尘的空气,经负压泵吸走处理,避免灰尘从锥孔逸出到工作现场,有效避免了工作环境被污染情况。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及多晶硅加工,具体为一种碳头自动输送喷射处理生产线及方法


技术介绍

1、多晶硅棒在使用过程中,需要在多晶硅棒的端部同轴开设有安装孔,碳头的一端固定在安装孔内,从而通过碳头将多晶硅棒固定在使用设备上,为了保证产品的质量,带有碳头一端的多晶硅棒的端部会预留一段不被使用,此段多晶硅棒还可继续使用,但是需要将碳头拔除,但是多晶硅棒上与碳头接触的部分已经被污染不能再次使用,因此该部分需要除掉。而现有技术中,都是采用人工进行拔除,然后再对污染部分进行去除,这样的工作方式导致工作效率低下,也会造成人工成本增加。

2、为此,有公开技术提出碳头自动清理系统及方法,属于多晶硅加工
,包括抓取装置,抓取装置转动设置在固定架的顶部上,上料输送装置和卸料输送装置设置在固定架相邻的两侧上,碳头拔除装置和清理装置固定设置在固定架的相邻两侧上,上料输送装置与清理装置相对设置,卸料输送装置与碳头拔除装置相对设置,上料输送装置、卸料输送装置、抓取装置、碳头拔除装置和清理装置均与控制中心电连接且同时与抓取装置配合。通过上料输送装置、卸料输送装置、抓取装置、碳头拔除装置和清理装置的配合使用,使得碳头实现自动拔除,同时还对多晶硅的污染部分进行去除,降低人工成本的同时提高了加工效率;

3、然而,上述公开技术使用中,存在较为显著的弊端,一是其多组抓取装置始终通过顺时针旋转九十度来带动多晶硅棒切换加工工序,而其抓取装置上多组气缸的供气用的气管无法适应持续同一个方向的持续旋转,必然缠绕在一起,导致该公开技术无法实际应用,二是碳头拔除后对安装孔喷射时其喷嘴和多晶硅棒都处于静止状态,而碳头的安装孔内部并非是直孔,还存在一定的腰鼓状,静止不动的喷射使得清理安装孔时经常出现清理死角,导致清理不侧底,三是其喷砂完成后多晶硅棒直接向后续工序转移,收集罩内空气中含有大量灰尘,多晶硅棒一离开收集罩,灰尘就朝向外部逸出,污染工作环境,综上所述,有必要开发一种碳头自动输送喷射处理生产线及方法,以解决上述问题。


技术实现思路

1、针对现有技术的不足,本专利技术提供了一种碳头自动输送喷射处理生产线及方法,解决了现有技术中多晶硅棒碳头拔除后安装孔喷射处理时气管容易发生纠缠、喷砂容易出现清理死角以及污染现场环境的问题。

2、为实现以上目的,本专利技术通过以下技术方案予以实现:一种碳头自动输送喷射处理生产线,包括多晶硅棒、平移机械手、供料传送装置、清理箱、出料传送装置、喷砂机、负压泵以及碳头拔除装置,所述平移机械手通过机架支撑,所述供料传送装置、清理箱以及出料传送装置按从左到右依次设置在平移机械手下方,所述碳头拔除装置设置在清理箱朝向供料传送装置的一端,所述清理箱外壁设置有多组喷砂接头,多组所述喷砂接头按前后顺序依次设置在清理箱远离碳头拔除装置的一端,所述平移机械手上壁滑动连接有滑动架,所述滑动架下壁通过多组导向杆滑动连接有活动板,所述活动板下壁呈前后分布设置有多组用于夹持多晶硅棒的夹持装置,所述活动板与滑动架之间设置有用于驱动活动板升降的升降驱动结构,所述清理箱上壁固定连接有多组连接盘,多组所述连接盘相邻两组之间间距与多组夹持装置相邻两组之间间距一致,所述连接盘内壁且居中位置设置有锥孔,所述锥孔内侧壁固定连接有密封垫,所述连接盘下壁且位于清理箱内部设置有用于防尘的防尘罩,所述防尘罩相对的两侧分别设置有用于喷砂清理的喷砂装置以及用于除尘的除尘装置。

3、优选的,所述夹持装置包括遮挡罩、第一固定板、第二固定板、转轴、安装座、电动卡盘以及四组卡爪,所述遮挡罩固定连接在活动板下壁,所述活动板下壁且位于遮挡罩内部固定连接有四组固定柱,四组所述固定柱均以遮挡罩轴心为中心呈圆周等分分布,所述第一固定板、第二固定板呈上下分布依次固定连接在四组固定柱之间,所述第二固定板下壁固定连接有轴承座,所述转轴呈贯穿状转动连接在轴承座内壁,所述转轴上端贯穿第二固定板上壁并伸出至第二固定板上方,所述第一固定板上壁设置有用于驱动转轴的旋转驱动结构,所述安装座固定连接在转轴下端,所述电动卡盘固定连接在安装座下壁,所述转轴外壁且位于轴承座和安装座之间设置有用于向电动卡盘供电的旋转供电结构,四组所述卡爪均设置在电动卡盘下壁,四组所述卡爪朝向电动卡盘中心的一侧均固定连接有夹板,所述夹板俯视截面呈圆弧状且圆弧状弧度与多晶硅棒外径相适配,所述夹板远离卡爪的一端粘贴有缓冲垫,所述缓冲垫内部设置有用于检测夹持时夹持力的压力检测结构。

4、优选的,所述升降驱动结构包括三组气缸,三组所述气缸按前后分布依次固定连接在滑动架上壁,三组所述气缸伸出轴均贯穿滑动架内壁并均伸出至滑动架下方,三组所述气缸伸出轴端部均与活动板上壁固定连接。

5、优选的,所述旋转驱动结构为第一电机,所述第一电机固定连接在第一固定板上壁,所述第一电机伸出轴贯穿第一固定板内壁并伸出至第一固定板下方,所述第一电机伸出轴端部通过联轴器与转轴上端固定连接。

6、优选的,所述旋转供电结构为导电滑环,所述导电滑环套设在转轴外壁且位于轴承座和安装座之间,所述导电滑环由呈转动连接的固定环和转动环组成,所述固定环通过支架与第二固定板下壁固定连接,所述转动环与安装座上壁固定连接。

7、优选的,所述压力检测结构为压力传感器,所述缓冲垫内壁设置有矩形腔,所述压力传感器固定连接在夹板远离卡爪的一侧且位于矩形腔内部。

8、优选的,所述喷砂装置包括喷砂管和喷嘴,所述喷砂管通过转动座转动连接在防尘罩侧壁且位于防尘罩朝向喷砂接头的一侧,所述喷砂管远离防尘罩的一端与喷砂接头固定连接,所述喷砂接头远离清理箱的一端通过管道与喷砂机连接,所述喷砂管朝向防尘罩的一端贯穿防尘罩侧壁并伸入至防尘罩内部,所述喷嘴固定连接在喷砂管伸入至防尘罩内部的一端,所述喷嘴呈l型,所述喷嘴远离喷砂管的一端延伸至连接盘的锥孔下方,所述喷砂管外壁与防尘罩外壁之间设置有用于带动喷嘴摇摆的摇摆驱动结构。

9、优选的,所述摇摆驱动结构包括第二电机、驱动盘、驱动杆以及联动板,所述第二电机通过固定座固定连接在防尘罩圆周外壁且位于喷砂管上方,所述联动板固定连接在喷砂管外壁,所述联动板内壁且位于远离喷砂管的一端设置有滑动孔,所述驱动盘固定连接在第二电机伸出轴端部,所述驱动杆固定连接在驱动盘远离第二电机的一侧,所述驱动杆远离驱动盘的一侧贯穿滑动孔内侧壁并与之滑动连接。

10、优选的,所述除尘装置包括负压管、吸尘管,所述负压管固定连接在防尘罩外壁且位于远离喷砂装置的一侧,所述负压管朝向防尘罩的一端贯穿防尘罩内部并伸入至防尘罩内部,所述吸尘管固定连接在负压管伸入至防尘罩内部的一端,所述吸尘管下壁设置有凹面,所述凹面内壁设置有多组呈内外贯通的吸尘孔。

11、根据上述的一种碳头自动输送喷射处理生产线的生产方法,所述生产方法包括如下步骤:

12、s1、供料,带有碳头的多晶硅棒经供料传送装置传送到平移机械手下方,平移机械手带动滑动架移动到供料传送装置上方,气缸伸出轴伸出,带动夹持装置下移,直到夹板位移到与本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种碳头自动输送喷射处理生产线,其特征在于:包括多晶硅棒、平移机械手(2)、供料传送装置(3)、清理箱(4)、出料传送装置(5)、喷砂机、负压泵以及碳头拔除装置,所述平移机械手(2)通过机架(1)支撑,所述供料传送装置(3)、清理箱(4)以及出料传送装置(5)按从左到右依次设置在平移机械手(2)下方,所述碳头拔除装置设置在清理箱(4)朝向供料传送装置(3)的一端,所述清理箱(4)外壁设置有多组喷砂接头(6),多组所述喷砂接头(6)按前后顺序依次设置在清理箱(4)远离碳头拔除装置的一端,所述平移机械手(2)上壁滑动连接有滑动架(7),所述滑动架(7)下壁通过多组导向杆(8)滑动连接有活动板(10),所述活动板(10)下壁呈前后分布设置有多组用于夹持多晶硅棒的夹持装置,所述活动板(10)与滑动架(7)之间设置有用于驱动活动板(10)升降的升降驱动结构,所述清理箱(4)上壁固定连接有多组连接盘(28),多组所述连接盘(28)相邻两组之间间距与多组夹持装置相邻两组之间间距一致,所述连接盘(28)内壁且居中位置设置有锥孔,所述锥孔内侧壁固定连接有密封垫(29),所述连接盘(28)下壁且位于清理箱(4)内部设置有用于防尘的防尘罩(25),所述防尘罩(25)相对的两侧分别设置有用于喷砂清理的喷砂装置以及用于除尘的除尘装置。

2.根据权利要求1所述的一种碳头自动输送喷射处理生产线,其特征在于:所述夹持装置包括遮挡罩(11)、第一固定板(13)、第二固定板(14)、转轴(17)、安装座(19)、电动卡盘(20)以及四组卡爪(21),所述遮挡罩(11)固定连接在活动板(10)下壁,所述活动板(10)下壁且位于遮挡罩(11)内部固定连接有四组固定柱(12),四组所述固定柱(12)均以遮挡罩(11)轴心为中心呈圆周等分分布,所述第一固定板(13)、第二固定板(14)呈上下分布依次固定连接在四组固定柱(12)之间,所述第二固定板(14)下壁固定连接有轴承座(16),所述转轴(17)呈贯穿状转动连接在轴承座(16)内壁,所述转轴(17)上端贯穿第二固定板(14)上壁并伸出至第二固定板(14)上方,所述第一固定板(13)上壁设置有用于驱动转轴(17)的旋转驱动结构,所述安装座(19)固定连接在转轴(17)下端,所述电动卡盘(20)固定连接在安装座(19)下壁,所述转轴(17)外壁且位于轴承座(16)和安装座(19)之间设置有用于向电动卡盘(20)供电的旋转供电结构,四组所述卡爪(21)均设置在电动卡盘(20)下壁,四组所述卡爪(21)朝向电动卡盘(20)中心的一侧均固定连接有夹板(22),所述夹板(22)俯视截面呈圆弧状且圆弧状弧度与多晶硅棒外径相适配,所述夹板(22)远离卡爪(21)的一端粘贴有缓冲垫(23),所述缓冲垫(23)内部设置有用于检测夹持时夹持力的压力检测结构。

3.根据权利要求2所述的一种碳头自动输送喷射处理生产线,其特征在于:所述升降驱动结构包括三组气缸(9),三组所述气缸(9)按前后分布依次固定连接在滑动架(7)上壁,三组所述气缸(9)伸出轴均贯穿滑动架(7)内壁并均伸出至滑动架(7)下方,三组所述气缸(9)伸出轴端部均与活动板(10)上壁固定连接。

4.根据权利要求3所述的一种碳头自动输送喷射处理生产线,其特征在于:所述旋转驱动结构为第一电机(15),所述第一电机(15)固定连接在第一固定板(13)上壁,所述第一电机(15)伸出轴贯穿第一固定板(13)内壁并伸出至第一固定板(13)下方,所述第一电机(15)伸出轴端部通过联轴器(18)与转轴(17)上端固定连接。

5.根据权利要求4所述的一种碳头自动输送喷射处理生产线,其特征在于:所述旋转供电结构为导电滑环(38),所述导电滑环(38)套设在转轴(17)外壁且位于轴承座(16)和安装座(19)之间,所述导电滑环(38)由呈转动连接的固定环和转动环组成,所述固定环通过支架(37)与第二固定板(14)下壁固定连接,所述转动环与安装座(19)上壁固定连接。

6.根据权利要求5所述的一种碳头自动输送喷射处理生产线,其特征在于:所述压力检测结构为压力传感器(24),所述缓冲垫(23)内壁设置有矩形腔,所述压力传感器(24)固定连接在夹板(22)远离卡爪(21)的一侧且位于矩形腔内部。

7.根据权利要求6所述的一种碳头自动输送喷射处理生产线,其特征在于:所述喷砂装置包括喷砂管(31)和喷嘴(3101),所述喷砂管(31)通过转动座(30)转动连接在防尘罩(25)侧壁且位于防尘罩(25)朝向喷砂接头(6)的一侧,所述喷砂管(31)远离防尘罩(25)的一端与喷砂接头(6)固定连接,所述喷砂接头(6)远离清理箱(4)的一端...

【技术特征摘要】

1.一种碳头自动输送喷射处理生产线,其特征在于:包括多晶硅棒、平移机械手(2)、供料传送装置(3)、清理箱(4)、出料传送装置(5)、喷砂机、负压泵以及碳头拔除装置,所述平移机械手(2)通过机架(1)支撑,所述供料传送装置(3)、清理箱(4)以及出料传送装置(5)按从左到右依次设置在平移机械手(2)下方,所述碳头拔除装置设置在清理箱(4)朝向供料传送装置(3)的一端,所述清理箱(4)外壁设置有多组喷砂接头(6),多组所述喷砂接头(6)按前后顺序依次设置在清理箱(4)远离碳头拔除装置的一端,所述平移机械手(2)上壁滑动连接有滑动架(7),所述滑动架(7)下壁通过多组导向杆(8)滑动连接有活动板(10),所述活动板(10)下壁呈前后分布设置有多组用于夹持多晶硅棒的夹持装置,所述活动板(10)与滑动架(7)之间设置有用于驱动活动板(10)升降的升降驱动结构,所述清理箱(4)上壁固定连接有多组连接盘(28),多组所述连接盘(28)相邻两组之间间距与多组夹持装置相邻两组之间间距一致,所述连接盘(28)内壁且居中位置设置有锥孔,所述锥孔内侧壁固定连接有密封垫(29),所述连接盘(28)下壁且位于清理箱(4)内部设置有用于防尘的防尘罩(25),所述防尘罩(25)相对的两侧分别设置有用于喷砂清理的喷砂装置以及用于除尘的除尘装置。

2.根据权利要求1所述的一种碳头自动输送喷射处理生产线,其特征在于:所述夹持装置包括遮挡罩(11)、第一固定板(13)、第二固定板(14)、转轴(17)、安装座(19)、电动卡盘(20)以及四组卡爪(21),所述遮挡罩(11)固定连接在活动板(10)下壁,所述活动板(10)下壁且位于遮挡罩(11)内部固定连接有四组固定柱(12),四组所述固定柱(12)均以遮挡罩(11)轴心为中心呈圆周等分分布,所述第一固定板(13)、第二固定板(14)呈上下分布依次固定连接在四组固定柱(12)之间,所述第二固定板(14)下壁固定连接有轴承座(16),所述转轴(17)呈贯穿状转动连接在轴承座(16)内壁,所述转轴(17)上端贯穿第二固定板(14)上壁并伸出至第二固定板(14)上方,所述第一固定板(13)上壁设置有用于驱动转轴(17)的旋转驱动结构,所述安装座(19)固定连接在转轴(17)下端,所述电动卡盘(20)固定连接在安装座(19)下壁,所述转轴(17)外壁且位于轴承座(16)和安装座(19)之间设置有用于向电动卡盘(20)供电的旋转供电结构,四组所述卡爪(21)均设置在电动卡盘(20)下壁,四组所述卡爪(21)朝向电动卡盘(20)中心的一侧均固定连接有夹板(22),所述夹板(22)俯视截面呈圆弧状且圆弧状弧度与多晶硅棒外径相适配,所述夹板(22)远离卡爪(21)的一端粘贴有缓冲垫(23),所述缓冲垫(23)内部设置有用于检测夹持时夹持力的压力检测结构。

3.根据权利要求2所述的一种碳头自动输送喷射处理生产线,其特征在于:所述升降驱动结构包括三组气缸(9),三组所述气缸(9)按前后分布依次固定连接在滑动架(7)上壁,三组所述气缸(9)伸出轴均贯穿滑动架(7)内壁并均伸出至滑动架(7)下方,三组所述气缸(9)伸出轴端部均与活动板(10)上壁固定连接。

4.根据权利要求3所述的一种碳头自动输送喷射处理生产...

【专利技术属性】
技术研发人员:吴利德高利平
申请(专利权)人:四川禾牧机械制造有限公司
类型:发明
国别省市:

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