【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及硅烷、乙硅烷和低温精馏生产，具体为一种适用于硅烷精馏氮气回收工艺。
技术介绍
1、以小松法(硅镁法)生产硅烷气，需要硅镁合金在水溶液、醇类和液氨介质中，能被无机酸和卤化铵分解产生硅烷，在制备反应原料硅镁合金时，由于粗硅中含有p、as、c、b等非金属杂质，这些杂质会与镁形成镁化物，这些化合物会在产生硅烷时形成挥发性的氢化物，如：ph3、as2h6、ch4、bh3等等，由于现有的吸附、过滤工艺对于这些小分子杂质无法全部去除，需要结合精馏操作配合进行去除杂质，而常压硅烷的沸点较低(-112℃)，在采用常压精馏的方式时，需要大量的冷量将硅烷冷凝至液相进行换热，去除杂质；因此采用液氮作为换热器冷媒。
2、但实际在生产过程中需要大量的液氮进行降温，导致大量的气化后的氮气浪费排放，由于氮气的排放浪费，氮气在被排放后想要对其进行收集，需要对其进行过滤，以防止资源浪费，但在过滤一段时间后需要对滤网进行取下清洁和更换，但由于人工的更换费时费力，不紧产生人力成本，还影响了对氮气的收集效率。
技术实现思路
1、本专利技术的目的是提供一种适用于硅烷精馏氮气回收工艺，以解决上述现有技术中的不足之处。
2、为了实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：
3、s1、将硅烷精馏塔的精馏尾氮各自的排放管线，汇总在一条排放总管上；
4、s2、使用空温式换热器将总管上的排放氮气，升温至室温(20～30℃)，通入两个进气缓冲罐，保证氮气排放稳定，保护后端氮气压缩
5、s3、通过氮气压缩机将回收氮气，进行加压至0.6～0.8mpag，进入过滤器，去除回收氮气中水分和颗粒杂质；
6、s4、再通过露点和氧含量在线检测，回收氮气品质达到设定至后，进入吹扫用气缓冲罐，再进入氮气罐，并入全厂工艺氮气管网中；
7、所述过滤器内设置有过滤结构，包括安装架，安装架上设置有气缸，所述安装架上还设置有滑动腔，所述气缸输出端滑动连接在所述滑动腔内，所述气缸输出端设置有两个限位块，所述气缸输出端上滑动连接有一个连接件，所述连接件位于两个所述限位块相互靠近位置，所述连接件下方通过一个卡接组件与一个滤芯连接；
8、所述安装架上还设置有一个清洁组件，所述气缸输出端伸出时能够带动所述滤芯移动至所述清洁组件的待清洁区域内，所述清洁组件能够对所述滤芯进行清洁；
9、所述安装架上还设置有一个限位组件，所述限位组件能够对所述滤芯进行限位，且所述限位组件能够在所述限位块移动时解除对所述滤芯的限位；
10、所述安装架上还设置有一个更换组件，所述气缸输出端收缩时能够带动所述滤芯移动至所述更换组件的待更换区域内，所述更换组件能够更换所述卡接组件所连接的滤芯。
11、进一步的，所述卡接组件包括第一固定块，所述第一固定块内设置有两个第一弹簧伸缩件，两个所述第一弹簧伸缩件输出端各设置有一个卡接件，两个所述卡接件上各设置有一个连接杆，两个所述连接杆远离所述卡接件的一段均贯穿至所述第一固定块外部，两个所述连接杆位于所述第一固定块外部的一端各设置有一个第一斜块，所述滤芯顶部设置有第二固定块，所述第二固定块上开设有两个槽口，两个所述槽口分别与两个卡接件位置对应，所述第二固定块上开设有两个卡接槽。
12、进一步的，所述清洁组件包括一端贯穿至所述安装架内部的气管，所述气管输出端转动连接有一个齿圈，所述齿圈与一个圆盘件连接，所述气管通过所述齿圈与所述圆盘件内部连通，所述圆盘件上设置有若干出气孔，若干所述出气孔均与所述圆盘件内部连通，所述圆盘件上设置有若干毛刷，所述安装架内设置有一个扭簧，所述扭簧输出端设置有一个第一齿轮件，所述第一齿轮件与所述齿圈啮合。
13、进一步的，所述清洁组件还包括滑动连接在所述安装架上的第一齿条件，所述第一齿条件与一个第二齿轮件啮合，所述第二齿轮件转动连接在所述安装架上，所述第二齿轮件上设置有一个第一斜齿轮件，所述第一斜齿轮件与一个第二斜齿轮啮合，所述第二斜齿轮设置在一个传动轴一端，所述传动轴转动连接在所述安装架上，所述传动轴另一端设置有一个第三斜齿轮件，所述第三斜齿轮件与一个第四斜齿轮件啮合，所述第四斜齿轮设置在一个转轴，所述转轴转动连接在所述安装架上，所述转轴上连接有两个第一导线的一端，两个所述第一导线的另一端分别一一对应与两个夹持块连接，两个所述夹持块相互靠近的一侧各开设有一个半圆孔，两个所述半圆孔相互对应，两个所述夹持块分别与四个第三弹簧伸缩件输出端连接，四个所述第三弹簧伸缩件均固定在所述安装架上；
14、所述安装架上开设有放置腔，所述清洁组件还包括一端与一个所述限位块固定连接的第二导线，所述第二导线另一端卷绕在所述扭簧输出端，所述第二导线穿过所述放置腔，所述第二导线穿过两个所述夹持块之间，所述第二导线与两个所述半圆孔位置对应，所述第二导线上固定设置有一个圆锥块，所述清洁组件还包括一个位于所述放置腔内的限位球，所述第二导线贯穿所述限位球。
15、进一步的，所述限位组件包括设置在所述安装架上的四个第九弹簧伸缩件，四个所述第九弹簧伸缩件输出端各设置有一个推动块，四个所述推动块输出端均设置有斜面，四个所述推动块均有部分位于所述滑动腔内，四个所述推动块上各设置有一个从动齿条件，四个从动齿条件分别一一对应与四个从动齿轮件啮合，四个所述从动齿轮件分别一一对应与两个从动轴两端固定连接，两个所述从动轴上各与两个从动导线的一端连接，四个所述从动导线另一端分别与两个从动环连接，两个所述第一从动环上各设置有若干从动杆，若干所述从动杆另一端分别与两个所述第二从动环连接，两个所述第二从动环上设置有若干从动弹簧伸缩件，若干所述从动弹簧伸缩件分别设置在两个套环上，两个所述套环均设置在所述安装架上。
16、进一步的，所述更换组件包括设置在所述安装架上的两个第四弹簧伸缩件，两个所述第四弹簧伸缩件输出端设置有一个挤压块，所述挤压块滑动在所述滑动腔内，所述挤压块上设置有一个第二齿条件，所述第二齿条件与一个第三齿轮件啮合，所述第三齿轮件连接一个卷绕轴，所述卷绕轴上连接有一个第三导线的一段，所述第三导线的另一端连接有一个第二斜块，所述第二斜块设置在一个第五弹簧伸缩件输出端，所述第五弹簧伸缩件设置在所述安装架上。
17、进一步的，所述更换组件还包括两个导轨，两个所述导轨内分别一一对应滑动连接有两个滑动杆，两个所述滑动杆分别一一对应与一个横杆两端固定连接，所述横杆上设置有两个第六弹簧伸缩件，两个所述第六弹簧伸缩件输出端上各设置有一个第三斜块，两个所述第三斜块分别与两个所述卡接槽位置对应，两个所述滑动杆分别与两个转动杆的一端转动连接，两个所述转动杆的另一端分别与两个转盘件转动连接，两个所述转盘件分别与一个转动轴两端连接，所述转动轴转动连接在所述安装架上，所述转动轴上套设有一个第四齿轮件，所述第四齿轮件与一个第三齿条件啮合，所述第三齿条件滑动连接在所述安装架上，所述第三齿条件上开设有一个卡接口，所述卡接口与所述第二斜块位置对应，所本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种适用于硅烷精馏氮气回收工艺，其特征在于：
2.根据权利要求1所述的一种适用于硅烷精馏氮气回收工艺，其特征在于，所述卡接组件(5)包括第一固定块(51)，所述第一固定块(51)内设置有两个第一弹簧伸缩件(52)，两个所述第一弹簧伸缩件(52)输出端各设置有一个卡接件(53)，两个所述卡接件(53)上各设置有一个连接杆(54)，两个所述连接杆(54)远离所述卡接件(53)的一段均贯穿至所述第一固定块(51)外部，两个所述连接杆(54)位于所述第一固定块(51)外部的一端各设置有一个第一斜块(55)，所述滤芯(6)顶部设置有第二固定块(61)，所述第二固定块(61)上开设有两个槽口(62)，两个所述槽口(62)分别与两个卡接件(53)位置对应，所述第二固定块(61)上开设有两个卡接槽。
3.根据权利要求2所述的一种适用于硅烷精馏氮气回收工艺，其特征在于，所述清洁组件(7)包括一端贯穿至所述安装架(1)内部的气管(71)，所述气管(71)输出端转动连接有一个齿圈(72)，所述齿圈(72)与一个圆盘件(73)连接，所述气管(71)通过所述齿圈(72)与所述圆
4.根据权利要求3所述的一种适用于硅烷精馏氮气回收工艺，其特征在于，所述清洁组件(7)还包括滑动连接在所述安装架(1)上的第一齿条件(78)，所述第一齿条件(78)与一个第二齿轮件(79)啮合，所述第二齿轮件(79)转动连接在所述安装架(1)上，所述第二齿轮件(79)上设置有一个第一斜齿轮件(710)，所述第一斜齿轮件(710)与一个第二斜齿轮啮合，所述第二斜齿轮设置在一个传动轴(712)一端，所述传动轴(712)转动连接在所述安装架(1)上，所述传动轴(712)另一端设置有一个第三斜齿轮件(713)，所述第三斜齿轮件(713)与一个第四斜齿轮件(714)啮合，所述第四斜齿轮设置在一个转轴(715)，所述转轴(715)转动连接在所述安装架(1)上，所述转轴(715)上连接有两个第一导线(716)的一端，两个所述第一导线(716)的另一端分别一一对应与两个夹持块(717)连接，两个所述夹持块(717)相互靠近的一侧各开设有一个半圆孔(718)，两个所述半圆孔(718)相互对应，两个所述夹持块(717)分别与四个第三弹簧伸缩件(719)输出端连接，四个所述第三弹簧伸缩件(719)均固定在所述安装架(1)上；
5.根据权利要求4所述的一种适用于硅烷精馏氮气回收工艺，其特征在于，所述限位组件(8)包括设置在所述安装架(1)上的四个第九弹簧伸缩件(81)，四个所述第九弹簧伸缩件(81)输出端各设置有一个推动块(82)，四个所述推动块(82)输出端均设置有斜面，四个所述推动块(82)均有部分位于所述滑动腔内，四个所述推动块(82)上各设置有一个从动齿条(83)件，四个从动齿条(83)件分别一一对应与四个从动齿轮(84)件啮合，四个所述从动齿轮(84)件分别一一对应与两个从动轴(85)两端固定连接，两个所述从动轴(85)上各与两个从动导线(86)的一端连接，四个所述从动导线(86)另一端分别与两个从动环连接，两个所述第一从动环(87)上各设置有若干从动杆(88)，若干所述从动杆(88)另一端分别与两个所述第二从动环(89)连接，两个所述第二从动环(89)上设置有若干从动弹簧伸缩件(810)，若干所述从动弹簧伸缩件(810)分别设置在两个套环(811)上，两个所述套环(811)均设置在所述安装架(1)上。
6.根据权利要求5所述的一种适用于硅烷精馏氮气回收工艺，其特征在于，所述更换组件(9)包括设置在所述安装架(1)上的两个第四弹簧伸缩件(91)，两个所述第四弹簧伸缩件(91)输出端设置有一个挤压块(92)，所述挤压块(92)滑动在所述滑动腔内，所述挤压块(92)上设置有一个第二齿条件(93)，所述第二齿条件(93)与一个第三齿轮件(94)啮合，所述第三齿轮件(94)连接一个卷绕轴(95)，所述卷绕轴(95)上连接有一个第三导线(96)的一段，所述第三导线(96)的另一端连接有一个第二斜块(97)，所述第二斜块(97)设置在一个第五弹簧伸缩件(98)输出端，所述第五弹簧伸缩件(98)设置在所述安装架(1)上。
7.根据权利要求6所述的一种适用于硅烷精馏氮气回收工艺，其特征在于，所述更换组件(9)还包括两个导轨(99)，两个所述导轨(99...
【技术特征摘要】
1.一种适用于硅烷精馏氮气回收工艺，其特征在于：
2.根据权利要求1所述的一种适用于硅烷精馏氮气回收工艺，其特征在于，所述卡接组件(5)包括第一固定块(51)，所述第一固定块(51)内设置有两个第一弹簧伸缩件(52)，两个所述第一弹簧伸缩件(52)输出端各设置有一个卡接件(53)，两个所述卡接件(53)上各设置有一个连接杆(54)，两个所述连接杆(54)远离所述卡接件(53)的一段均贯穿至所述第一固定块(51)外部，两个所述连接杆(54)位于所述第一固定块(51)外部的一端各设置有一个第一斜块(55)，所述滤芯(6)顶部设置有第二固定块(61)，所述第二固定块(61)上开设有两个槽口(62)，两个所述槽口(62)分别与两个卡接件(53)位置对应，所述第二固定块(61)上开设有两个卡接槽。
3.根据权利要求2所述的一种适用于硅烷精馏氮气回收工艺，其特征在于，所述清洁组件(7)包括一端贯穿至所述安装架(1)内部的气管(71)，所述气管(71)输出端转动连接有一个齿圈(72)，所述齿圈(72)与一个圆盘件(73)连接，所述气管(71)通过所述齿圈(72)与所述圆盘件(73)内部连通，所述圆盘件(73)上设置有若干出气孔，若干所述出气孔均与所述圆盘件(73)内部连通，所述圆盘件(73)上设置有若干毛刷，所述安装架(1)内设置有一个扭簧(76)，所述扭簧(76)输出端设置有一个第一齿轮件(77)，所述第一齿轮件(77)与所述齿圈(72)啮合。
4.根据权利要求3所述的一种适用于硅烷精馏氮气回收工艺，其特征在于，所述清洁组件(7)还包括滑动连接在所述安装架(1)上的第一齿条件(78)，所述第一齿条件(78)与一个第二齿轮件(79)啮合，所述第二齿轮件(79)转动连接在所述安装架(1)上，所述第二齿轮件(79)上设置有一个第一斜齿轮件(710)，所述第一斜齿轮件(710)与一个第二斜齿轮啮合，所述第二斜齿轮设置在一个传动轴(712)一端，所述传动轴(712)转动连接在所述安装架(1)上，所述传动轴(712)另一端设置有一个第三斜齿轮件(713)，所述第三斜齿轮件(713)与一个第四斜齿轮件(714)啮合，所述第四斜齿轮设置在一个转轴(715)，所述转轴(715)转动连接在所述安装架(1)上，所述转轴(715)上连接有两个第一导线(716)的一端，两个所述第一导线(716)的另一端分别一一对应与两个夹持块(717)连接，两个所述夹持块(717)相互靠近的一侧各开设有一个半圆孔(718)，两个所述半圆孔(718)相互对应，两个所述夹持块(717)分别与四个第三弹簧伸缩件(719)输出端连接，四个所述第三弹簧伸缩件(719)均固定在所述安装架(1)上；
5.根据权利要求4所述的一种适用于硅烷精馏氮气回收工艺，其特征在于，所述限位组件(8)包括设置在所述安装架(1)上的四个第九弹簧伸缩件(81)，四个所述第九弹簧伸缩件(81)输出端各设置有一个推动块(82)，四个所述推动块(82)输出端均设置有斜面，四个所述推动块(82)均有部分位于所述滑动腔内，四个所述推动块(82)上各设置有一个从动齿条(83)件，四个从动齿条(83)件分别一一对应与四个从动齿轮(84)件啮合，四个所述从动齿轮(84)件分别一一对应与两个从动轴(85)两端固定连接，两个所述从动轴(85)上各与两个从动导线(86)的一端连接，四个所述从动导线(86)另一端分别与两个从动环连接，两个所述第一从动环(87)上各设置有若干从动杆(88)，若干所述从动杆(88)另一端分别与两个所述第二从动环(89)连接，两个所述第二从动环(89)上设置有若干从动弹簧伸缩件(810...
【专利技术属性】
技术研发人员：邹来飞，卓兆甫，魏入铎，沈庆，张佳乐，杨飞，
申请(专利权)人：全椒亚格泰电子新材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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