【技术实现步骤摘要】
本技术属于靶材测试设备，具体为一种陶瓷靶材密度测试装置。
技术介绍
1、在进行磁控溅射镀膜过程中，会采用平面陶瓷靶材作为阴极材料，靶材的密度直接决定着镀膜的最终质量。目前，对于生产出来的陶瓷靶材，通常需要对其进行密度测试，靶材的密度测试一般采用排水法，通过测出其质量，然后通过排水测体积，以进行计算，而对于一些大尺寸的陶瓷靶材进行测试过程时，由于靶材体积且质量重，有些靶材质量通常在数十公斤以上，而仅依靠现有的设备难以直接完成，其过程需要分多步骤进行，使得相对较为繁琐，因此，本专利目的在于提供一种陶瓷靶材密度测试装置，使得可以简化大尺寸陶瓷靶材的密度测试过程，从而提高测过过程的便捷性，从而提高当前测试工作的效率。
技术实现思路
1、本部分的目的在于概述本技术的实施例的一些方面以及简要介绍一些较佳实施例。在本部分以及本申请的说明书摘要和技术名称中可能会做些简化或省略以避免使本部分、说明书摘要和技术名称的目的模糊，而这种简化或省略不能用于限制本技术的范围。
2、鉴于现有技术中存在以下技术问题：目前针对大尺寸陶瓷靶材在进行密度测试时，其步骤繁多，过程繁琐，测试效率较低。为解决该技术问题，本技术提供如下技术方案：
3、一种陶瓷靶材密度测试装置，包括：
4、水箱以及与所述水箱内侧固定连通的控水区域，所述控水区域呈线性延展结构且其截面均匀，其内部配置有活塞板，所述活塞板配置有驱动力；
5、称重组件以及定点设置于所述水箱内部的承载板，所述称重组件用于检
6、固定设置在所述水箱内的定位线，其高度高于所述承载板顶面。
7、作为一种陶瓷靶材密度测试装置的优选技术方案，所述称重组件与水箱相对固定设置，所述承载板底部固定连接有多个支撑杆，其活动贯穿所述水箱底壁，并搭接于所述称重组件。
8、作为一种陶瓷靶材密度测试装置的优选技术方案，所述水箱下方设置有与控水区域相并排的空置区，所述称重组件位于空置区。
9、作为一种陶瓷靶材密度测试装置的优选技术方案，所述控水区域外壁固定连接有支撑块，其一端与所述水箱固定连接，所述称重组件与支撑块固定连接。
10、作为一种陶瓷靶材密度测试装置的优选技术方案，还包括固定设置在所述空置区处的电动推杆，其活动端滑动贯穿至所述控水区域内，并与所述活塞板相连接。
11、本技术提供的陶瓷靶材密度测试装置具有的有益效果是：通过控水区域与活塞板的配合，从而控制水箱内液面的移动，从而测量出陶瓷靶材的体积，并通过称重组件的配合同步实现对陶瓷靶材重量的测定，从而根据数据得出其密度值，本技术提供的测试装置相较于现有技术来说能够快速实现对靶材的密度值测量，从而有效提高测量效率。
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1.一种陶瓷靶材密度测试装置，其特征在于：包括：
2.根据权利要求1所述的陶瓷靶材密度测试装置，其特征在于：所述称重组件(4)与水箱(1)相对固定设置，所述承载板(5)底部固定连接有多个支撑杆(7)，其活动贯穿所述水箱(1)底壁，并搭接于所述称重组件(4)。
3.根据权利要求2所述的陶瓷靶材密度测试装置，其特征在于：所述水箱(1)下方设置有与控水区域(2)相并排的空置区(8)，所述称重组件(4)位于空置区(8)。
4.根据权利要求3所述的陶瓷靶材密度测试装置，其特征在于：所述控水区域(2)外壁固定连接有支撑块(9)，其一端与所述水箱(1)固定连接，所述称重组件(4)与支撑块(9)固定连接。
5.根据权利要求3所述的陶瓷靶材密度测试装置，其特征在于：还包括固定设置在所述空置区(8)处的电动推杆(10)，其活动端滑动贯穿至所述控水区域(2)内，并与所述活塞板(3)相连接。
【技术特征摘要】
1.一种陶瓷靶材密度测试装置，其特征在于：包括：
2.根据权利要求1所述的陶瓷靶材密度测试装置，其特征在于：所述称重组件(4)与水箱(1)相对固定设置，所述承载板(5)底部固定连接有多个支撑杆(7)，其活动贯穿所述水箱(1)底壁，并搭接于所述称重组件(4)。
3.根据权利要求2所述的陶瓷靶材密度测试装置，其特征在于：所述水箱(1)下方设置有与控水区域(2)相并排的空置区(8)，所述称重组...
【专利技术属性】
技术研发人员：孔伟华，马贺，李俊涛，
申请(专利权)人：江苏迪丞光电材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
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