【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本公开涉及从容器自动配送液体，例如半导体处理及化学品制造中使用的高纯度、高腐蚀性液体。
技术介绍
1、高纯度及高腐蚀性液体通常用于例如半导体处理及化学品制造的行业。为了质量及安全考虑，这些液体通常必须包含在高完整性容器中，且使用高度可靠的配送系统进行配送。
2、常规地，容器是由高纯度聚乙烯形成的筒，例如第6,045,000.号美国专利中描述的筒。适用于这些筒的配送系统的实例在第4,699,298号、第5,108,015号、第5,957,328号及第5,526,956号美国专利中描述。用于处置这些流体的连接、管道及装配件通常由惰性材料形成，例如各种含氟聚合物。管道通常由全氟烷氧基(“pfa”)形成，而装配件及阀组件可由例如pfa、聚四氟乙烯(“ptfe”)及其它各种含氟聚合物的组件形成。
3、常规筒通常包含塞子开口及连接到塞子上的向上且同心的螺纹接头的筒嵌件。配送头可与筒嵌件可操作地耦合，且可包含连接到塞子且密封接合塞子的主流体通道。配送头另外可包含再循环通道，使得从筒配送的流体可稍后再循环到筒。
4、当使用配送头从筒抽出高纯度、高腐蚀性及高碱性液体时，不将需要一种液体的设备的配送头连接到含有不恰当或不兼容的不同液体的筒可为重要的。为防此状况，在配送头及筒嵌件中提供经编码的指针区段及凹槽以仅当存在恰当的编码时才能够将筒嵌件组装到配送头。
5、一种此类配送系统(sentry qciii快速连接系统tm)在图1a及1b中描绘。筒10具有两个塞子20，其中一个被螺纹栓25占据。筒嵌件30安
6、配送头50通过锁定环51的旋转与筒嵌件30接合，用于配送筒10的内容物。当接合时，配送头50在管道52与筒10之间提供连通以便抽出筒10的内容物，将抽出的流体再循环到筒10，使筒10排气，且验证配送头50、筒嵌件30及筒10的塞子20的间建立的紧密密封。
7、配送头50的安装用手使用专门设计的扭矩扳手完成。
技术实现思路
1、本公开提供用于从筒自动配送潜在危险的基于液体的材料的设备及方法，其可提供更高的准确性、速度、可重复性及安全性。从移除装运盖到安装配送头，再到最终重新安装装运盖，筒上的所有敞开端口操作(以及所有配送操作)可在封闭场域内没有人员在场的情况下在封闭场域内执行。
2、简而言之，本公开提供一种设备，其包括：a.机械臂；及b.臂末端附接件，其固定地附接到机械臂，其中臂末端附接件包括：i.所述臂末端附接件的固定部分，其固定地附接到所述机械臂，所述固定部分适于接收所述臂末端附接件的可更换部分；ii.所述臂末端附接件的第一可更换部分，其适于从容器移除盖、保持所述盖及将所述盖重新安装在所述容器上；及iii.臂末端附接件的第二可更换部分，其适于将配送头安装在容器上及从容器移除配送头，其中配送头能够从容器配送基于液体的材料。在一些实施例中，基于液体的材料是cmp工艺化学品，且cmp工艺化学品被配送到cmp工艺工具。在一些实施例中，所述设备包含可编程逻辑控制器，其控制机械臂及臂末端附接元件的运动，且视情况协调所述设备的动作与cmp工艺工具的动作。下文描述本公开的设备的额外实施例。
3、在另一方面中，本公开提供一种用于从容器自动配送基于液体的材料的方法，其包括：a.提供用于从容器自动填充或配送基于液体的材料的设备，所述设备包括：i.机械臂；及ii.臂末端附接件，其固定地附接到所述机械臂，其中所述臂末端附接件包括：1.所述臂末端附接件的固定部分，其固定地附接到所述机械臂；所述固定部分适于接收所述臂末端附接件的可更换部分；2.所述臂末端附接件的第一可更换部分，其适于从所述容器移除盖、保持所述盖及将所述盖重新安装在所述容器上；及3.所述臂末端附接件的第二可更换部分，其适于将配送头安装在所述容器上及从所述容器移除所述配送头；b.凭借所述第一可更换部分附接到所述固定部分，用所述第一可更换部分从容器移除盖；及c.凭借所述第二可更换部分附接到所述固定部分，在所述容器上安装配送头。在一些实施例中，所述方法另外包括：d.通过配送头从容器配送基于液体的材料。在一些实施例中，所述方法进一步包括：e.将所述基于液体的材料的部分供应到cmp工艺工具；及f.通过配送头将基于液体的材料的部分再循环回容器中。下文描述本公开的方法的额外实施例。
4、本公开的前述
技术实现思路
不希望描述本专利技术的每一实施例。在下列描述中还陈述本专利技术的一或多个实施例的细节。从描述及权利要求书应能明白本专利技术的其它特征、目的及优点。
5、除非另有指定，否则本文使用的所有科学及技术术语具有所属领域中常用的含义。
6、如在此说明书及所附权利要求书中所使用，单数形式的“一”、“一个”及“所述”涵盖具有复数参考的实施例，除非内容另外明确指示。
7、如在此说明书及所附权利要求书中使用，术语“或”一般以包含“及/或”的含义采用，除非在背景内容另外明确指示。
8、如本文所用，“具有(have、having)”、“包含(include、including)”、“包括(comprise、comprising)”或类似者以其开放式意义使用，且通常意味着“包含但不限于”。应理解，术语“由……组成”及“基本上由……组成”包含在术语“包括”及类似者中。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种设备，其包括：
2.根据权利要求1所述的设备，其中所述第一可更换部分包括第一转子，所述第一转子包括多个夹具，所述夹具适于围绕所述盖闭合，使得扭矩能够通过所述第一转子的旋转施加到所述盖。
3.根据权利要求1所述的设备，其中所述第二可更换部分包括第二转子，所述第二转子与所述配送头接合且能够通过所述第二转子的旋转向所述配送头施加扭矩。
4.根据权利要求3所述的设备，其中所述配送头包括三个或更多个贯穿通道。
5.根据权利要求4所述的设备，其中至少一个贯穿通道连接到CMP工具。
6.根据权利要求3所述的设备，其中所述配送头包括四个或更多个贯穿通道。
7.根据权利要求6所述的设备，其中至少一个贯穿通道连接到CMP工具。
8.根据权利要求1所述的设备，其中所述基于液体的材料是CMP工艺化学品，且其中所述CMP工艺化学品被配送到CMP工艺工具。
9.根据权利要求1所述的设备，其中所述固定部分包括伺服马达，所述伺服马达适于交替地与所述第一可更换部分的第一转子接合使得所述伺服马达能够向所述第一转子
10.根据权利要求9所述的设备，其另外包括扭矩监测器以测量由所述伺服马达施加的扭矩。
11.根据权利要求9所述的设备，其中所述固定部分另外包括位置监视器以测量所述伺服马达的旋转位置。
12.根据权利要求1所述的设备，其中所述固定部分包括一或多个锁，所述锁在锁定位置将所述第一可更换部分或所述第二可更换部分维持在相对于所述固定部分的固定位置，且所述锁在打开位置释放所述第一可更换部分或所述第二可更换部分。
13.根据权利要求1所述的设备，其中所述固定部分包括能够捕捉所述容器的图像的一或多个摄影机。
14.根据权利要求1所述的设备，其中所述固定部分包括一或多个测距检测器。
15.根据权利要求1所述的设备，其中所述第一可更换部分包括第一转子，所述第一转子包括多个夹具，所述夹具适于围绕所述盖闭合，使得扭矩能够通过所述第一转子的旋转施加到所述盖；
16.根据权利要求15所述的设备，其另外包括可编程逻辑控制器；
17.根据权利要求16所述的设备，其中所述基于液体的材料是CMP工艺化学品，其中所述CMP工艺化学品被配送到CMP工艺工具，且其中所述可编程逻辑控制器功能上连接以发送状态信号到所述CMP工具。
18.一种方法，其包括：
19.根据权利要求18所述的方法，其另外包括：
20.根据权利要求19所述的方法，其中所述基于液体的材料是CMP工艺化学品，所述方法另外包括：
...【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种设备，其包括：
2.根据权利要求1所述的设备，其中所述第一可更换部分包括第一转子，所述第一转子包括多个夹具，所述夹具适于围绕所述盖闭合，使得扭矩能够通过所述第一转子的旋转施加到所述盖。
3.根据权利要求1所述的设备，其中所述第二可更换部分包括第二转子，所述第二转子与所述配送头接合且能够通过所述第二转子的旋转向所述配送头施加扭矩。
4.根据权利要求3所述的设备，其中所述配送头包括三个或更多个贯穿通道。
5.根据权利要求4所述的设备，其中至少一个贯穿通道连接到cmp工具。
6.根据权利要求3所述的设备，其中所述配送头包括四个或更多个贯穿通道。
7.根据权利要求6所述的设备，其中至少一个贯穿通道连接到cmp工具。
8.根据权利要求1所述的设备，其中所述基于液体的材料是cmp工艺化学品，且其中所述cmp工艺化学品被配送到cmp工艺工具。
9.根据权利要求1所述的设备，其中所述固定部分包括伺服马达，所述伺服马达适于交替地与所述第一可更换部分的第一转子接合使得所述伺服马达能够向所述第一转子施加扭矩及与所述第二可更换部分的第二转子接合使得所述伺服马达能够向所述第二转子施加扭矩。
10.根据权利要求9所述的设备，其另外包括扭矩监测器以测量由所述伺服马达施加的扭矩。
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