【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于半导体过滤，具体为一种半导体用化学品快速过滤装置。
技术介绍
1、在半导体制造的过程中，会用到一些特殊气体来辅助生产，例如惰性气体氮气，用于喷洗光刻设备的通道和管网，以去除残余的氧气，氩气主要用于紫外光刻激光器内的沉积和蚀刻过程，用于在半导体芯片上制作最小的图案，而氢气则可以用于硅和硅锗的外延沉积，这些特殊气体在用于半导体制造前，需要经过颗粒过滤、水分烘干后才能使用，以保证其使用的纯净度；
2、现有的半导体用化学品过滤装置在过滤时会将存储在罐体内的高压气体经过释放、减压后再通过过滤装置进行过滤作业，压力值较小的气体在进入到过滤壳内，需要耗费大量时间将空余的腔体填满，此时滤芯才能发挥应有的作用，但是半导体的生产流程会需要大量的特殊气体，此类传统的过滤方法无法满足日益加速的生产效率需要，因此需要一种能够快速过滤的装置。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种半导体用化学品快速过滤装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、为了实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种半导体用化学品快速过滤装置，包括底座，所述底座的顶部固定安装有进气组件，还包括联动增减压快速过滤机构，其包括加压组件，所述加压组件固定安装在所述进气组件的右侧，所述加压组件的右侧固定安装有横向过滤组件，所述横向过滤组件的右侧固定安装有减压组件；
3、纵向过滤组件，所述纵向过滤组件固定安装在所述横向过滤组件的右侧，所述纵向过滤组件包括第二过滤壳，所述第二过滤壳的内
4、优选的，所述伞形杆的底端与第二过滤壳的底面固定连接，上侧所述盘式滤网开设的圆孔为自右向左倾斜，下侧所述盘式滤网开设的圆孔为自左向右倾斜，第一荆轮与第二荆轮的齿槽互相对称。
5、优选的，所述进气组件包括多根弯管，多根所述弯管的中部位置固定连接有两根纵管，两根所述纵管的中部位置均固定连接有进气阀。
6、优选的，所述加压组件包括加压壳，所述加压壳固定安装在底座的顶部，所述加压壳的左侧与多根弯管固定连接，所述加压壳的内部偏心安装有转辊，所述转辊的内活动安装有多个伸缩叶片，所述加压壳的前侧固定安装有第一压力表，所述加压壳的右侧固定连接有出风管。
7、优选的，所述横向过滤组件包括第一过滤壳，所述第一过滤壳固定安装在加压壳的右侧，所述第一过滤壳的左侧与出风管固定连接，所述第一过滤壳的顶部固定连接有分流管，所述分流管的右端固定安装在第二过滤壳的内部，所述第一过滤壳的底侧固定安装有框架，所述框架的底部固定连接有两条轨道，两条所述轨道的内侧均活动卡接有多个活动片，多个所述活动片的另一端均活动铰接有连接条，多个所述连接条的顶部均固定连接有换向板，多个所述换向板的外边缘均活动套接有滤网。
8、优选的，所述换向板的转动轴贯穿安装于框架，所述滤网固定安装在框架的顶部。
9、优选的，所述减压组件包括固定板，所述固定板固定安装在第二过滤壳的右侧，所述固定板的前侧固定安装有三通管，所述三通管的中部位置固定安装有隔条，所述三通管的左端固定连接有连接管，所述连接管的左端与第二过滤壳的右侧固定连接，所述三通管的顶侧固定连接有液压杆，所述液压杆的伸缩端外边缘套接有弹簧，所述液压杆的伸缩端固定连接有压头，所述三通管的左右两端顶侧均固定连接有压力管，两根所述压力管尾端均固定连接有第二压力表。
10、优选的，所述隔条的中部开设有可供压头抵接的凹槽，两个所述第二压力表固定安装在三通管的顶部。
11、本专利技术的有益效果如下：
12、1、本专利技术通过新设计有纵向过滤组件，扇轮顺时针旋转，将多个出气点整合成规律的气旋，向下拂上侧的盘式滤网，自右向左倾斜开设的圆孔，会引导风向整流呈现斜向下运动，从而带动上侧盘式滤网也能够顺时针旋转，风向继续向下，吹动下侧盘式滤网自左向右倾斜开设的圆孔，此时加压气体经过上下两个不同旋转方向的盘式滤网进行纵向过滤，加压气体快速流动，去除气体中的残余颗粒，解决了压力值较小的气体在进入到过滤壳内，需要耗费大量时间将空余的腔体填满，过滤慢的问题。
13、2、本专利技术通过安装有横向过滤组件，加压气体进入到横向过滤组件内时，会在第一过滤壳内由左至右吹拂滤网，滤网对气体捕捉进行过滤，并同步启动多个活动片，活动片在轨道内滑动，通过与连接条形成的连杆，进而在框架上推动换向板旋转一定角度，往复运动多个活动片，则可实现多个换向板的往复旋转，高压气体在此内经过多片换向板、滤网组成的过滤系统，在第一过滤壳内乱序流动进行横向的颗粒物过滤，从而提升过滤效果。
14、3、本专利技术通过安装有减压组件，再次过滤后的气体经过连接管进入到三通管内，首先会在左侧三通管与隔条中停留，通过缩短液压杆的行程，使得由隔条、压头组成的左右两侧腔体可以联通，进而将高压的气体缓慢放气，从而达到减压的效果，两个第二压力表可直观的读取减压前后的气体数值，被减压的恢复至常态气压的特殊气体，可方便地投入至半导体生产中。
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1.一种半导体用化学品快速过滤装置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的顶部固定安装有进气组件(2)，还包括，
2.根据权利要求1所述的一种半导体用化学品快速过滤装置，其特征在于：所述伞形杆(52)的底端与第二过滤壳(51)的底面固定连接，上侧所述盘式滤网(54)开设的圆孔(55)为自右向左倾斜，下侧所述盘式滤网(54)开设的圆孔(55)为自左向右倾斜，第一荆轮(56)与第二荆轮(58)的齿槽互相对称。
3.根据权利要求2所述的一种半导体用化学品快速过滤装置，其特征在于：所述进气组件(2)包括多根弯管(21)，多根所述弯管(21)的中部位置固定连接有两根纵管(22)，两根所述纵管(22)的中部位置均固定连接有进气阀(23)。
4.根据权利要求3所述的一种半导体用化学品快速过滤装置，其特征在于：所述加压组件(3)包括加压壳(31)，所述加压壳(31)固定安装在底座(1)的顶部，所述加压壳(31)的左侧与多根弯管(21)固定连接，所述加压壳(31)的内部偏心安装有转辊(32)，所述转辊(32)的内活动安装有多个伸缩叶片(33)，所述加压壳(
5.根据权利要求4所述的一种半导体用化学品快速过滤装置，其特征在于：所述横向过滤组件(4)包括第一过滤壳(41)，所述第一过滤壳(41)固定安装在加压壳(31)的右侧，所述第一过滤壳(41)的左侧与出风管(35)固定连接，所述第一过滤壳(41)的顶部固定连接有分流管(42)，所述分流管(42)的右端固定安装在第二过滤壳(51)的内部，所述第一过滤壳(41)的底侧固定安装有框架(43)，所述框架(43)的底部固定连接有两条轨道(44)，两条所述轨道(44)的内侧均活动卡接有多个活动片(45)，多个所述活动片(45)的另一端均活动铰接有连接条(46)，多个所述连接条(46)的顶部均固定连接有换向板(47)，多个所述换向板(47)的外边缘均活动套接有滤网(48)。
6.根据权利要求5所述的一种半导体用化学品快速过滤装置，其特征在于：所述换向板(47)的转动轴贯穿安装于框架(43)，所述滤网(48)固定安装在框架(43)的顶部。
7.根据权利要求1所述的一种半导体用化学品快速过滤装置，其特征在于：所述减压组件(6)包括固定板(61)，所述固定板(61)固定安装在第二过滤壳(51)的右侧，所述固定板(61)的前侧固定安装有三通管(62)，所述三通管(62)的中部位置固定安装有隔条(63)，所述三通管(62)的左端固定连接有连接管(64)，所述连接管(64)的左端与第二过滤壳(51)的右侧固定连接，所述三通管(62)的顶侧固定连接有液压杆(65)，所述液压杆(65)的伸缩端外边缘套接有弹簧(66)，所述液压杆(65)的伸缩端固定连接有压头(67)，所述三通管(62)的左右两端顶侧均固定连接有压力管(68)，两根所述压力管(68)尾端均固定连接有第二压力表(69)。
8.根据权利要求7所述的一种半导体用化学品快速过滤装置，其特征在于：所述隔条(63)的中部开设有可供压头(67)抵接的凹槽，两个所述第二压力表(69)固定安装在三通管(62)的顶部。
...【技术特征摘要】
1.一种半导体用化学品快速过滤装置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的顶部固定安装有进气组件(2)，还包括，
2.根据权利要求1所述的一种半导体用化学品快速过滤装置，其特征在于：所述伞形杆(52)的底端与第二过滤壳(51)的底面固定连接，上侧所述盘式滤网(54)开设的圆孔(55)为自右向左倾斜，下侧所述盘式滤网(54)开设的圆孔(55)为自左向右倾斜，第一荆轮(56)与第二荆轮(58)的齿槽互相对称。
3.根据权利要求2所述的一种半导体用化学品快速过滤装置，其特征在于：所述进气组件(2)包括多根弯管(21)，多根所述弯管(21)的中部位置固定连接有两根纵管(22)，两根所述纵管(22)的中部位置均固定连接有进气阀(23)。
4.根据权利要求3所述的一种半导体用化学品快速过滤装置，其特征在于：所述加压组件(3)包括加压壳(31)，所述加压壳(31)固定安装在底座(1)的顶部，所述加压壳(31)的左侧与多根弯管(21)固定连接，所述加压壳(31)的内部偏心安装有转辊(32)，所述转辊(32)的内活动安装有多个伸缩叶片(33)，所述加压壳(31)的前侧固定安装有第一压力表(34)，所述加压壳(31)的右侧固定连接有出风管(35)。
5.根据权利要求4所述的一种半导体用化学品快速过滤装置，其特征在于：所述横向过滤组件(4)包括第一过滤壳(41)，所述第一过滤壳(41)固定安装在加压壳(31)的右侧，所述第一过滤壳(41)的左侧与出风管(35)固定连接，所述第一过滤壳(41)的顶部固定连接有分流管(42)，所述分流管(42)的右...
【专利技术属性】
技术研发人员：聂军军，赵龙山，丁孟，段钰涵，孙晓琦，
申请(专利权)人：冠礼控制科技上海有限公司，
类型：发明
国别省市：
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