【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及pss工艺产品检测，具体地，涉及一种pss工艺产品检测方法及系统，尤其是一种基于自注意深度可分离卷积的pss工艺产品的检测方法和系统。
技术介绍
1、pss(patterned sapphire substrate)是一种在蓝宝石衬底上制作出周期性图形的技术。pss的工艺主要包括利用光刻和刻蚀技术在蓝宝石表面形成不同形状的图形，如条纹、半球、锥形等，然后在其上生长gan材料，使gan材料的纵向外延变为横向外延。pss的技术可以提高led的亮度和效率。pss的图形可以从微米级到纳米级，刻蚀技术可以从湿法到干法。
2、现有的pss工艺产品检测方法，主要为使用目标检测的方式，通过将缺陷进行标记识别，但是对于缺陷比较小和缺陷比较模糊的情况，目标检测需要提取特征图，缺陷比较小和模糊的情况特征图有限，导致识别准确性差，无法保证识别准确性。本专利技术对于缺陷识别使用分类的思和数值约束的方式，通过将数据进行分类，经过自注意深度可分离卷积自分类学习，去发现相应的缺陷内容，并且结合数值计算的方式，进一步约束识别结果。
技术实现思路
1、针对现有技术中的缺陷，本专利技术的目的是提供一种pss工艺产品检测方法及系统。
2、根据本专利技术提供的一种pss工艺产品检测方法，包括如下步骤：
3、步骤s1：采集pss工艺产品的.flt文件，并获取pss工艺产品的产品数据集；
4、步骤s2：构建分类判别模型，通过产品数据集训练分类判断模型，使用分类判别模
5、步骤s3：根据产品数据集，获得产品参数的数值计算结果；
6、步骤s4：根据预先设置参数，总结数值计算结果，输出判别信息，根据输出判别信息和分类判别模型的判别结果，联合判定输出参数和质检结果。
7、优选的，所述步骤s1具体包括如下步骤：
8、原始文件获取步骤：通过原子力显微镜对pss工艺产生的圆盘进行检测，得到.flt文件；
9、热力图获取步骤：读取.flt文件中的height_sensor.flt文件，采用iso-8859-1进行encoding的方式进行解码，获取里面的二进制文件，使用其头文件参数进行数据复原，采用数据插补的方式将数据resize调整为480*240的浏览数据模式，得到热力图数据；
10、rgb图获取步骤：通过读取.flt文件中的tm_amplitude.flt文件，采用iso-8859-1进行encoding的方式进行解码，获取里面的二进制文件，使用其头文件参数进行数据复原，采用数据插补的方式将数据resize调整为480*240的浏览数据模式，得到rgb图数据；
11、3d等高图获取步骤：将得到的热力图数据按照像素点对应数值的关系映射到3d视野图上显示出来，得到3d等高图数据；
12、曲线数据图获取步骤：将得到的热力图数据转为灰度值，并使用霍夫变换识别圆形，取圆心与圆形所在水平面内的160个像素点连接形成的水平线，将其可视化展示出来，得到曲线数据图数据。
13、优选的，所述步骤s2具体包括如下步骤：
14、数据集制作步骤：将.flt数据文件转换为rgb图片数据，并按照预设比例将rgb图片数据划分为训练数据集、验证数据集、测试数据集；
15、数据集增强步骤：对于rgb图片数据，将输入图像的大小调整为480x240像素，进行数据张量化，通过水平翻转图像和垂直翻转图像增加训练数据的多样性，标准化图像数据，使得每个通道的像素值具有零均值和单位方差；
16、模型构建步骤：结合深度可分离卷积模块、倒残差模块、swish激活函数以及自注意机制构建目标检测模型；
17、模型训练步骤：通过训练数据集对目标检测模型进行训练迭代。
18、优选的，所述步骤s3具体包括如下步骤：
19、拐点计算步骤：通过热力图找到圆心，通过将圆心设定为中心，映射到3d等高线图上，获得的曲线数据，根据曲线数据，使用曲线一阶导数计算，获取一阶导数曲线，根据一阶导数曲线，得到一个最高位置的顶拐点，以及位于顶拐点左右两侧的左拐点和右拐点；
20、角度计算步骤：根据曲线数据，自定义上下两条与曲线数据相交的水平线，上水平线与曲线数据的两个交点连接顶拐点，形成的夹角为顶角，下水平线与曲线数据的两个交点连接最顶点形成的两条线与下水平线的夹角分别为左低角、右低角，通过三角函数关系计算得到顶角、左低角、右低角的角度值；
21、弧边距计算步骤：将顶拐点分别与左拐点、右拐点连接，得到两条直线，采用点到直线的距离公式，遍历两条直线范围内曲线数据点到直线的距离，计算最大弧边距；
22、氧化铝高度计算：对二条水平线之间的一阶导数曲线点的导数做筛选，根据筛选导数点比前两个值小同时比后两个值大的规则计算氧化铝的数值，计算得到氧化铝的高度值。
23、优选的，所述步骤s4中，合并输出数据可视化结果、模型预测结果以及数值计算结果，在分类判别模型的输出结果下，再对齐数据进行约束，得到最后的检测结果。
24、本专利技术还提供一种pss工艺产品检测系统，包括如下模块：
25、模块m1：采集pss工艺产品的.flt文件，并获取pss工艺产品的产品数据集；
26、模块m2：构建分类判别模型，通过产品数据集训练分类判断模型，使用分类判别模型判别pss工艺产品的质检结果；
27、模块m3：根据产品数据集，获得产品参数的数值计算结果；
28、模块m4：根据预先设置参数，总结数值计算结果，输出判别信息，根据输出判别信息和分类判别模型的判别结果，联合判定输出参数和质检结果。
29、优选的，所述模块m1具体包括如下模块：
30、原始文件获取模块：通过原子力显微镜对pss工艺产生的圆盘进行检测，得到.flt文件；
31、热力图获取模块：读取.flt文件中的height_sensor.flt文件，采用iso-8859-1进行encoding的方式进行解码，获取里面的二进制文件，使用其头文件参数进行数据复原，采用数据插补的方式将数据resize调整为480*240的浏览数据模式，得到热力图数据；
32、rgb图获取模块：通过读取.flt文件中的tm_amplitude.flt文件，采用iso-8859-1进行encoding的方式进行解码，获取里面的二进制文件，使用其头文件参数进行数据复原，采用数据插补的方式将数据resize调整为480*240的浏览数据模式，得到rgb图数据；
33、3d等高图获取模块：将得到的热力图数据按照像素点对应数值的关系映射到3d视野图上显示出来，得到3d等高图数据；
34、曲线数据图获取模块：将得到的热力图数据转为灰度值，并使用霍夫变换识别圆形，取圆心与圆形所在水平面内的160个像素点连接形成的水平线，将其可视化展示出本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种PSS工艺产品检测方法，其特征在于，包括如下步骤：
2.根据权利要求1所述的PSS工艺产品检测方法，其特征在于，所述步骤S1具体包括如下步骤：
3.根据权利要求1所述的PSS工艺产品检测方法，其特征在于，所述步骤S2具体包括如下步骤：
4.根据权利要求1所述的PSS工艺产品检测方法，其特征在于，所述步骤S3具体包括如下步骤：
5.根据权利要求1所述的PSS工艺产品检测方法，其特征在于，所述步骤S4中，合并输出数据可视化结果、模型预测结果以及数值计算结果，在分类判别模型的输出结果下，再对齐数据进行约束，得到最后的检测结果。
6.一种PSS工艺产品检测系统，其特征在于，包括如下模块：
7.根据权利要求6所述的PSS工艺产品检测系统，其特征在于，所述模块M1具体包括如下模块：
8.根据权利要求6所述的PSS工艺产品检测系统，其特征在于，所述模块M2具体包括如下模块：
9.根据权利要求6所述的PSS工艺产品检测系统，其特征在于，所述模块M3具体包括如下模块：
10.根据权利
...【技术特征摘要】
1.一种pss工艺产品检测方法，其特征在于，包括如下步骤：
2.根据权利要求1所述的pss工艺产品检测方法，其特征在于，所述步骤s1具体包括如下步骤：
3.根据权利要求1所述的pss工艺产品检测方法，其特征在于，所述步骤s2具体包括如下步骤：
4.根据权利要求1所述的pss工艺产品检测方法，其特征在于，所述步骤s3具体包括如下步骤：
5.根据权利要求1所述的pss工艺产品检测方法，其特征在于，所述步骤s4中，合并输出数据可视化结果、模型预测结果以及数值计算结果，在分类判别模型的输出结果下，再对齐数据进行约束，得到最后的检测结果。
...【专利技术属性】
技术研发人员：谭阳光，刘孝星，刘伟斌，
申请(专利权)人：上海互觉科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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