【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体制造，特别是涉及一种灯退火机的灯管检测结构。
技术介绍
1、近年来，可以实现快速加热和冷却的灯退火装置已经被用于在半导体晶片上形成氧化物膜或氮化物膜。amat centura快速灯退火机，因升/降温度快，均匀性好，时间短被广泛利用。但是其特性问题使用灯管加热温度高升温速率快和跑片数量多反复给灯丝加压会导致灯管老化加速损坏更换频率高。
2、当灯管灯丝损坏时，机台设备会有提示，如内圈重要zone的灯管损坏时(1-2组)会直接无法作业，外圈会显示红色当到一定数量后(3组)会产生报警无法作业。每次更换完损坏灯管后又会有别的灯管损坏，因为那些灯管灯丝虽然未断但也已经老化严重无法长久使用影响其升温速度，肉眼无法确认其老化问题，会加大设备维护保养次数以及机台稳定性，减少机台uptime。
技术实现思路
1、本专利技术主要解决的技术问题是提供一种灯退火机的灯管检测结构，能够提高实时侦测其灯管状态，工艺均匀性问题也能通过其电流排查出问题点等。
2、为解决上述技术问题，本专利技术采用的一个技术方案是：提供一种灯退火机的灯管检测结构，包括灯模块和与之电性连接的电源端，所述灯模块包括安装板和与之配合安装的端盖，所述安装板上至少安装有一组灯组，所述灯组和电源端的回路上设置有检测模块。本申请通过检测模块侦测灯组中灯管灯丝的老化程度，电流越低从而灯管表示灯管灯丝的老化严重，实现实时侦测灯组中的灯管状态，减少设备维护保养次数，提升机台运行时间。
3、还包括警
4、所述灯组外罩有灯罩，所述灯罩外端口安装有密封模块。
5、所述密封模块包括夹紧环、窗体，所述窗体通过所述夹紧环固定于所述灯罩外端口。
6、所述灯罩与所述夹紧环之间安装有密封件。
7、还包括与所述灯模块配合的工作模块，所述工作模块包括室底板，所述室底板上设置有向下凹的反射室，所述反射室形状与所述灯罩的形状相同。
8、所述安装板上安装有多个灯管，灯管以蜂窝状布置。
9、至少一圈所述灯管为一组灯组，每组灯组分别连接一所述检测模块。由于检测模块分别与每组灯组连接，可分别监测每组灯组的电流变化，不需要将全部的灯管进行更换。
10、所述检测模块包括灯管电流表。可以侦测其灯管灯丝的老化程度，电流越低从而灯管老化严重可以一起更换。实时侦测其灯管状态，工艺均匀性问题也能通过其电流排查出问题点等。
11、所述检测模块还包括灯管电流显示器，所述灯管电流显示器与所述灯管电流表电性连接。
12、本专利技术的有益效果是：本专利技术的一种灯退火机的灯管检测结构，能够实时侦测其灯管状态，工艺均匀性问题也能通过其电流排查出问题点等。
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1.一种灯退火机的灯管检测结构，其特征在于，包括灯模块和与之电性连接的电源端，所述灯模块包括安装板和与之配合安装的端盖，所述安装板上至少安装有一组灯组，所述灯组和电源端的回路上设置有检测模块。
2.根据权利要求1所述的灯退火机的灯管检测结构，其特征在于，还包括警示模块，所述检测模块将信号输送到所述警示模块。
3.根据权利要求1所述的灯退火机的灯管检测结构，其特征在于，所述灯组外罩有灯罩，所述灯罩外端口安装有密封模块。
4.根据权利要求3所述的灯退火机的灯管检测结构，其特征在于，所述密封模块包括夹紧环、窗体，所述窗体通过所述夹紧环固定于所述灯罩外端口。
5.根据权利要求4所述的灯退火机的灯管检测结构，其特征在于，所述灯罩与所述夹紧环之间安装有密封件。
6.根据权利要求3所述的灯退火机的灯管检测结构，其特征在于，还包括与所述灯模块配合的工作模块，所述工作模块包括室底板，所述室底板上设置有向下凹的反射室，所述反射室形状与所述灯罩的形状相同。
7.根据权利要求1所述的灯退火机的灯管检测结构，其特征在于，所述安装板上安
8.根据权利要求7所述的灯退火机的灯管检测结构，其特征在于，至少一圈所述灯管为一区域，区域内灯管2个为1组，每区域灯组分别连接一所述检测模块。
9.根据权利要求8所述的灯退火机的灯管检测机构，其特征在于，所述检测模块包括灯管电流表。
10.根据权利要求9所述的灯退火机的灯管检测机构，其特征在于，所述检测模块还包括灯管电流显示器，所述灯管电流显示器与所述灯管电流表电性连接。
...【技术特征摘要】
1.一种灯退火机的灯管检测结构，其特征在于，包括灯模块和与之电性连接的电源端，所述灯模块包括安装板和与之配合安装的端盖，所述安装板上至少安装有一组灯组，所述灯组和电源端的回路上设置有检测模块。
2.根据权利要求1所述的灯退火机的灯管检测结构，其特征在于，还包括警示模块，所述检测模块将信号输送到所述警示模块。
3.根据权利要求1所述的灯退火机的灯管检测结构，其特征在于，所述灯组外罩有灯罩，所述灯罩外端口安装有密封模块。
4.根据权利要求3所述的灯退火机的灯管检测结构，其特征在于，所述密封模块包括夹紧环、窗体，所述窗体通过所述夹紧环固定于所述灯罩外端口。
5.根据权利要求4所述的灯退火机的灯管检测结构，其特征在于，所述灯罩与所述夹紧环之间安装有密封件。
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【专利技术属性】
技术研发人员：张勇，
申请(专利权)人：上海新微技术研发中心有限公司，
类型：发明
国别省市：
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