【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及化学合成，更具体的说，它涉及一种钌配合物前驱体的合成方法。
技术介绍
1、高介电材料，例如tio2、ta2o5和(ba,sr)tio3等，近年来被尝试应用于下一代动态随机存取存储器(dram)。为了使这种应用成功，选择合适的底部电极材料是非常重要的。电极要求不应与氧(o)或硅(si)发生反应，还应该防止介电层和下面的多晶硅插头之间在任何方向上的扩散。此外，相容的蚀刻工艺、良好的形态稳定性和可靠的粘附性能是将此类材料应用于电子器件的必要条件。钌是其中之一有希望用于高介电电容器的电极材料，因为它可以通过形成导电氧化膜ruo2在介电材料的制造和退火过程中阻止o的扩散。此外，钌具有相对较低的电阻率，薄膜的干刻蚀很容易用反应离子刻蚀完成。
2、要构建ru或ruo2薄膜的电容电极，需要一种具有良好共形性的原子层沉积(ald)技术。与传统的物理气相沉积或化学气相沉积技术相比，ald工艺具有许多固有的优势，包括良好的共形性、准确的厚度可控性、大面积均匀性以及在低生长温度下的高薄膜质量。基于此，近年来，双(乙基环戊二烯)钌(ii)逐渐走入研发人员的视野。双(乙基环戊二烯)钌(ii)常温下是液体，能溶于烃类、四氯化碳等有机溶剂中，不仅具有较好的稳定性、较高的蒸汽压，而且表现出了相当高的反应性，是现今ald研究领域的热点。
3、目前报道的双(乙基环戊二烯)钌(ii)合成方法有：1）以三氯化钌水合物和裂解的乙基环戊二烯单体为原料，醇做溶剂，用锌粉（或镁粉）进行还原，得到采用双(乙基环戊二烯)钌，收率最高可达87%；
4、现有技术的技术问题
5、路线一：反应需要高纯度的乙基环戊二烯单体，这就要求裂解的乙基环戊二烯二聚体的纯度很高，而且裂解过程中要避免杂质环戊二烯的收集；裂解一般都需要加热到180℃以上，对设备要求较高；使用锌粉做还原剂时，其当量远远过量，绝大部分不参与反应的锌粉被浪费掉，从而导致该路线的成本大幅提高。
6、路线二：反应同样需要先使用锌粉制备二茂钌；而且反应过程中使用到了高度易燃的原料丁基锂，市售丁基锂一般都是稀释于烷烃溶剂内，使用过程中会产生大量的废液，增加了危废处置成本。
7、路线三：反应分三步进行，且每一步的中间体都要单独分离出来，导致最终的收率偏低；第三步使用钯碳进行加氢还原，需要使用高压釜等特种设备。
8、总体而言，上述记载的合成途径从经济、安全、工业化的角度来看可被归类为不令人满意的。
技术实现思路
1、（一）解决的技术问题
2、针对现有技术中存在的问题，本专利技术提供了一种钌配合物前驱体的合成方法，以解决
技术介绍
中提到的技术问题。
3、（二）技术方案
4、为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种钌配合物前驱体的合成方法，包括以下步骤：
5、步骤一：氮气气氛下向 5000 毫升多口反应瓶中加入钌含量为37%三氯化钌水合物(112.8 g, 0.41 mol)和1.6升乙醇，搅拌溶解；
6、步骤二：室温下向反应体系中滴加吡啶(163.3 g, 2.06 mol),滴加完毕，加热至回流并反应3小时，体系变成红色，慢慢恢复至室温，过滤；
7、步骤三：滤液浓缩至体积的2/3后降温至0 ℃，滴加物质的量浓度为1摩尔每升的乙酰基环戊二烯基钠(820 ml, 0.82 mol)的四氢呋喃溶液，滴加完毕，慢慢恢复至室温并继续反应10小时后，抽干溶剂，使用二氯甲烷萃取，过滤，滤液抽干，粗产物用乙醇打浆后过滤，乙醇洗涤，得到二乙酰基二茂钌中间体91.8 g,收率71%。
8、本专利技术进一步设置为，所述步骤一中氮气气氛下向 2000 毫升多口反应瓶中加入二乙酰基二茂钌(75.7 g, 0.24 mol)和200毫升四氢呋喃，降温至0 ℃，滴加物质的量浓度为2摩尔每升的硼烷二甲硫醚溶液(240 ml, 0.48 mol)。
9、本专利技术进一步设置为，在上述步骤中，滴加完毕，慢慢恢复室温并反应12小时后，降温至0 ℃，滴加250毫升甲醇淬灭反应。抽干溶剂，粗产物减压蒸馏，可得到黄色液体51.7g,收率为75%。
10、（三）有益效果
11、与现有技术相比，本专利技术提供了一种钌配合物前驱体的合成方法，具备以下有益效果：
12、本专利技术要解决的技术问题是提供一种ald前驱体钌配合物的制备方法，整个工艺操作条件便利，两步法得到目标产物；反应过程平和，能耗低，安全性高；原料来源广泛便宜，产物收率高，工艺稳定性好；避免使用危险系数高的物料和设备，有利于工业上生产放大，此外，本方案反应原料简单易得，操作方便，反应条件温和，成本低，安全系数高，收率高，适合工业化放大生产。
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1.一种钌配合物前驱体的合成方法，其特征是，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的一种钌配合物前驱体的合成方法，其特征是：所述步骤一中氮气气氛下向 2000 毫升多口反应瓶中加入二乙酰基二茂钌(75.7 g, 0.24 mol)和200毫升四氢呋喃，降温至0 ℃，滴加物质的量浓度为2摩尔每升的硼烷二甲硫醚溶液(240 mL,0.48 mol)。
3.根据权利要求2所述的一种钌配合物前驱体的合成方法，其特征是：在上述步骤中，滴加完毕，慢慢恢复室温并反应12小时后，降温至0 ℃，滴加250毫升甲醇淬灭反应。抽干溶剂，粗产物减压蒸馏，可得到黄色液体51.7 g,收率为75%。
【技术特征摘要】
1.一种钌配合物前驱体的合成方法，其特征是，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的一种钌配合物前驱体的合成方法，其特征是：所述步骤一中氮气气氛下向 2000 毫升多口反应瓶中加入二乙酰基二茂钌(75.7 g, 0.24 mol)和200毫升四氢呋喃，降温至0 ℃，滴加物质的量浓度为2摩尔...
【专利技术属性】
技术研发人员：宣宗亮，王宏波，闫文其，江双双，
申请(专利权)人：安徽亚格盛电子新材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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