【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种处理衬底的衬底处理系统。衬底列举例如半导体衬底、fpd(flatpanel display：平板显示器)用衬底、光罩用玻璃衬底、光盘用衬底、磁盘用衬底、陶瓷衬底、太阳能电池用衬底等。fpd列举例如液晶显示装置、有机el(electroluminescence：电致发光)显示装置等。
技术介绍
1、以往的衬底处理系统中，依序配置搬入搬出装置、单片处理装置、接口装置及分批处理装置(例如，参考日本：专利特开2021-064652号公报)。
2、搬入搬出装置具备载置卡匣的载置台、第1搬送装置、及暂时保管衬底的第1转移装置(first transition device)。单片处理装置具备第2搬送装置与暂时保管衬底的第2转移装置。接口装置具备搬送机器人与批次形成部。
3、第1搬送装置取出卡匣内的5片衬底，将所述5片衬底搬送到第1转移装置。另外，在卡匣的内部，将5片衬底水平地保持。之后，第2搬送装置从第1晶体管装置接收5片衬底，将5片衬底搬送到第2转移装置。之后，搬送机器人从第2转移装置接收5片衬底，将5片衬底搬送到批次形成部。批次形成部中，将5片衬底铅直地保持。
4、此外，日本：专利特开2022-057884号公报的衬底处理系统中，依序配置搬入装置、分批处理装置、接口装置、单片处理装置及搬出装置。在这些装置上配置载体搬送区域。在所述载体搬送区域配置载体搬送机构。载体搬送机构在搬入装置与搬出装置之间搬送载体。
5、此外，日本：专利特开2020-109786号公报的衬底处理装置
技术实现思路
1、[专利技术要解决的问题]
2、但是，可能会产生如下的问题。例如，日本：专利特开2021-064652号公报的衬底处理系统中，为了由分批处理装置的处理槽统一处理多片衬底，接口装置的搬送机器人将多片衬底以垂直姿势排列在批次形成部。因此，衬底必须通过单片处理装置，从搬入搬出装置搬送到接口装置。此处，可能因衬底通过单片处理装置，而使得衬底处理系统的处理能力降低。
3、本专利技术是鉴于这种状况而完成的，目的在于提供一种防止处理能力降低的衬底处理系统。
4、[解决问题的技术手段]
5、本专利技术为了达成这种目的，采取如下的构成。也就是说，本专利技术的衬底处理系统的特征在于其是处理衬底的衬底处理系统，具备：堆料机装置，具备用来搬入及搬出用来收纳多片衬底的载体的装载端口、载置所述载体的第1载体载置架、及搬送所述载体的第1搬送机器人；分批处理装置，统一处理多片衬底；单片处理装置，将所述多片衬底逐片进行处理；接口装置，具备载置所述载体的第2载体载置架、及搬送所述载体的第2搬送机器人；及载体搬送机构，在所述堆料机装置侧的堆料机装置侧位置与所述接口装置侧的接口装置侧位置之间搬送所述载体；且所述堆料机装置、所述单片处理装置、所述接口装置及所述分批处理装置依序单列且直线状配置，所述第1搬送机器人将载置在所述装载端口的收纳着处理前的衬底的所述载体搬送到所述堆料机装置侧位置，所述载体搬送机构从所述堆料机装置侧位置将收纳着处理前的衬底的所述载体搬送到所述接口装置侧位置，所述第2搬送机器人将收纳着处理前的衬底的所述载体从所述接口装置侧位置搬送到所述第2载体载置架，所述分批处理装置从搬送到所述第2载体载置架的收纳着处理前的衬底的所述载体取出所述多片衬底，对取出的所述多片衬底进行规定的分批处理，所述分批处理装置将进行所述分批处理后的所述多片衬底搬送到所述接口装置，所述第2搬送机器人将所述多片衬底被取出而变空的所述载体从所述第2载体载置架搬送到所述接口装置侧位置，所述载体搬送机构将空的所述载体从所述接口装置侧位置搬送到所述堆料机装置侧位置，所述第1搬送机器人将空的所述载体从所述堆料机装置侧位置搬送到所述第1载体载置架，所述单片处理装置对从所述接口装置接收到的所述多片衬底逐片进行规定的单片处理，将进行所述单片处理后的所述多片衬底搬送到己搬送到所述第1载体载置架的空的所述载体，所述第1搬送机器人将收容进行所述单片处理的所述多片衬底的所述载体从所述第1载体载置架搬送到所述装载端口。
6、本专利技术的衬底处理系统中，堆料机装置、单片处理装置、接口装置及分批处理装置依序单列且直线状排列。这种构成中，载体搬送机构在堆料机装置侧的堆料机装置侧位置与接口装置侧的接口装置侧位置之间搬送载体。因此，能从堆料机装置将衬底以载体单位搬送到接口装置。因此，能防止因衬底通过单片处理装置的内部引起的处理能力降低。此外，由于衬底收纳在载体内，所以在从堆料机装置将衬底搬送到接口装置时，能防止颗粒附着在衬底。
7、此外，所述衬底处理系统中，优选为所述分批处理装置具备将所述多片衬底从水平姿势转换为铅直姿势的第1姿势转换部，所述接口装置具备将进行所述分批处理后的所述多片衬底从铅直姿势转换为水平姿势的第2姿势转换部，所述分批处理装置从搬送到所述第2载体载置架的所述载体取出所述多片衬底，使用所述第1姿势转换部，将取出的所述多片衬底从水平姿势转换为铅直姿势，对转换为垂直姿势的所述多片衬底进行规定的分批处理。
8、由此，分批处理装置能对转换为垂直姿势的多片衬底进行规定的分批处理。此外，单片处理装置能将由接口装置转换为水平姿势的多片衬底逐片进行规定的单片处理。
9、此外，所述衬底处理系统中，优选为所述分批处理装置具备：移载块，与所述第2载体载置架相邻；处理块，相对于所述移载块，在与从所述堆料机装置朝向所述接口装置的第1方向上相邻；及分批衬底搬送区域，以一端延伸到所述接口装置的内部为止，且另一端在所述第1方向延伸的方式设置；且所述移载块具备：衬底处理机构，从载置在所述第2载体载置架的所述载体取出所述多片衬底，搬送取出的所述多片衬底；及铅直保持部，设置在所述衬底处理机构与所述分批衬底搬送区域之间，将从所述衬底处理机构接收到的所述多片衬底以铅直姿势保持；所述处理块具备贮存使所述多片衬底浸渍的处理液的分批处理槽，所述接口装置具备将由所述分批处理槽进行所述分批处理后的所述多片衬底从铅直姿势转换为水平姿势的姿势转换机构，所述分批处理搬送区域具备在所述分批处理槽、所述铅直保持部及所述姿势转换机构之间，与所述第1方向平行地将所述多片衬底以铅直姿势搬送的分批搬送机构。
10、分批处理装置具备与第2载体载置架相邻的移载块、及与移载块相邻的处理块。这种配置是与一般分批式衬底处理装置相同的配置。此外，一般分批式衬底处理装置中，姿势转换一般由具备衬底处理机构的移载块进行。根据本专利技术，分批衬底搬送区域的一端延伸到接口装置的内部为止，且分批衬底搬送区域的另一端在第1方向延伸。而且，分批衬底搬送区域的分批搬送机构一边超出铅直保持部(移载块)，一边将多片衬底以铅直姿势从分批处理槽(处理块)搬送到姿势转换机构(接口装置)。因此，能有效搬送多片衬底。
11、此外，所述衬底处理本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种衬底处理系统，其特征在于，其是处理衬底的衬底处理系统，且具备：
2.根据权利要求1所述的衬底处理系统，其特征在于，
3.根据权利要求1所述的衬底处理系统，其特征在于，
4.根据权利要求3所述的衬底处理系统，其特征在于，
5.根据权利要求1所述的衬底处理系统，其特征在于，
6.根据权利要求1所述的衬底处理系统，其特征在于，
7.根据权利要求1到6中任一权利要求所述的衬底处理系统，其特征在于还具备：
8.根据权利要求1到6中任一权利要求所述的衬底处理系统，其特征在于，
【技术特征摘要】
1.一种衬底处理系统，其特征在于，其是处理衬底的衬底处理系统，且具备：
2.根据权利要求1所述的衬底处理系统，其特征在于，
3.根据权利要求1所述的衬底处理系统，其特征在于，
4.根据权利要求3所述的衬底处理系统，其特征在于，
5....
【专利技术属性】
技术研发人员：岩崎旭纮，冨田毅，谷口进一，
申请(专利权)人：株式会社斯库林集团，
类型：发明
国别省市：
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