【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于半导体制造，涉及一种解决旋涂光刻胶边缘堆积的刮涂装置，旨在减少或消除光刻胶在晶圆边缘的堆积现象，提升光刻胶旋涂平整性，改善光刻工艺的精度和产品质量。
技术介绍
1、在半导体制造过程中，光刻胶的涂布是一个关键步骤。然而，在旋涂过程中，由于光刻胶的流动性和基片旋转产生的离心力，往往在基片形成光刻胶堆积。这种堆胶不仅会影响光刻图形的精度，还可能对后续工艺造成不良影响。
2、目前，通过喷涂或刮涂的制备方式能够改善光刻胶边缘堆积。然而，喷涂设备受限于喷胶的粘度，无法制备厚膜；刮涂设备受限于控制精度，在制备薄膜时存在刮涂不均匀，易损伤基片表面、单侧边缘堆胶等问题；且喷涂和刮涂设备的购买成本和运维成本较高，不利于小规模科研实验使用。
技术实现思路
1、(一)专利技术目的
2、本专利技术的目的是：提供一种解决旋涂光刻胶边缘堆积的刮涂装置，集成于旋涂机上，在旋涂过程中同步实现匀胶和边缘残胶去除的作用，具有结构简单、操作方便、灵活性高的优点。
3、(二)技术方案
4、为了解决上述技术问题，本专利技术提供一种解决旋涂光刻胶边缘堆积的刮涂装置，其包括：支撑部件、调整部件和刮刀，支撑部件用于将刮涂装置固定于旋涂机上，起到固定和支撑刮刀的作用，确保其稳定工作；调整部件连接支撑部件和刮刀，调整部件调整刮刀与晶圆之间的相对位置，以适应不同种类的光刻胶及不同尺寸的晶圆产生的厚度差异；刮刀用于直接接触晶圆表面光刻胶，在旋涂机运行过程中，刮除边缘多余的光刻胶
5、其中，所述支撑部件的底部设置有一对固定螺丝和一个底座，通过固定螺丝将底座固定在旋涂机托盘上，所述底座上设置有圆形插口，所述支撑部件的顶部设置有用于连接所述底座圆形插口的支撑杆，支撑杆用于连接调整部件。
6、其中，所述调整部件底部设置有用于x方向调整的x方向调整部件，所述x方向调整部件上设置有用于x方向调整的x方向调整把手，所述x方向调整部件上设置有用于y方向调整的y方向调整部件；所述y方向调整部件上设置有用于y方向调整的y方向调整把手，所述y方向调整部件上设置有用于z方向调整的z方向调整部件；所述z方向调整部件上设置有用于z方向调整的z方向调整粗调旋钮和z方向细调旋钮，所述z方向调整部件上设置有用于显示z方向移动距离的数显屏幕；x方向和y方向为水平面上相垂直的两个方向，z方向为垂直水平面的竖直方向。
7、其中，所述支撑部件有两组，分别设置在x方向调整部件的两端。
8、其中，所述x方向调整部件底部设置有用于连接所述支撑杆的圆形插口。
9、其中，刮涂装置还包括：数显屏幕，显示刮刀在z方向的位移量。
10、其中，所述刮刀的顶部设置有一字型刀身，所述刮刀的底部设置有一对中心对称的分体式叶片。
11、其中，所述z方向调整部件底部与所述刮刀的刀身相连。
12、其中，所述一对分体式叶片与所述一字型刀身呈固定夹角15°～60°。
13、其中，所述刮刀采用的材料为聚四氟乙烯。
14、(三)有益效果
15、上述技术方案所提供的解决旋涂光刻胶边缘堆积的刮涂装置，能够有效解决旋涂光刻胶导致的边缘堆胶问题，提高光刻工艺的精度和产品质量；易于集成、结构简单且操作方便，降低了次品率和生产成本。
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1.一种解决旋涂光刻胶边缘堆积的刮涂装置，其特征在于，包括：支撑部件、调整部件和刮刀，支撑部件用于将刮涂装置固定于旋涂机上，起到固定和支撑刮刀的作用，确保其稳定工作；调整部件连接支撑部件和刮刀，调整部件调整刮刀与晶圆之间的相对位置，以适应不同种类的光刻胶及不同尺寸的晶圆产生的厚度差异；刮刀用于直接接触晶圆表面光刻胶，在旋涂机运行过程中，刮除边缘多余的光刻胶，通过更换刮刀，以适应不同形状和尺寸的晶圆。
2.如权利要求1所述的刮涂装置，其特征在于，所述支撑部件的底部设置有一对固定螺丝和一个底座，通过固定螺丝将底座固定在旋涂机托盘上，所述底座上设置有圆形插口，所述支撑部件的顶部设置有用于连接所述底座圆形插口的支撑杆，支撑杆用于连接调整部件。
3.根据权利要求2所述的刮涂装置，其特征在于，所述调整部件底部设置有用于X方向调整的X方向调整部件，所述X方向调整部件上设置有用于X方向调整的X方向调整把手，所述X方向调整部件上设置有用于Y方向调整的Y方向调整部件；所述Y方向调整部件上设置有用于Y方向调整的Y方向调整把手，所述Y方向调整部件上设置有用于Z方向调整的Z方向调整
4.根据权利要求3所述的刮涂装置，其特征在于，所述支撑部件有两组，分别设置在X方向调整部件的两端。
5.根据权利要求4所述的刮涂装置，其特征在于，所述X方向调整部件底部设置有用于连接所述支撑杆的圆形插口。
6.根据权利要求5所述的刮涂装置，其特征在于，还包括：数显屏幕，显示刮刀在Z方向的位移量。
7.根据权利要求6所述的刮涂装置，其特征在于，所述刮刀的顶部设置有一字型刀身，所述刮刀的底部设置有一对中心对称的分体式叶片。
8.根据权利要求7所述的刮涂装置，其特征在于，所述Z方向调整部件底部与所述刮刀的刀身相连。
9.根据权利要求8所述的刮涂装置，其特征在于，所述一对分体式叶片与所述一字型刀身呈固定夹角15°～60°。
10.根据权利要求1-9中任一项所述的刮涂装置，其特征在于，所述刮刀采用的材料为聚四氟乙烯。
...【技术特征摘要】
1.一种解决旋涂光刻胶边缘堆积的刮涂装置，其特征在于，包括：支撑部件、调整部件和刮刀，支撑部件用于将刮涂装置固定于旋涂机上，起到固定和支撑刮刀的作用，确保其稳定工作；调整部件连接支撑部件和刮刀，调整部件调整刮刀与晶圆之间的相对位置，以适应不同种类的光刻胶及不同尺寸的晶圆产生的厚度差异；刮刀用于直接接触晶圆表面光刻胶，在旋涂机运行过程中，刮除边缘多余的光刻胶，通过更换刮刀，以适应不同形状和尺寸的晶圆。
2.如权利要求1所述的刮涂装置，其特征在于，所述支撑部件的底部设置有一对固定螺丝和一个底座，通过固定螺丝将底座固定在旋涂机托盘上，所述底座上设置有圆形插口，所述支撑部件的顶部设置有用于连接所述底座圆形插口的支撑杆，支撑杆用于连接调整部件。
3.根据权利要求2所述的刮涂装置，其特征在于，所述调整部件底部设置有用于x方向调整的x方向调整部件，所述x方向调整部件上设置有用于x方向调整的x方向调整把手，所述x方向调整部件上设置有用于y方向调整的y方向调整部件；所述y方向调整部件上设置有用于y方向调整的y方向调整把手，所述y方向调整部件上设置有用于z方向调整的z方向调整部件；所述z...
【专利技术属性】
技术研发人员：姜浩天，周殿力，王国胜，田洪军，卢彦岭，王垚，尤益民，王鸥，
申请(专利权)人：西南技术物理研究所，
类型：发明
国别省市：
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