【技术实现步骤摘要】
本技术涉及抛光液过滤装置,具体为一种单晶硅抛光液回收用过滤设备。
技术介绍
1、单晶硅抛光液在抛光使用后通过过滤将抛光液中的杂质过滤则可再次回收利用,从而实现资源的有效的节约,而抛光液的过滤处理则需要使用过滤装置。
2、公告号为cn213885318u的中国专利,其公开了一种单晶硅片抛光液回收过滤装置,涉及单晶硅片相关领域,为解决目前抛光液直接通过滤网进行过滤时,部分大粒径杂质会逐渐堵塞滤网的滤孔,过滤速度减慢,回收过滤效率逐渐降低的问题。所述防护壳体内壁的内部设置有抛光液静置腔,抛光液静置腔设置为u形,所述防护壳体一侧的上端安装有抛光液进管,抛光液进管的一端延伸至抛光液静置腔的内部,所述防护壳体另一侧的上端安装有清液输入管,清液输入管的一端延伸至抛光液静置腔的内部,清液输入管的安装高度低于抛光液进管的安装高度,所述防护壳体下端的两侧分别安装有第一排渣管和第二排渣管,第一排渣管和第二排渣管对称设置。
3、上述的单晶硅片抛光液回收过滤装置在对抛光液进行杂质静置沉淀处理时通过第一排渣管和第二排渣管将沉在底部的杂质排出,但是这种排渣方式也会伴随较多的抛光液被排出从而造成抛光液的浪费。
技术实现思路
1、为了解决上述的单晶硅片抛光液回收过滤装置在将沉淀的杂质排出时会伴随较多的抛光液被排出从而造成抛光液的浪费的问题,本申请提供了一种单晶硅抛光液回收用过滤设备,采用如下的技术方案:
2、一种单晶硅抛光液回收用过滤设备,包括罐体,罐体的固定有收集斗,且收集斗的
3、可选的,罐体的外侧固定有环形的连接板,且罐体位于收集斗的下端口处固定有连接套。
4、可选的,过滤网筒的内侧中心固定有与升降管固定连接的集液管,且集液管的外侧表面开设有多个均匀排布的进液孔。
5、可选的,罩盖的外侧靠近下端位置固定有环形的锁边,且锁边通过螺丝与连接板固定连接,罩盖的中心固定有对升降管进行活动密封的密封套。
6、可选的,升降机构包括电动伸缩杆,电动伸缩杆的下端固定有与升降管固定连接的升降板,且电动伸缩杆的顶杆穿过升降板固定有固定板,固定板通过螺丝固定在罩盖上。
7、可选的,罐体的内侧靠近上端固定有环形的分散管,且分散管与进液管连接,分散管的下侧面开设有多个均匀排列的出液孔。
8、与现有技术相比,本技术的有益效果是:
9、本技术中通过收集斗对抛光液中沉淀的杂质集中起来并收集在收集筒内,在收集筒收集满之后通过升降机构驱动过滤网筒使得橡胶封盖对收集斗的下端口进行封堵,则可将收集筒内的杂质沉淀清理处理,同时也避免了抛光液流出造成浪费的情况。
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1.一种单晶硅抛光液回收用过滤设备,包括罐体(1),其特征在于:所述罐体(1)的固定有收集斗(120),且收集斗(120)的下端口处可拆卸安装有透明的收集筒(10),所述罐体(1)的上端口处安装有罩盖(3),且罩盖(3)的下表面中心固定有向下开口的导流筒(2),所述罩盖(3)的中心竖直穿插有可进行升降调节的升降管(7),且升降管(7)的下端固定有过滤网筒(8),所述升降管(7)的上端连接有排液软管(6),所述过滤网筒(8)的下端口处固定有橡胶封盖(81),所述罩盖(3)的上表面靠近左侧固定有进液管(4),且罩盖(3)的上表面固定有驱动升降管(7)升降调节的升降机构(5)。
2.根据权利要求1所述的一种单晶硅抛光液回收用过滤设备,其特征在于,所述罐体(1)的外侧固定有环形的连接板(110),且罐体(1)位于收集斗(120)的下端口处固定有连接套(130)。
3.根据权利要求1所述的一种单晶硅抛光液回收用过滤设备,其特征在于,所述过滤网筒(8)的内侧中心固定有与升降管(7)固定连接的集液管(82),且集液管(82)的外侧表面开设有多个均匀排布的进液孔(83)。
4.根据权利要求2所述的一种单晶硅抛光液回收用过滤设备,其特征在于,所述罩盖(3)的外侧靠近下端位置固定有环形的锁边(31),且锁边(31)通过螺丝与连接板(110)固定连接,所述罩盖(3)的中心固定有对升降管(7)进行活动密封的密封套(32)。
5.根据权利要求1所述的一种单晶硅抛光液回收用过滤设备,其特征在于,所述升降机构(5)包括电动伸缩杆(51),所述电动伸缩杆(51)的下端固定有与升降管(7)固定连接的升降板(53),且电动伸缩杆(51)的顶杆穿过升降板(53)固定有固定板(52),所述固定板(52)通过螺丝固定在罩盖(3)上。
6.根据权利要求1所述的一种单晶硅抛光液回收用过滤设备,其特征在于,所述罐体(1)的内侧靠近上端固定有环形的分散管(9),且分散管(9)与进液管(4)连接,所述分散管(9)的下侧面开设有多个均匀排列的出液孔。
...【技术特征摘要】
1.一种单晶硅抛光液回收用过滤设备,包括罐体(1),其特征在于:所述罐体(1)的固定有收集斗(120),且收集斗(120)的下端口处可拆卸安装有透明的收集筒(10),所述罐体(1)的上端口处安装有罩盖(3),且罩盖(3)的下表面中心固定有向下开口的导流筒(2),所述罩盖(3)的中心竖直穿插有可进行升降调节的升降管(7),且升降管(7)的下端固定有过滤网筒(8),所述升降管(7)的上端连接有排液软管(6),所述过滤网筒(8)的下端口处固定有橡胶封盖(81),所述罩盖(3)的上表面靠近左侧固定有进液管(4),且罩盖(3)的上表面固定有驱动升降管(7)升降调节的升降机构(5)。
2.根据权利要求1所述的一种单晶硅抛光液回收用过滤设备,其特征在于,所述罐体(1)的外侧固定有环形的连接板(110),且罐体(1)位于收集斗(120)的下端口处固定有连接套(130)。
3.根据权利要求1所述的一种单晶硅抛光液回收用过滤设备,其特征在于,所述过滤网筒(8)的内侧中心固定有与...
【专利技术属性】
技术研发人员:李云涛,段启伟,
申请(专利权)人:安徽捷泽新材料科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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