热场结构和单晶炉制造技术

技术编号:43867405 阅读:5 留言:0更新日期:2024-12-31 18:53
本技术适用于单晶炉技术领域,提供了一种热场结构和单晶炉,在热场热场结构中,通过在炉底盘上安装定位件,定位件通过第一定位结构和第二定位结构与炉底盘保持相对固定,炉底保温件至少部分安装在定位件的安装腔内且与安装腔的内壁面相配合,炉底保温件与炉底盘之间的同心度可依靠定位件来进行装配定位,不需要依靠人员测量来把控,耗费时间较短,对中精度也较高。同时,通过定位件上的第二定位结构与炉底盘上的第一定位结构来对整个热场结构进行装配定位,每一次安装完成后,整个热场相对炉底盘的位置均基本相同,安装一致性好,使得温度场分布变化值变小,热场温度梯度变化变小,从而降低拉晶过程中放肩和等径断线的概率,提升单晶产量。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及单晶炉,尤其涉及一种热场结构和单晶炉


技术介绍

1、目前,在单晶炉中,单晶炉热场的装配简单依靠炉底盘作为参照物来进行安装,炉底盘与设置在其上方的热场部件之间的同心度依靠安装人员测量来把控,耗费时间长,对中精度较差。在安装时,其均以炉底盘为参照物来安装热场部件,随着热场部件一件一件的装配,热场整体与炉底盘的同心度会变差,每一次安装完成后,热场相对炉底盘的位置均不相同。这样,每一次热场安装位置的一致性较差,导致温度场分布变化大,热场温度梯度变化大,温场分布变化程度容易超过工艺容忍度,会导致拉晶过程中放肩和等径断线的概率提升,硅单晶产量降低。


技术实现思路

1、本技术提供一种热场结构和单晶炉,旨在解决现有技术单晶炉的热场结构对中精度较差,每一次热场安装位置的一致性较差,容易导致拉晶过程中放肩和等径断线的概率提升,硅单晶产量降低的技术问题。

2、本技术是这样实现的,本技术实施例的热场结构包括:

3、所述热场结构包括:

4、炉底盘,所述炉底盘上形成有第一定位结构;

5、设置在所述炉底盘上的定位件,所述定位件上形成有第二定位结构,所述第二定位结构与所述第一定位结构相配合,以使所述定位件和所述炉底盘的位置相对固定,所述定位件背离所述炉底盘的一侧形成有安装腔;和

6、炉底保温件,所述炉底保温件安装在所述定位件上且至少部分位于所述安装腔内,所述炉底保温件的外周面与所述安装腔的内壁面相配合。

7、更进一步地,所述第一定位结构和所述第二定位结构的其中一个为凹槽,另外一个为凸起,所述凹槽和所述凸起相配合。

8、更进一步地,所述炉底盘、所述定位件和所述炉底保温件的中心位置均形成有同心设置的中心孔;

9、所述第一定位结构包括形成在所述炉底盘上与所述中心孔同心设置的环形凸起,所述第二定位结构包括形成在所述定位件上与所述中心孔同心设置的环形凹槽,所述环形凸起嵌入至所述环形凹槽内与所述环形凹槽配合;或者

10、所述第一定位结构包括形成在所述炉底盘上与所述中心孔同心设置的环形凹槽,所述第二定位结构包括形成在所述定位件上与所述中心孔同心设置的环形凸起,所述环形凸起嵌入至所述环形凹槽内与所述环形凹槽配合。

11、更进一步地,所述定位件包括底板和凸设在所述底板背离所述炉底盘一侧上的环形凸沿,所述环形凸沿与所述底板共同围成所述安装腔,所述炉底保温件的外周面与所述环形凸沿的内壁相配合。

12、更进一步地,所述热场结构还包括多孔散热件,所述多孔散热件安装在所述安装腔内且位于所述炉底保温件的底部,所述多孔散热件上形成有若干散热孔。

13、更进一步地,所述多孔散热件为碳碳复合材质。

14、更进一步地,所述定位件为碳碳复合材质;和/或

15、所述炉底保温件包括保温固毡。

16、更进一步地,所述炉底保温件的外周面与所述安装腔的内壁面过盈配合。

17、更进一步地,所述炉底盘、所述定位件和所述炉底保温件上均形成有同心设置的排气孔以及同心设置的电极安装孔。

18、本技术还提供一种单晶炉,所述单晶炉包括上述任一项所述的热场结构。

19、在本技术实施例中的热场结构和单晶炉中,热场结构包括炉底盘、定位件和炉底保温件,炉底盘上形成有第一定位结构,定位件上形成有第二定位结构和安装腔,第二定位结构与第一定位结构相配合以使定位件和炉底盘的位置相对固定,炉底保温件安装在所述安装腔且所述炉底保温件的外周面与所述安装腔的内壁面相配合,从而固定炉底保温件和定位件的相对位置。如此,通过在炉底盘上安装定位件,定位件通过第一定位结构和第二定位结构与炉底盘保持相对固定,炉底保温件至少部分安装在定位件的安装腔内且与安装腔的内壁面相配合,炉底保温件与炉底盘之间的同心度可依靠定位件来进行装配定位,不需要依靠人员测量来把控,耗费时间较短,对中精度也较高。同时,通过定位件上的第二定位结构与炉底盘上的第一定位结构来对整个热场结构进行装配定位,每一次安装完成后,整个热场相对炉底盘的位置均基本相同,安装一致性好,使得温度场分布变化值变小,热场温度梯度变化变小,从而降低拉晶过程中放肩和等径断线的概率,提升单晶产量。

20、本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出,部分将从下面的描述中变得明显,或通过本技术的实践了解到。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种热场结构,用于单晶炉,其特征在于,所述热场结构包括:

2.根据权利要求1所述的热场结构,其特征在于,所述第一定位结构和所述第二定位结构的其中一个为凹槽,另外一个为凸起,所述凹槽和所述凸起相配合。

3.根据权利要求1所述的热场结构,其特征在于,所述炉底盘、所述定位件和所述炉底保温件的中心位置均形成有同心设置的中心孔;

4.根据权利要求1所述的热场结构,其特征在于,所述定位件包括底板和凸设在所述底板背离所述炉底盘一侧上的环形凸沿,所述环形凸沿与所述底板共同围成所述安装腔,所述炉底保温件的外周面与所述环形凸沿的内壁相配合。

5.根据权利要求1所述的热场结构,其特征在于,所述热场结构还包括多孔散热件,所述多孔散热件安装在所述安装腔内且位于所述炉底保温件的底部,所述多孔散热件上形成有若干散热孔。

6.根据权利要求5所述的热场结构,其特征在于,所述多孔散热件为碳碳复合材质。

7.根据权利要求1所述的热场结构,其特征在于,所述定位件为碳碳复合材质;和/或

8.根据权利要求1所述的热场结构,其特征在于,所述炉底保温件的外周面与所述安装腔的内壁面过盈配合。

9.根据权利要求1所述的热场结构,其特征在于,所述炉底盘、所述定位件和所述炉底保温件上均形成有同心设置的排气孔以及同心设置的电极安装孔。

10.一种单晶炉,其特征在于,包括权利要求1-9中任意一项所述的热场结构。

...

【技术特征摘要】

1.一种热场结构,用于单晶炉,其特征在于,所述热场结构包括:

2.根据权利要求1所述的热场结构,其特征在于,所述第一定位结构和所述第二定位结构的其中一个为凹槽,另外一个为凸起,所述凹槽和所述凸起相配合。

3.根据权利要求1所述的热场结构,其特征在于,所述炉底盘、所述定位件和所述炉底保温件的中心位置均形成有同心设置的中心孔;

4.根据权利要求1所述的热场结构,其特征在于,所述定位件包括底板和凸设在所述底板背离所述炉底盘一侧上的环形凸沿,所述环形凸沿与所述底板共同围成所述安装腔,所述炉底保温件的外周面与所述环形凸沿的内壁相配合。

5.根据权利要求1所述的热场结构,其特征在于,所述热场结构还包...

【专利技术属性】
技术研发人员:林永圳陈辉潘军明张骏凯王永谦陈刚
申请(专利权)人:浙江爱旭太阳能科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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