一种清洗用装置制造方法及图纸

本技术公开了一种清洗用装置，包括箱本体和泵组件，所述箱本体包括相独立的第一腔室和第二腔室，所述泵组件容置于第二腔室内，形成所述第一腔室的箱本体包括可打开或关闭第一腔室的门板，所述第一腔室(11)中形成有清洗槽，所述泵组件用于向清洗槽内泵入清水，所述清洗槽内的污水可经过滤后排出，所述清洗槽上方的箱本体内顶面设有若干排风口，所述排风口可与风机进风口连通，以在箱本体内形成负压。本技术结构合理、操作方便且可避免灰尘杂质向外扩散。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体生产，具体为一种清洗用装置。

技术介绍

1、半导体生产中，不仅对加工设备的洁净度有极高的要求，而且对加工空间环境也有极高的洁净度要求，此外加工设备包括复杂管路，即使是沉积在管路中的灰尘杂志等也需要及时清理，现有技术中，采用机械化清洗往往成本高灵活性差，不能适配繁杂的零部件，人工直接清洗易造成灰尘杂质向空气中扩散，造成二次污染。

技术实现思路

1、本技术公开了一种清洗装置，它解决了现有技术中管件等零部件清洗易造成灰尘杂志等向外扩散的技术问题，具有结构合理、操作方便且可避免灰尘杂质向外扩散的技术效果。所采用的技术方案如下：

2、一种清洗用装置，包括箱本体和泵组件，所述箱本体包括相独立的第一腔室和第二腔室，所述泵组件容置于第二腔室内，形成所述第一腔室的箱本体包括可打开或关闭第一腔室的门板，所述第一腔室(11)中形成有清洗槽，所述泵组件用于向清洗槽内泵入清水，所述清洗槽内的污水可经过滤后排出，所述清洗槽上方的箱本体内顶面设有若干排风口，所述排风口可与风机进风口连通，以在箱本体内形成负压

3、在上述技术方案的基础之上，所述第一腔室内还固设有孔板，所述孔板设于清洗槽上方且覆盖排风口，所述孔板自门板向箱本体背板具有向下倾斜的角度，以使孔板朝向门板，避免杂质外漏。

4、在上述技术方案的基础之上，所述排风口有多个且均设有气阀，所述气阀用于调节排风口的排气量。

5、在上述技术方案的基础之上，所述泵组件包括若干出水管，若干出水管分为多组，且多组所述出水管在清洗槽处间隔布置，以方便多人同时操作。

6、在上述技术方案的基础之上，所述清洗槽的槽底部分地凹陷形成沉槽，所述沉槽的底面设有排水口，所述沉槽的槽口覆盖有滤板。

7、在上述技术方案的基础之上，至少一所述出水管包括弹簧水管，所述弹簧水管的末端连接有喷枪，用于冲洗物件。

8、在上述技术方案的基础之上，所述第一腔室内设有照明单元，用于照明清洗槽处的操作区域。

9、在上述技术方案的基础之上，所述清洗槽和沉积箱采用pvc材质一体成型。

10、有益效果

11、本技术结构合理，清洗槽设于箱本体内，且在工作时箱本体内可形成负压环境，如此可避免清洗过程中悬浮在空气中灰尘或杂质颗粒向外扩散，造成二次污染；其中孔板的设置可使气流均匀地向上流动，使箱本体内形成均匀负压，此外孔板倾斜设置且朝向门板处，如此可在门板打开的瞬间及时吸附灰尘或杂质颗粒。

12、本技术中排风口处还设有气阀，如此可根据使用情况适应性地调整排风口处的排气量，有利于节约能源。此外，清洗槽处设有多个出水管组，如此可方便多人同时进行清洗操作。

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【技术保护点】

1.一种清洗用装置，其特征在于，包括箱本体(1)和泵组件(2)，所述箱本体(1)包括相独立的第一腔室(11)和第二腔室(12)，所述泵组件(2)容置于第二腔室(12)内，形成所述第一腔室(11)的箱本体(1)包括可打开或关闭第一腔室(11)的门板(10)，所述第一腔室(11)中形成有清洗槽(3)，所述泵组件(2)用于向清洗槽(3)内泵入清水，所述清洗槽(3)内的污水可经过滤后排出，所述清洗槽(3)上方的箱本体(1)内顶面设有若干排风口(4)，所述排风口(4)可与风机进风口连通，以在箱本体(1)内形成负压。

2.根据权利要求1所述的清洗用装置，其特征在于，所述第一腔室(11)内还固设有孔板(5)，所述孔板(5)设于清洗槽(3)上方且覆盖排风口(4)，所述孔板(5)自门板(10)向箱本体(1)背板具有向下倾斜的角度，以使孔板(5)朝向门板(10)，避免杂质外漏。

3.根据权利要求2所述的清洗用装置，其特征在于，所述排风口(4)有多个且均设有气阀，所述气阀用于调节排风口(4)的排气量。

4.根据权利要求1～3中任一所述的清洗用装置，其特征在于，所述泵组件(2)包括若干出水管，若干出水管分为多组，且多组所述出水管在清洗槽(3)处间隔布置，以方便多人同时操作。

5.根据权利要求4所述的清洗用装置，其特征在于，所述清洗槽(3)的槽底部分地凹陷形成沉槽(6)，所述沉槽(6)的底面设有排水口，所述沉槽(6)的槽口覆盖有滤板(7)。

6.根据权利要求5所述的清洗用装置，其特征在于，至少一所述出水管包括弹簧水管(8)，所述弹簧水管(8)的末端连接有喷枪，用于冲洗物件。

7.根据权利要求5或6所述的清洗用装置，其特征在于，所述第一腔室(11)内设有照明单元，用于照明清洗槽(3)处的操作区域。

8.根据权利要求7所述的清洗用装置，其特征在于，所述清洗槽(3)采用PVC材质一体成型，所述箱本体(1)采用钣金折弯成型。

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【技术特征摘要】

1.一种清洗用装置，其特征在于，包括箱本体(1)和泵组件(2)，所述箱本体(1)包括相独立的第一腔室(11)和第二腔室(12)，所述泵组件(2)容置于第二腔室(12)内，形成所述第一腔室(11)的箱本体(1)包括可打开或关闭第一腔室(11)的门板(10)，所述第一腔室(11)中形成有清洗槽(3)，所述泵组件(2)用于向清洗槽(3)内泵入清水，所述清洗槽(3)内的污水可经过滤后排出，所述清洗槽(3)上方的箱本体(1)内顶面设有若干排风口(4)，所述排风口(4)可与风机进风口连通，以在箱本体(1)内形成负压。

2.根据权利要求1所述的清洗用装置，其特征在于，所述第一腔室(11)内还固设有孔板(5)，所述孔板(5)设于清洗槽(3)上方且覆盖排风口(4)，所述孔板(5)自门板(10)向箱本体(1)背板具有向下倾斜的角度，以使孔板(5)朝向门板(10)，避免杂质外漏。

3.根据权利要求2所述的清洗用装置，其特征在于，所述排风口...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔汉博，杜全成，
申请(专利权)人：上海高笙集成电路设备有限公司，
类型：新型
国别省市：