【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及晶圆检测设备，具体涉及一种双层晶圆目检倾斜台及其控制方法。
技术介绍
1、半导体硅片是现代超大规模集成电路的主要衬底材料，一般通过拉晶、切片、倒角、磨片、腐蚀、抛光、清洗、检查、包装等工艺过程制造而成的集成电路级半导体硅片。
2、当加工后的晶圆进行目检时，从待检包装盒取晶圆进行目检，良品放置良品包装盒，其从左至右的检查方式中，操作人员的手会在晶圆及包装盒上方移动，从而导致颗粒落入包装盒内，产生异常。
技术实现思路
1、本专利技术主要解决现有技术中存在左右取放导致检查过程中会产生颗粒污染到包装盒内部以及硅片表面的不足，提供了一种双层晶圆目检倾斜台及其控制方法，其具有结构紧凑、操作便捷和运行稳定性好的优点。解决颗粒异常提高晶圆的品质，同时提升人工检查工作效率，工作的便利性。
2、本专利技术的上述技术问题主要是通过下述技术方案得以解决的：
3、一种双层晶圆目检倾斜台，包括操作台，所述的操作台上设有目检倾斜台，所述的目检倾斜台上部设有良品包装盒，所述的目检倾斜台下部设有待检包装盒，所述的目检倾斜台一侧设有磁吸笔，所述的磁吸笔与操作台间设有与磁吸笔相滑动式插接的笔架筒。所述的目检倾斜台包括主板，所述的主板后端设有与主板呈“人”字形结构的斜撑板，所述的主板前端上部设有上检板，所述的主板前端下部设有下检板。主板与斜撑板之间形成50度夹角，主板与操作台间、斜撑板与操作台间形成65度夹角。
4、作为优选，所述的下检板、斜撑板侧边均设有侧挡
5、作为优选，所述的目检倾斜台另一侧设有目检托架，所述的目检托架与目检倾斜台间设有转轴，所述的转轴与目检托架间设有旋转杆。
6、作为优选，所述的目检托架包括固定套管，所述的固定套管上端设有顶帽，所述的固定套管与顶帽间设有与固定套管相套接固定的弹簧，所述的弹簧上端设有若干呈环形分布且延伸出固定套管的橡胶支撑杆。
7、作为优选，所述的操作台上端设有真空气管，所述的真空气管前端设有若干与真空气管相螺纹式套接固定的快接阀插头，所述的快接阀插头与磁吸笔间设有波纹管。
8、作为优选，所述的待检包装盒与目检倾斜台间、良品包装盒与目检倾斜台间均设有防滑垫。
9、一种双层晶圆目检倾斜台的控制方法，包括如下操作步骤：
10、第一步：装满晶圆的待检包装盒放置到下检板上。
11、第二步：将目检托架通过旋转杆绕转轴运行至待检包装盒前。
12、第三步：采用磁吸笔提取待检包装盒内的晶圆，放置到目检托架进行目检。
13、第四步：目检合格的晶圆放置到上检板处的良品包装盒内。
14、作为优选，磁吸笔通过磁性吸附的同时，通过真空气管和波纹管实现真空吸附，和进气脱离的过程。
15、本专利技术能够达到如下效果：
16、本专利技术提供了一种双层晶圆目检倾斜台及其控制方法，与现有技术相比较，具有结构紧凑、操作便捷和运行稳定性好的优点。解决颗粒异常提高晶圆的品质，同时提升人工检查工作效率，工作的便利性。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种双层晶圆目检倾斜台，其特征在于：包括操作台（1），所述的操作台（1）上设有目检倾斜台（5），所述的目检倾斜台（5）上部设有良品包装盒（4），所述的目检倾斜台（5）下部设有待检包装盒（7），所述的目检倾斜台（5）一侧设有磁吸笔（8），所述的磁吸笔（8）与操作台（1）间设有与磁吸笔（8）相滑动式插接的笔架筒（9）；所述的目检倾斜台（5）包括主板（14），所述的主板（14）后端设有与主板（14）呈“人”字形结构的斜撑板（18），所述的主板（14）前端上部设有上检板（15），所述的主板（14）前端下部设有下检板（17）。
2.根据权利要求1所述的双层晶圆目检倾斜台，其特征在于：所述的下检板（17）、斜撑板（18）侧边均设有侧挡条（16）。
3.根据权利要求1所述的双层晶圆目检倾斜台，其特征在于：所述的目检倾斜台（5）另一侧设有目检托架（13），所述的目检托架（13）与目检倾斜台（5）间设有转轴（11），所述的转轴（11）与目检托架（13）间设有旋转杆（12）。
4.根据权利要求3所述的双层晶圆目检倾斜台，其特征在于：所述的目检托架（13）包括固
5.根据权利要求1或4所述的双层晶圆目检倾斜台，其特征在于：所述的操作台（1）上端设有真空气管（2），所述的真空气管（2）前端设有若干与真空气管（2）相螺纹式套接固定的快接阀插头（3），所述的快接阀插头（3）与磁吸笔（8）间设有波纹管（6）。
6.根据权利要求1所述的双层晶圆目检倾斜台，其特征在于：所述的待检包装盒（7）与目检倾斜台（5）间、良品包装盒（4）与目检倾斜台（5）间均设有防滑垫（10）。
7.一种根据权利要求5所述的双层晶圆目检倾斜台的控制方法，其特征在于包括如下操作步骤：
8.根据权利要求7所述的双层晶圆目检倾斜台的控制方法，其特征在于：磁吸笔（8）通过磁性吸附的同时，通过真空气管（2）和波纹管（6）实现真空吸附，和进气脱离的过程。
...【技术特征摘要】
1.一种双层晶圆目检倾斜台，其特征在于：包括操作台（1），所述的操作台（1）上设有目检倾斜台（5），所述的目检倾斜台（5）上部设有良品包装盒（4），所述的目检倾斜台（5）下部设有待检包装盒（7），所述的目检倾斜台（5）一侧设有磁吸笔（8），所述的磁吸笔（8）与操作台（1）间设有与磁吸笔（8）相滑动式插接的笔架筒（9）；所述的目检倾斜台（5）包括主板（14），所述的主板（14）后端设有与主板（14）呈“人”字形结构的斜撑板（18），所述的主板（14）前端上部设有上检板（15），所述的主板（14）前端下部设有下检板（17）。
2.根据权利要求1所述的双层晶圆目检倾斜台，其特征在于：所述的下检板（17）、斜撑板（18）侧边均设有侧挡条（16）。
3.根据权利要求1所述的双层晶圆目检倾斜台，其特征在于：所述的目检倾斜台（5）另一侧设有目检托架（13），所述的目检托架（13）与目检倾斜台（5）间设有转轴（11），所述的转轴（11）与目检托架（13）间设有旋转杆（12）。
4.根据权利要求3所述的双层晶圆目检倾斜台，其特征在于：...
【专利技术属性】
技术研发人员：包亚平，
申请(专利权)人：杭州中欣晶圆半导体股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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