【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及曝光设备，尤其是涉及一种高效单机双面曝光设备。
技术介绍
1、双面曝光自动线常采用两台曝光机外加移栽机、翻板机、粘尘机和上下料等设备配合，一台曝光机曝光正面，另外一台曝光机曝光反面，以此完成双面曝光。相关技术中，为了实现在单台面曝光机上实现快速双面曝光，常在单台面曝光机上或附近增加额外的移栽机和翻板机等设备，然而额外的移栽机和翻板机等设备增加了双面曝光的成本。
技术实现思路
1、本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本专利技术的一个目的在于提出一种高效单机双面曝光设备，有利于降低曝光设备的成本，同时减小了曝光的组线，提升曝光设备的产能，还减小了曝光设备的占地面积。
2、根据本专利技术实施例的高效单机双面曝光设备，包括：基座；曝光组件，所述曝光组件设在所述基座的上方；基板载台，所述基板载台设在所述基座和所述曝光组件之间，用于吸附待曝光件，所述基板载台沿所述基座的长度方向可移动；两个翻板组件，两个所述翻板组件均设在所述基板载台和所述曝光组件之间，每个所述翻板组件包括吸盘件和连接杆，所述吸盘件与所述连接杆转动连接，所述连接杆沿所述基座的宽度方向可移动；其中，两个所述翻板组件的两个所述吸盘件的转动方向相反。
3、根据本专利技术实施例的高效单机双面曝光设备，通过两个翻板组件的配合，实现了待曝光件的高效单机双面曝光，不需要额外的移栽机、翻板机等设备，有利于降低曝光设备的成本，同时减小了曝光的组线，提升曝光设备的产能，还减小了曝光设备的占
4、根据本专利技术的一些实施例，所述待曝光件在所述基座的厚度方向上的两侧表面分别为正面和背面，两个所述吸盘件分别为第一吸盘件和第二吸盘件；在正面曝光过程中，所述基板载台吸附所述背面，并运动至所述曝光组件的下方进行正面曝光；在所述正面曝光切换至背面曝光过程中，所述第一吸盘件转动至与所述基板载台平行并吸附所述正面后，所述第一吸盘件转动至与所述第二吸盘件平行，所述第二吸盘件吸附所述背面并转动至与所述基板载台平行，所述基板载台吸附所述正面并移动至所述曝光组件的下方进行所述背面曝光。
5、根据本专利技术的一些实施例，所述吸盘件包括本体，所述本体与所述连接杆转动连接；多个吸杆，多个所述吸杆间隔设在所述本体上，每个所述吸杆为中空结构，每个所述吸杆的一端适于与抽真空装置连通；其中，多个所述吸杆抽真空时，多个所述吸杆吸附所述待曝光件。
6、根据本专利技术的一些实施例，所述本体上形成有多个通孔，多个所述通孔呈阵列式排布。
7、根据本专利技术的一些实施例，所述高效单机双面曝光设备还包括多个支撑件，多个所述支撑件分别设在所述基座的宽度方向的两侧，每个所述支撑件沿所述基座的厚度方向延伸；第一导向件，所述第一导向件与多个所述支撑件相连，所述第一导向件和所述连接杆中其中一个上形成有第一滑槽，所述第一导向件和所述连接杆中的另一个上设有第一滑轨，所述第一滑轨与所述第一滑槽滑动配合。
8、根据本专利技术的一些实施例，多个所述支撑件的远离所述基座的一端连接有连接板，所述第一导向件与所述连接板相连。
9、根据本专利技术的一些实施例，所述连接板位于所述曝光组件的下方，所述连接板上形成有多个曝光孔，所述曝光组件包括多个曝光头，多个所述曝光头与多个所述曝光孔一一对应。
10、根据本专利技术的一些实施例，所述基座和所述基板载台中其中一个上形成有第二滑槽，所述基座和所述基板载台中的另一个上设有第二滑轨，所述第二滑轨与所述第二滑槽滑动配合。
11、根据本专利技术的一些实施例，所述基座的邻近所述基板载台的一侧设有输送带，所述输送带沿所述基座的长度方向延伸，且所述输送带与所述基板载台相连。
12、根据本专利技术的一些实施例，所述基板载台上形成有气体通道，所述气体通道的一端适于与抽真空装置连通；其中，所述气体通道抽真空时，所述基板载台吸附所述待曝光件。
13、本专利技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本专利技术的实践了解到。
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1.一种高效单机双面曝光设备，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的高效单机双面曝光设备，其特征在于，所述待曝光件在所述基座的厚度方向上的两侧表面分别为正面和背面，两个所述吸盘件分别为第一吸盘件和第二吸盘件；
3.根据权利要求2所述的高效单机双面曝光设备，其特征在于，所述吸盘件包括：
4.根据权利要求3所述的高效单机双面曝光设备，其特征在于，所述本体上形成有多个通孔，多个所述通孔呈阵列式排布。
5.根据权利要求1-4任一项所述的高效单机双面曝光设备，其特征在于，还包括：
6.根据权利要求5所述的高效单机双面曝光设备，其特征在于，多个所述支撑件的远离所述基座的一端连接有连接板，所述第一导向件与所述连接板相连。
7.根据权利要求6所述的高效单机双面曝光设备，其特征在于，所述连接板位于所述曝光组件的下方，所述连接板上形成有多个曝光孔，所述曝光组件包括多个曝光头，多个所述曝光头与多个所述曝光孔一一对应。
8.根据权利要求1-4任一项所述的高效单机双面曝光设备，其特征在于，所述基座和所述基板载台中其中
9.根据权利要求8所述的高效单机双面曝光设备，其特征在于，所述基座的邻近所述基板载台的一侧设有输送带，所述输送带沿所述基座的长度方向延伸，且所述输送带与所述基板载台相连。
10.根据权利要求1所述的高效单机双面曝光设备，其特征在于，所述基板载台上形成有气体通道，所述气体通道的一端适于与抽真空装置连通；
...【技术特征摘要】
1.一种高效单机双面曝光设备，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的高效单机双面曝光设备，其特征在于，所述待曝光件在所述基座的厚度方向上的两侧表面分别为正面和背面，两个所述吸盘件分别为第一吸盘件和第二吸盘件；
3.根据权利要求2所述的高效单机双面曝光设备，其特征在于，所述吸盘件包括：
4.根据权利要求3所述的高效单机双面曝光设备，其特征在于，所述本体上形成有多个通孔，多个所述通孔呈阵列式排布。
5.根据权利要求1-4任一项所述的高效单机双面曝光设备，其特征在于，还包括：
6.根据权利要求5所述的高效单机双面曝光设备，其特征在于，多个所述支撑件的远离所述基座的一端连接有连接板，所述第一导向件与所述连接板相连。
7.根据权利要求6所...
【专利技术属性】
技术研发人员：曲鲁杰，程刚，
申请(专利权)人：合肥芯碁微电子装备股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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