一种具有良好绝缘强度的充油式压力传感器芯体制造技术

技术编号:43852304 阅读:7 留言:0更新日期:2024-12-31 18:43
本技术公开了一种具有良好绝缘强度的充油式压力传感器芯体,涉及压力传感器芯体技术领域,包括基座主体、柯伐管腿、绝缘体、陶瓷垫片、压力芯片、膜片和压环,基座主体的中心设有阶梯通道,阶梯通道的直径从上至下依次减小,绝缘体和陶瓷垫片均安装于阶梯通道内,绝缘体位于陶瓷垫片的上端,绝缘体上设有多个绝缘管腿孔,陶瓷垫片上设有多个垫片管腿孔,每个柯伐管腿的下端依次穿过与之对应的绝缘管腿孔和垫片管腿孔,压力芯片安装于陶瓷垫片上,各柯伐管腿均与压力芯片电连接,基座主体的下端设有压环,压环的中心设有压力入口,压环与基座主体的下端之间夹持有膜片,膜片和压力芯片之间填充有传压介质。本技术具有良好的绝缘强度。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及压力传感器芯体,特别是涉及一种具有良好绝缘强度的充油式压力传感器芯体


技术介绍

1、通常mems类的硅压力传感器在进行封装时候,需要通过一个带可伐引线的金属座将半导体硅的焊盘与可伐引线相连,从而将传感器的信号引向封装结构件的外部,实现信号的传输。

2、然而,在现实应用中,有些场合需要非常高的绝缘强度,例如空调、汽车等行业。常规的方式是通过精度稍差但是绝缘强度较好的陶瓷类压力传感器来解决,但是其绝缘强度仍然不是很好。

3、对此,现有公告号为cn215448263u中公开了“一种隔膜式微型压力敏感元件”,其中虽然采用了绝缘件来提高整体的绝缘性,但是由于其中设置的管腿孔的孔径较小,并且镀金柯伐管腿需要安装到管腿孔中,这就使得镀金柯伐管腿到管腿孔内壁的间距较小,即便二者之间设有绝缘件,但是其绝缘效果依旧不是很理想。

4、因此,本领域亟需一种具有良好绝缘强度的充油式压力传感器芯体,用于解决上述问题。


技术实现思路

1、本技术的目的是提供一种具有良好绝缘强度的充油式压力传感器芯体,以解决上述现有技术存在的问题,柯伐管腿距离阶梯通道内壁之间的间距较大,从而可以有效的提高整体的绝缘强度。

2、为实现上述目的,本技术提供了如下方案:

3、本技术公开了一种具有良好绝缘强度的充油式压力传感器芯体,包括基座主体、柯伐管腿、绝缘体、陶瓷垫片、压力芯片、膜片和压环,所述基座主体的中心设有阶梯通道,所述阶梯通道的直径从上至下依次减小,所述绝缘体和所述陶瓷垫片均安装于所述阶梯通道内,所述绝缘体位于所述陶瓷垫片的上端,所述绝缘体上设有多个绝缘管腿孔,所述陶瓷垫片上设有多个垫片管腿孔,多个所述绝缘管腿孔和多个所述垫片管腿孔的位置一一对应,所述柯伐管腿设有多个,每个所述柯伐管腿的下端依次穿过与之对应的所述绝缘管腿孔和所述垫片管腿孔,所述压力芯片安装于所述陶瓷垫片上,各所述柯伐管腿均与所述压力芯片电连接,所述基座主体的下端设有所述压环,所述压环的中心设有压力入口,所述压环与所述基座主体的下端之间夹持有所述膜片,所述膜片和所述压力芯片之间填充有传压介质。

4、优选的,所述绝缘体为玻璃材质;

5、所述基座主体和所述绝缘体之间、所述绝缘体和所述柯伐管腿之间均是通过烧结固定。

6、优选的,所述柯伐管腿与所述压力芯片之间通过金丝连接。

7、优选的,所述传压介质为硅油;

8、所述基座主体和所述绝缘体之间设有注油通道,所述注油通道的上端设有油孔密封件,所述注油通道的下端位于所述膜片和所述压力芯片之间。

9、优选的,所述油孔密封件为钢珠。

10、优选的,所述基座主体的下端中心设有锥形口,所述锥形口的内径从上至下逐渐增大,所述锥形口与所述阶梯通道相连通。

11、优选的,所述陶瓷垫片的中心设有芯片安装槽,所述压力芯片通过粘接剂粘接于所述芯片安装槽内。

12、优选的,所述基座主体的外壁上设有密封槽,所述密封槽内设有密封圈。

13、优选的,所述绝缘体上固定有导气管,所述导气管的上端穿出所述绝缘体的上表面,所述导气管的下端与所述压力芯片相连。

14、优选的,所述柯伐管腿还连接有厚膜电路。

15、本技术相对于现有技术取得了以下技术效果:

16、本技术能够有效的增加柯伐管腿到基座主体内壁之间的距离,并且由绝缘体对柯伐管腿进行固定,从而有效的提高整体的绝缘强度,确保压力传感器芯体的电气性能和安全性和可靠性。

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【技术保护点】

1.一种具有良好绝缘强度的充油式压力传感器芯体,其特征在于:包括基座主体、柯伐管腿、绝缘体、陶瓷垫片、压力芯片、膜片和压环,所述基座主体的中心设有阶梯通道,所述阶梯通道的直径从上至下依次减小,所述绝缘体和所述陶瓷垫片均安装于所述阶梯通道内,所述绝缘体位于所述陶瓷垫片的上端,所述绝缘体上设有多个绝缘管腿孔,所述陶瓷垫片上设有多个垫片管腿孔,多个所述绝缘管腿孔和多个所述垫片管腿孔的位置一一对应,所述柯伐管腿设有多个,每个所述柯伐管腿的下端依次穿过与之对应的所述绝缘管腿孔和所述垫片管腿孔,所述压力芯片安装于所述陶瓷垫片上,各所述柯伐管腿均与所述压力芯片电连接,所述基座主体的下端设有所述压环,所述压环的中心设有压力入口,所述压环与所述基座主体的下端之间夹持有所述膜片,所述膜片和所述压力芯片之间填充有传压介质。

2.根据权利要求1所述的具有良好绝缘强度的充油式压力传感器芯体,其特征在于:所述绝缘体为玻璃材质;

3.根据权利要求1所述的具有良好绝缘强度的充油式压力传感器芯体,其特征在于:所述柯伐管腿与所述压力芯片之间通过金丝连接。

4.根据权利要求1所述的具有良好绝缘强度的充油式压力传感器芯体,其特征在于:所述传压介质为硅油;

5.根据权利要求4所述的具有良好绝缘强度的充油式压力传感器芯体,其特征在于:所述油孔密封件为钢珠。

6.根据权利要求1所述的具有良好绝缘强度的充油式压力传感器芯体,其特征在于:所述基座主体的下端中心设有锥形口,所述锥形口的内径从上至下逐渐增大,所述锥形口与所述阶梯通道相连通。

7.根据权利要求1所述的具有良好绝缘强度的充油式压力传感器芯体,其特征在于:所述陶瓷垫片的中心设有芯片安装槽,所述压力芯片通过粘接剂粘接于所述芯片安装槽内。

8.根据权利要求1所述的具有良好绝缘强度的充油式压力传感器芯体,其特征在于:所述基座主体的外壁上设有密封槽,所述密封槽内设有密封圈。

9.根据权利要求1所述的具有良好绝缘强度的充油式压力传感器芯体,其特征在于:所述绝缘体上固定有导气管,所述导气管的上端穿出所述绝缘体的上表面,所述导气管的下端与所述压力芯片相连。

10.根据权利要求1所述的良好绝缘强度的充油式压力传感器芯体,其特征在于:所述柯伐管腿还连接有厚膜电路。

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【技术特征摘要】

1.一种具有良好绝缘强度的充油式压力传感器芯体,其特征在于:包括基座主体、柯伐管腿、绝缘体、陶瓷垫片、压力芯片、膜片和压环,所述基座主体的中心设有阶梯通道,所述阶梯通道的直径从上至下依次减小,所述绝缘体和所述陶瓷垫片均安装于所述阶梯通道内,所述绝缘体位于所述陶瓷垫片的上端,所述绝缘体上设有多个绝缘管腿孔,所述陶瓷垫片上设有多个垫片管腿孔,多个所述绝缘管腿孔和多个所述垫片管腿孔的位置一一对应,所述柯伐管腿设有多个,每个所述柯伐管腿的下端依次穿过与之对应的所述绝缘管腿孔和所述垫片管腿孔,所述压力芯片安装于所述陶瓷垫片上,各所述柯伐管腿均与所述压力芯片电连接,所述基座主体的下端设有所述压环,所述压环的中心设有压力入口,所述压环与所述基座主体的下端之间夹持有所述膜片,所述膜片和所述压力芯片之间填充有传压介质。

2.根据权利要求1所述的具有良好绝缘强度的充油式压力传感器芯体,其特征在于:所述绝缘体为玻璃材质;

3.根据权利要求1所述的具有良好绝缘强度的充油式压力传感器芯体,其特征在于:所述柯伐管腿与所述压力芯片之间通过金丝连接。

4.根据权利要求1所述的具有...

【专利技术属性】
技术研发人员:崔卫周洪祥卫兵
申请(专利权)人:西安森瑟斯传感器有限责任公司
类型:新型
国别省市:

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