【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及供气柜，特别是涉及一种气体供应柜及气体供应柜自动控制系统。
技术介绍
1、半导体制程中，供气柜的使用是相对较为广泛的，供气柜包括柜体和可拆卸安装于柜体内部的气瓶，且气瓶呈竖向延伸放置。使用时，柜体能够对气瓶做防护，同时增加使用的安全性，在气瓶使用过程中，为了保证供气的稳定性，传统的单一气瓶的供气方式显然是无法满足用气需求的，这就需要提供多气瓶供气，而多气瓶供气时又需要对供气优先顺序进行整理，在保证气体供应稳定的同时，还不能对气体的使用造成浪费，在气瓶工作时，由于其使用环境的特殊性，工作空间内的气体的安全存在不确定性，就需要能够及时对工作环境内的气体含量进行检测，及时发现气体成分的变化情况，因此，需要一种气体供应柜及气体供应柜自动控制系统。
技术实现思路
1、鉴于以上所述现有技术的缺点，本专利技术的目的在于提供一种气体供应柜及气体供应柜自动控制系统，用于解决现有技术中对气瓶使用环境内气体成分监测的问题。
2、为实现上述目的及其他相关目的，本专利技术提供如下技术方案：
3、一种气体供应柜，包括：
4、柜体，所述柜体内设置采样舱和检测舱，所述柜体侧壁上设置气体循环柜，所述气体循环柜连接柜体内部与外界，以使柜体内部气体循环出外界；
5、所述采样舱内设置气体采样阀，所述采样阀内设置气体过滤组件；
6、所述检测舱内设置检测箱体，检测箱体下侧设置容纳气瓶的容纳腔，所述气体循环柜分别连通容纳腔与检测箱体；
7、所
8、实现上述技术方案，通过在柜体内设置采样舱和检测舱，分别对气体进行采样处理和检测处理，在柜体侧壁上设置气体循环柜，利用气体循环柜连接柜体内部与外界，以使柜体内部气体循环出外界，保证柜体内的通气性。
9、通过在采样阀内设置气体过滤组件，利用气体过滤组件对采样气体进行过滤，避免有固体颗粒杂质进入检测设备内，对检测设备造成不可挽回的损伤，利用检测箱体下侧设置容纳气瓶的容纳腔，为气瓶的使用提供充足的支撑空间，保证气体的使用稳定性，柜体上还设置有警报器，能够在检测出周围气体存在安全隐患时，及时发出警报信号，提醒周围的工作人员。
10、于本专利技术的一实施例中，所述气体过滤组件包括过滤基座，所述过滤基座上设置多组气体滤芯，所述气体采样阀底部设置进气口，所述过滤基座上设置出气管，所述出气管连接至检测箱体，所述气体采样阀位于采样舱内靠近中间的位置。
11、实现上述技术方案，通过在过滤基座上设置多组气体滤芯，利用多组气体滤芯对气体进行过滤处理，以保证气体采集后进入检测设备时，不会残留固体颗粒杂质，提高检测设备的使用安全性，通过过滤基座上设置出气管连接至检测箱体，过滤后的气体直接进入检测箱体内，减少气流在传输过程中的损耗，保证气体输送至检测箱体时能够保持足够的流速，以匹配检测箱体内预设的流速值。
12、于本专利技术的一实施例中，所述检测箱体内设置检测基板，所述检测基板上背面设置多组采样气管，所述检测基板上设置气管接头，所述多组采样气管连接至气管接头后侧，所述检测基板上还设有气阀座，所述气阀座连通采样气管，所述检测基板上气阀座与多组采样管之间还设有气体过滤座，所述多组采样管均连接至气体过滤座输入端，所述检测基板前侧设置检测仪，所述气体过滤座输出端连接至检测仪。
13、实现上述技术方案，通过设置多组采样气管，能够与各个气体滤芯之间利用气管连通，保证对气体采样的准确性，在其中某个气体滤芯出现堵塞情况时，其余气管仍然可以完成通气操作，保证检测箱体内能够有充足的气体流入，保证检测数据的准确性，气阀座能够根据气体流量以调整气体流速，在出现某个气体滤芯出现堵塞情况时，气体流量降低，届时气阀座增大流速，以弥补气体流量不足的问题，多组采样管均连接至气体过滤座输入端，利用气体过滤座对多组采样管输送来的气体进行统合，使气体能够从气体过滤座输出端呈单股气流，检测基板前侧设置检测仪，利用检测仪对气体的流速以及气体含量进行检测，包括对气体流速以及气体成分进行的检测。
14、于本专利技术的一实施例中，所述检测箱体内还设置一组备用检测箱，所述备用检测箱内设置气体驱动泵，所述备用检测箱上设置辅助进气口，所述辅助进气扣连接至采样管，所述备用检测箱内还设有辅助检测仪，所述辅助检测仪的进气端连接至辅助进气口出气端。
15、实现上述技术方案，通过设置备用检测箱，将采样管一组出气端连接至备用检测箱处，在检测仪能够正常工作的情况下，备用检测箱的辅助进气口处于封闭状态，气体以连接检测仪端的采样管为流通管，当检测仪端出现问题时，辅助检测仪开始动作，将本应进入检测仪的气体进入辅助检测仪内，进行气体检测。
16、于本专利技术的一实施例中，所述检测舱上侧设置显示屏，所述显示屏电连接至检测基板，所述检测基板与检测仪和辅助检测仪电连接。
17、实现上述技术方案，通过在检测舱上侧设置显示屏，利用显示屏和检测基板与检测仪和辅助检测仪电连接，将气体检测情况展示在现实屏上，方便人工查阅检测情况。
18、于本专利技术的一实施例中，所述气体循环柜设置两组通气风扇，并且两组通气风扇分别连接至通容纳腔与检测箱体与外界。
19、实现上述技术方案，通过设置两组通气风扇分别连接至容纳腔和检测箱体与外界，能够保证容纳腔和检测箱体内的气体流动性，避免在柜体内部出现气体泄露后，无法及时排出柜体导致影响柜体内工作环境受影响，以及柜体内长时间封闭状态下，内部压力失衡。
20、一种采用所述气体供应柜的气体供应柜自动控制系统，包括气体检测模块、数据处理模块和警报模块；
21、所述气体检测模块包括对容纳腔内气瓶内气体余量进行检测，实施获取通过设置在气瓶内的压力传感器检测到的气瓶中气体的压力值，还包括对检测仪处气体的成分以及流速进行检测，以确定目标环境内的气体安全性以及气体流动性；
22、所述数据处理模块对气体检测模块采集的气瓶中的气体、以及外界气体的气体成分以及流动速度，将获取的气体检测数据与预设的阈值进行比较；
23、所述警报模块包括接收数据处理模块的数据处理结果信号，以及将警报信号发送至柜体上设置的警报器，以及用户端。
24、实现上述技术方案，通过设置气体检测模块对容纳腔内气瓶内气体余量进行检测，实施获取通过设置在气瓶内的压力传感器检测到的气瓶中气体的压力值，根据气瓶中气体的压力值，确定气瓶内的气体余量，从而根据气瓶内残留的气体容量，以确定是否需要启动备用气瓶进行补充供气，气体检测模块还需要对检测仪处气体的成分以及流速进行检测，根据检测仪检测的气体成分，以确定目标环境内的气体安全性，根据流速反馈结果确定气体采样阀端以及气瓶端气体流速是否正常，在出现异常时及时进行异常排查，提高设备运行的稳定性。
25、数据处理模块对气体检测模块采集的气瓶中的气体、以及外界气体的气体成分以及流动速度，将获取的气体检测数据与预设的阈值进行比较，已确定气瓶中气本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种气体供应柜，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的气体供应柜，其特征在于：所述气体过滤组件包括过滤基座，所述过滤基座上设置多组气体滤芯，所述气体采样阀底部设置进气口，所述过滤基座上设置出气管，所述出气管连接至检测箱体，所述气体采样阀位于采样舱内靠近中间的位置。
3.根据权利要求1所述的气体供应柜，其特征在于：所述检测箱体内设置检测基板，所述检测基板上背面设置多组采样气管，所述检测基板上设置气管接头，所述多组采样气管连接至气管接头后侧，所述检测基板上还设有气阀座，所述气阀座连通采样气管，所述检测基板上气阀座与多组采样管之间还设有气体过滤座，所述多组采样管均连接至气体过滤座输入端，所述检测基板前侧设置检测仪，所述气体过滤座输出端连接至检测仪。
4.根据权利要求1所述的气体供应柜，其特征在于：所述检测箱体内还设置一组备用检测箱，所述备用检测箱内设置气体驱动泵，所述备用检测箱上设置辅助进气口，所述辅助进气扣连接至采样管，所述备用检测箱内还设有辅助检测仪，所述辅助检测仪的进气端连接至辅助进气口出气端。
5.根据权利要求1所述的气
6.根据权利要求1所述的气体供应柜，其特征在于：所述气体循环柜设置两组通气风扇，并且两组通气风扇分别连接至通容纳腔与检测箱体与外界。
7.一种采用如权利要求1-6任一项所述的气体供应柜的气体供应柜自动控制系统，其特征在于：包括气体检测模块、数据处理模块和警报模块；
8.根据权利要求7所述的气体供应柜自动控制系统，其特征在于：所述数据处理模块判断到气瓶的气体余量不足时，则自动连通备用气瓶，利用备用气瓶辅助进行供气，并且将报警信号发送至用户端。
9.根据权利要求7所述的气体供应柜自动控制系统，其特征在于：在所述数据处理模块判断到检测仪处气体的成分中含有有毒物质时，则将信号传递至用户端，同时向警报器发送警报信号，警报器进行报警以提示工作人员注意周围工作环境，在所述数据处理模块判断到检测仪处气体流速降低时，将信号传递至用户端，提示用户端对气体过滤组件进行维保。
...【技术特征摘要】
1.一种气体供应柜，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的气体供应柜，其特征在于：所述气体过滤组件包括过滤基座，所述过滤基座上设置多组气体滤芯，所述气体采样阀底部设置进气口，所述过滤基座上设置出气管，所述出气管连接至检测箱体，所述气体采样阀位于采样舱内靠近中间的位置。
3.根据权利要求1所述的气体供应柜，其特征在于：所述检测箱体内设置检测基板，所述检测基板上背面设置多组采样气管，所述检测基板上设置气管接头，所述多组采样气管连接至气管接头后侧，所述检测基板上还设有气阀座，所述气阀座连通采样气管，所述检测基板上气阀座与多组采样管之间还设有气体过滤座，所述多组采样管均连接至气体过滤座输入端，所述检测基板前侧设置检测仪，所述气体过滤座输出端连接至检测仪。
4.根据权利要求1所述的气体供应柜，其特征在于：所述检测箱体内还设置一组备用检测箱，所述备用检测箱内设置气体驱动泵，所述备用检测箱上设置辅助进气口，所述辅助进气扣连接至采样管，所述备用检测箱内还设有辅助检测仪，所述辅助检测仪的进气端连接至辅助进气口出气端。
...【专利技术属性】
技术研发人员：林阳，蒋修云，戴明臣，彭小强，
申请(专利权)人：苏州工业园区可伦坡系统集成科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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