【技术实现步骤摘要】
本申请涉及单晶炉清洁，尤其涉及一种清洁装置。
技术介绍
1、单晶硅，是一种半导体材料。单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备。
2、现有的直拉单晶炉(以下简称单晶炉)一般包含主炉体部分、坩埚提升机构、籽晶提升机构、副室旋转机构、立柱、真空系统、氩气系统、冷却系统和水冷装置。目前，单晶炉采用多次复投料拉多棒单晶的方式，对单晶炉进行持续的抽真空，单晶炉内产生的挥发物通过管道排气进入除尘罐进行沉积和过滤，以此来保持单晶炉内的洁净状态。然而，单晶炉持续运行过程中，挥发物会逐渐附着于炉内壁，需定期清理，减少杂质。
3、现有技术中通常采用直杆套装清洁材料，人工操作直杆伸入单晶炉副室对炉内壁进行清理。人工操作不仅费时费力，清洁人员站立位置也处于安全风险位置，比较危险。
技术实现思路
1、本申请提供了一种清洁装置，旨在利用筒壁与清洁面板之间产生的摩擦力，驱使清洁面板转动，实现清洁面板的不同面对筒壁进行清洁，提升清洁效果。
2、本申请提供了一种清洁装置，用于清洁筒体的筒壁，所述清洁装置包括：
3、连接座；
4、清洁面板，所述清洁面板安装于所述连接座面向所述筒壁的外周，在所述清洁装置升降的过程中，所述清洁面板能够相对于所述连接座转动，以转换所述清洁面板与所述筒壁的接触面。
5、在一种可能的设计中，所述清洁面板包括清洁部，所述清洁部设置有第一清洁区和第二清洁区
6、在所述清洁装置下降的过程中，所述第一清洁区与所述筒壁接触，在所述清洁装置上升的过程中，所述第二清洁区与所述筒壁接触。
7、在一种可能的设计中，所述清洁部为面向所述筒壁凸起的弧形。
8、在一种可能的设计中，所述清洁面板还包括支撑部，所述支撑部与所述清洁部连接；
9、所述支撑部设置有连接孔，所述连接座的外周设置有连接轴，所述支撑部通过所述连接孔套设在所述连接轴上。
10、在一种可能的设计中，所述支撑部还设置有限位面；
11、在所述清洁装置升降的过程中，所述限位面能够与所述连接座的表面抵接，以限制所述支撑部继续转动。
12、在一种可能的设计中，所述限位面包括第一约束面和第二约束面；
13、所述第一约束面和所述第二约束面相对于所述连接孔靠近所述连接座设置，且沿所述清洁装置的升降方向，所述第一约束面和所述第二约束面分别位于所述连接孔的两侧；
14、在所述清洁装置下降的过程中，所述第一约束面能够与所述连接座的表面抵接，以使所述第一清洁区与所述筒壁保持接触；
15、在所述清洁装置上升的过程中，所述第二约束面能够与所述连接座的表面抵接，以使所述第二清洁区与所述筒壁保持接触。
16、在一种可能的设计中，所述清洁装置还包括清洁件；
17、所述清洁件可拆卸套装于所述清洁部面向所述筒壁的一侧。
18、在一种可能的设计中，所述清洁装置还包括卡接件；
19、所述卡接件安装于所述清洁面板，所述卡接件能够将所述清洁件卡设于所述清洁部。
20、在一种可能的设计中，所述清洁件包括无尘布或无尘纸。
21、在一种可能的设计中，所述连接座的顶部设置有固定部，所述固定部用于与提升装置连接。
22、本申请中，利用升降籽晶的提升装置带动清洁装置清洁筒体的筒壁，提高清洁效率。此外，在提升装置控制清洁装置上升或下降的过程中，筒壁与清洁面板之间能够产生摩擦力，利用摩擦力驱使清洁面板转动，转换清洁面板与筒壁的接触面，实现清洁面板的不同面对筒壁进行清洁，提升清洁效果。
23、应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性的，并不能限制本申请。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种清洁装置，用于清洁筒体(2)的筒壁(21)，其特征在于，所述清洁装置(1)包括：
2.根据权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，所述清洁面板(12)包括清洁部(121)，所述清洁部(121)设置有第一清洁区(121a)和第二清洁区(121b)，沿所述清洁装置(1)的升降方向，所述第一清洁区(121a)位于所述第二清洁区(121b)的下方；
3.根据权利要求2所述的清洁装置，其特征在于，所述清洁部(121)为面向所述筒壁(21)凸起的弧形。
4.根据权利要求2所述的清洁装置，其特征在于，所述清洁面板(12)还包括支撑部(122)，所述支撑部(122)与所述清洁部(121)连接；
5.根据权利要求4所述的清洁装置，其特征在于，所述支撑部(122)还设置有限位面；
6.根据权利要求5所述的清洁装置，其特征在于，所述限位面包括第一约束面(122b)和第二约束面(122c)；
7.根据权利要求2所述的清洁装置，其特征在于，所述清洁装置(1)还包括清洁件(13)；
8.根据权利要求7所述的清洁装置，其
9.根据权利要求7所述的清洁装置，其特征在于，所述清洁件(13)包括无尘布或无尘纸。
10.根据权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，所述连接座(11)的顶部设置有固定部(112)，所述固定部(112)用于与提升装置(3)连接。
...【技术特征摘要】
1.一种清洁装置，用于清洁筒体(2)的筒壁(21)，其特征在于，所述清洁装置(1)包括：
2.根据权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，所述清洁面板(12)包括清洁部(121)，所述清洁部(121)设置有第一清洁区(121a)和第二清洁区(121b)，沿所述清洁装置(1)的升降方向，所述第一清洁区(121a)位于所述第二清洁区(121b)的下方；
3.根据权利要求2所述的清洁装置，其特征在于，所述清洁部(121)为面向所述筒壁(21)凸起的弧形。
4.根据权利要求2所述的清洁装置，其特征在于，所述清洁面板(12)还包括支撑部(122)，所述支撑部(122)与所述清洁部(121)连接；
5.根据权...
【专利技术属性】
技术研发人员：周小东，邱建峰，张创，
申请(专利权)人：晶科能源股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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