【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及清洗，特别涉及一种清洁装置、涂胶设备及涂胶设备的控制方法。
技术介绍
1、波导制造的过程中，需要先对成型的晶圆表面涂覆一层光刻胶，使得晶圆表面覆盖有光刻胶层，通常使用匀胶机进行涂胶工作。
2、在匀胶过程中，管路的管口长时间与空气接触，管口的胶材容易凝结，在匀胶时会因管路转动，导致管口上的凝结的胶粒掉落到晶圆表面，在匀胶过程中可能出现明显的胶材甩尾状况，影响匀胶质量。
技术实现思路
1、本专利技术的主要目的是提出一种清洁装置，旨在有效清洁匀胶管管口，提升匀胶质量，提升生产效率。
2、为实现上述目的，本专利技术提出的清洁装置，包括：
3、溶液清洗机构，用于对待清洗的出胶管管口进行溶液冲刷和/或浸泡；
4、毛刷清洁机构，用于对冲刷后的所述出胶管管口洗刷；
5、干燥机构，用于对洗刷后的所述出胶管管口干燥；以及
6、可视化检测机构，用于放大显示干燥后的所述出胶管管口。
7、在本申请一实施例中，所述溶液清洗机构包括：
8、溶液槽，其内装有清洗液，以用于浸泡出胶管管口；和
9、喷液组件，设于所述溶液槽的侧壁，并位于所述清洗液的液位上方，以用于朝出胶管管口喷液。
10、在本申请一实施例中，所述溶液槽包括第一溶液槽和设于所述第一溶液槽下方的第二溶液槽，所述第二溶液槽用于装清洗液，所述喷液组件的喷液口设于所述第一溶液槽的周侧壁；
11、所述溶液清洗机构还包括
12、在本申请一实施例中，所述第二溶液槽设有注液口和第一排液口，所述注液口位于所述第二溶液槽的侧壁，所述第一排液口位于所述第二溶液槽的底部；
13、所述第二溶液槽的侧壁设有溢液口，所述溢液口高于所述注液口。
14、在本申请一实施例中，所述毛刷清洁机构包括：
15、清洁槽，所述清洁槽的底部设有第二排液口；和
16、毛刷组件，可移动地安装于所述清洁槽的侧壁，所述毛刷组件可朝向或远离所述清洁槽的内腔移动，以洗刷位于所述清洁槽内的出胶管管口或脱离出胶管管口。
17、在本申请一实施例中，所述毛刷组件分布于所述清洁槽的周缘，所述毛刷组件可沿所述清洁槽的周缘转动或移动。
18、在本申请一实施例中，所述毛刷组件与所述清洁槽可拆卸连接。
19、在本申请一实施例中，所述干燥机构包括设于所述清洁槽上的吹气管路，所述吹气管路的管口位于所述清洁槽的槽口，以用于朝所述清洁槽内的出胶管管口吹气。
20、在本申请一实施例中，所述吹气管路设有两个，两个所述吹气管路分别位于所述清洁槽的相对两侧。
21、在本申请一实施例中，所述可视化检测机构包括：
22、放大镜模块，用于放大干燥后的所述出胶管管口；和
23、显示模块，与所述放大镜模块电连接，用于显示干燥后的所述出胶管管口放大后的图像。
24、为实现上述目的，本申请还提供一种涂胶设备，包括：
25、出胶管，其具有用于出胶的管口；
26、上述的清洁装置；以及
27、移动机构，与所述出胶管连接，用于驱动所述出胶管移动至所述溶液清洗机构和/或所述毛刷清洁机构和/或所述干燥机构和/或所述可视化检测机构处。
28、为实现上述目的，本申请还提供一种涂胶设备的控制方法，其特征在于，包括：
29、确定出胶管管口的溶液清洗模式，并根据所述溶液清洗模式对所述出胶管管口进行溶液清洗；其中，所述溶液清洗模式包括冲刷模式，或者冲刷和浸泡模式；
30、将溶液清洗后的所述出胶管管口移动至毛刷清洁机构进行洗刷；
31、将洗刷后的所述出胶管管口移动至干燥机构进行干燥；
32、将干燥后的所述出胶管管口移动至可视化检测机构进行放大显示。
33、在本申请一实施例中，所述确定出胶管管口的溶液清洗模式的步骤包括：
34、获取当前时间节点与所述出胶管管口的上一次工作结束时间节点的间隔时长；
35、当所述间隔时长小于或等于第一预设时长时，确定所述溶液清洗模式为冲刷模式；
36、当所述间隔时长大于第一预设时长时，确定所述溶液清洗模式为冲刷和浸泡模式。
37、本专利技术技术方案清洁装置中，通过设置溶液清洗机构、毛刷清洁机构、干燥机构以及可视化检测机构，使得待清洁的出胶管管口能够先通过溶液清洗机构进行溶液冲刷和/或浸泡，在溶液清洗完之后再通过毛刷对其进行洗刷，在洗刷完毕之后通过干燥机构进行干燥，最后在干燥完毕后能够通过可视化检测机构将出胶管管口放大显示，以供工作人员及时检查清洁效果。由此，便能够有效清洁匀胶管管口，提升匀胶质量，提升生产效率。
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1.一种清洁装置，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，所述溶液清洗机构包括：
3.如权利要求2所述的清洁装置，其特征在于，所述溶液槽包括第一溶液槽和设于所述第一溶液槽下方的第二溶液槽，所述第二溶液槽用于装清洗液，所述喷液组件的喷液口设于所述第一溶液槽的周侧壁；
4.如权利要求3所述的清洁装置，其特征在于，所述第二溶液槽设有注液口和第一排液口，所述注液口位于所述第二溶液槽的侧壁，所述第一排液口位于所述第二溶液槽的底部；
5.如权利要求1至4中任意一项所述的清洁装置，其特征在于，所述毛刷清洁机构包括：
6.如权利要求5所述的清洁装置，其特征在于，所述毛刷组件分布于所述清洁槽的周缘，所述毛刷组件可沿所述清洁槽的周缘转动或移动。
7.如权利要求5所述的清洁装置，其特征在于，所述毛刷组件与所述清洁槽可拆卸连接。
8.如权利要求5所述的清洁装置，其特征在于，所述干燥机构包括设于所述清洁槽上的吹气管路，所述吹气管路的管口位于所述清洁槽的槽口，以用于朝所述清洁槽内的出胶管管口吹气。p>
9.如权利要求8所述的清洁装置，其特征在于，所述吹气管路设有两个，两个所述吹气管路分别位于所述清洁槽的相对两侧。
10.如权利要求1至4中任意一项所述的清洁装置，其特征在于，所述可视化检测机构包括：
11.一种涂胶设备，其特征在于，包括：
12.一种涂胶设备的控制方法，其特征在于，包括：
13.如权利要求12所述的控制方法，其特征在于，所述确定出胶管管口的溶液清洗模式的步骤包括：
...【技术特征摘要】
1.一种清洁装置，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，所述溶液清洗机构包括：
3.如权利要求2所述的清洁装置，其特征在于，所述溶液槽包括第一溶液槽和设于所述第一溶液槽下方的第二溶液槽，所述第二溶液槽用于装清洗液，所述喷液组件的喷液口设于所述第一溶液槽的周侧壁；
4.如权利要求3所述的清洁装置，其特征在于，所述第二溶液槽设有注液口和第一排液口，所述注液口位于所述第二溶液槽的侧壁，所述第一排液口位于所述第二溶液槽的底部；
5.如权利要求1至4中任意一项所述的清洁装置，其特征在于，所述毛刷清洁机构包括：
6.如权利要求5所述的清洁装置，其特征在于，所述毛刷组件分布于所述清洁槽的周缘，所述毛刷组件可沿所述清洁槽的周缘转动或移动。<...
【专利技术属性】
技术研发人员：高旭，
申请(专利权)人：东莞怡力精密制造有限公司，
类型：发明
国别省市：
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