【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
技术介绍
技术实现思路
【技术保护点】
1.一种处理工具，包括：
2.如权利要求1所述的处理工具，其中所述A/D转换器被配置为从所述传输线传感器接收模拟信号，并将数字信号传送到所述DDC。
3.如权利要求2所述的处理工具，其中所述频率dPLL、所述传输线缩放模块及所述DDC彼此通信耦合。
4.如权利要求1所述的处理工具，其中所述传输线传感器包括电压传感器及电流传感器。
5.如权利要求4所述的处理工具，其中所述A/D转换器是双A/D转换器。
6.如权利要求1所述的处理工具，进一步包括：
7.如权利要求6所述的处理工具，进一步包括：
8.如权利要求7所述的处理工具，其中所述第二频率dPLL通信耦合到所述第三DDC及所述第三传输线缩放模块。
9.如权利要求1所述的处理工具，其中所述DDC被配置成处理来自所述传输线传感器的信号的实部分量及来自所述传输线传感器的所述信号的虚部分量，并且其中所述DDC被配置成将所述实部分量及所述虚部分量组合成复合信号。
10.如权利要求9所述的处理工具，其中所述传输线缩放模块包括多个缩放因子
11.如权利要求1所述的处理工具，其中所述dPLL经由直接数字合成(DDS)模块将频率反馈给所述DDC。
12.如权利要求1所述的处理工具，其中所述传输线缩放模块输出电压、前向功率、反射功率及电流。
13.如权利要求1所述的处理工具，其中所述dPLL包括反馈回路，其中所述反馈回路包括将信号乘以共轭对。
14.一种处理工具，包括：
15.如权利要求14所述的处理工具，其中在所述传输线缩放模块之前提供滤波器，其中复数信号通过滤波器。
16.如权利要求15所述的处理工具，其中所述滤波器是有限脉冲响应(FIR)滤波器。
17.如权利要求14所述的处理工具，其中所述传输线缩放模块输出电压、前向功率、反射功率及电流。
18.一种半导体处理工具，包括：
19.如权利要求18所述的半导体处理工具，其中所述A/D转换器被配置为从所述传输线传感器接收模拟信号，并将数字信号传送到所述DDC。
20.如权利要求18所述的处理工具，其中所述频率dPLL、所述传输线缩放模块及所述DDC彼此通信耦合。
...【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种处理工具，包括：
2.如权利要求1所述的处理工具，其中所述a/d转换器被配置为从所述传输线传感器接收模拟信号，并将数字信号传送到所述ddc。
3.如权利要求2所述的处理工具，其中所述频率dpll、所述传输线缩放模块及所述ddc彼此通信耦合。
4.如权利要求1所述的处理工具，其中所述传输线传感器包括电压传感器及电流传感器。
5.如权利要求4所述的处理工具，其中所述a/d转换器是双a/d转换器。
6.如权利要求1所述的处理工具，进一步包括：
7.如权利要求6所述的处理工具，进一步包括：
8.如权利要求7所述的处理工具，其中所述第二频率dpll通信耦合到所述第三ddc及所述第三传输线缩放模块。
9.如权利要求1所述的处理工具，其中所述ddc被配置成处理来自所述传输线传感器的信号的实部分量及来自所述传输线传感器的所述信号的虚部分量，并且其中所述ddc被配置成将所述实部分量及所述虚部分量组合成复合信号。
10.如权利要求9所述的处理工具，其中所述传输线缩放模块包括多个缩放因子，其中所述多个缩放因子中各自被配置...
【专利技术属性】
技术研发人员：大卫·库莫，瓦列里·塞勒布里·安斯基，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：
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