【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种固体材料容器、固体材料供给装置和固体材料供给方法。
技术介绍
1、近年来，为了解决起因于半导体器件的微细化和高度集成化的问题，要求使用以往未使用的前体材料的新型成膜技术。以往，作为前体材料，广泛使用了操作相对容易的气体材料或液体材料。另一方面，在最尖端器件中使用的铝、铪、铟、钼、钽、钛、钨、钇、锆等的无机金属化合物和有机金属化合物的一部分在标准温度和标准压力下为固体。在标准温度和标准压力下为固体的前体材料(以下，称为“固体材料”)不能直接输送到成膜工艺用腔室中。这些固体材料通常具有较高的熔点和较低的蒸气压，因此在导入成膜腔室之前，需要使固体材料升华。
2、而固体材料收容在气密容器(固体材料容器)中，固体材料供给装置在固体材料容器内使固体材料升华后供给到成膜工艺用腔室中。因此，固体材料供给装置需要掌握使用量并知道容器的更换时机。因此，需要在一定程度上准确掌握固体材料容器内的固体材料的余量。
3、作为掌握固体材料容器内的固体材料的余量的方法，已知有重量测量法和直接测量固体材料的温度的方法。然而，重量测量法无法掌握固体材料容器内的固体材料的余量高度。
4、作为直接测量固体材料的温度的方法，专利文献1公开了直接测量固体材料容器内的固体材料的温度的技术。具体而言，在专利文献1的图11中公开了固体材料容器的结构，其在固体材料容器的顶板上插通有沿铅直方向延伸的热电偶，并且在固体材料容器内的热电偶上沿铅直方向以所需间隔设置有多个传感器。
5、专利文献1：日本专利公开2012-05
6、然而，在专利文献1所公开的技术中，由于热电偶自身发热而热电偶附近的固体材料先升华，导致材料在热电偶附近消失，因此测量的是气相的温度而不是固体材料的温度，存在无法进行适当的余量监视的问题。
技术实现思路
1、本专利技术是鉴于上述情况而完成的，其课题是提供一种固体材料容器、固体材料供给装置和固体材料供给方法，其能够对标准状态为固体的材料掌握容器内的余量。
2、为了解决上述课题，本专利技术具有以下方案。
3、[1]一种固体材料容器，用于填充在常温常压(25℃、1大气压)下为固体的材料，并且供给所述材料根据蒸气压挥发或升华而成的气体，所述固体材料容器具备：
4、有底筒状的容器主体，具有躯干部，所述躯干部的中心轴沿铅直方向延伸；
5、盖，用于关闭所述容器主体的作为开口部的上表面；和
6、多个热电偶，
7、所述热电偶从所述躯干部的外周朝向所述躯干部的中心部沿水平方向插通，并且该热电偶的前端位于所述躯干部的中央，
8、多个所述热电偶在所述躯干部的铅直方向上隔开间隔分别布置在两个以上的不同高度处。
9、[2]根据[1]所述的固体材料容器，其中，多个所述热电偶被布置在所述躯干部的沿铅直方向延伸的同一线上。
10、[3]根据[1]或[2]所述的固体材料容器，进一步具备用于加热所述容器主体的加热器，
11、所述加热器能够分别加热沿铅直方向分割的两个以上的区域。
12、[4]根据[3]所述的固体材料容器，其中，所述加热器位于所述容器主体的周围。
13、[5]一种固体材料供给装置，用于供给在常温常压(25℃、1大气压)下为固体的材料根据蒸气压挥发或升华而成的气体，所述固体材料供给装置具备：
14、[1]至[4]中任一项所述的一个以上的固体材料容器；和
15、与所述固体材料容器连通的一个以上的连结管道。
16、[6]一种固体材料供给方法，用于使用[5]所述的固体材料供给装置，供给在常温常压(25℃、1大气压)下为固体的材料根据蒸气压挥发或升华而成的气体，其中，
17、在供给所述气体的所述固体材料容器中，使用沿铅直方向配设的多个热电偶来测量所述固体材料容器内的所述材料的温度，并且检测所述固体材料容器内的所述材料的余量。
18、[7]根据[6]所述的固体材料供给方法，其中，根据检测到的所述固体材料容器内的所述材料的余量，来改变所述固体材料容器的加热区域。
19、[8]根据[6]或[7]所述的固体材料供给方法，其中，在最靠近所述固体材料容器的底面的所述材料的温度与该材料的升华点之间的温度差为20℃以上时，判定为所述材料的余量少。
20、本专利技术的固体材料容器能够对标准状态下为固体的材料掌握容器内的余量。
21、本专利技术的固体材料供给装置和固体材料供给方法能够对标准状态下为固体的材料掌握固体材料容器内的余量。
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1.一种固体材料容器，用于填充在常温常压即25℃、1大气压下为固体的材料，并且供给所述材料根据蒸气压挥发或升华而成的气体，所述固体材料容器具备：
2.根据权利要求1所述的固体材料容器，其中，
3.根据权利要求1所述的固体材料容器，
4.根据权利要求3所述的固体材料容器，其中，
5.一种固体材料供给装置，用于供给在常温常压即25℃、1大气压下为固体的材料根据蒸气压挥发或升华而成的气体，所述固体材料供给装置具备：
6.一种固体材料供给方法，用于使用权利要求5所述的固体材料供给装置，供给在常温常压即25℃、1大气压下为固体的材料根据蒸气压挥发或升华而成的气体，
7.根据权利要求6所述的固体材料供给方法，其中，
8.根据权利要求6所述的固体材料供给方法，其中，
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种固体材料容器，用于填充在常温常压即25℃、1大气压下为固体的材料，并且供给所述材料根据蒸气压挥发或升华而成的气体，所述固体材料容器具备：
2.根据权利要求1所述的固体材料容器，其中，
3.根据权利要求1所述的固体材料容器，
4.根据权利要求3所述的固体材料容器，其中，
5.一种固体材料供给装置，用于供给在常温常压即...
【专利技术属性】
技术研发人员：向庸佑，龟岡崇史，渡部僚马，鹿川聪太，
申请(专利权)人：大阳日酸株式会社，
类型：发明
国别省市：
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