【技术实现步骤摘要】
本申请涉及射频滤波，尤其涉及一种弹性波装置、射频前端模组及弹性波装置的制备方法。
技术介绍
1、弹性波(saw)装置包括压电衬底及设置在压电衬底上的叉指换能器。随着弹性波装置的发展，对叉指换能器的尺寸提出了小型化要求，还对弹性波装置的功率耐受性提出了更高的要求。
2、目前，叉指换能器的电极一般采用多膜层结构，以可以提高弹性波装置的功率承受能力，但在实践中发现，在制作多层膜结构的电极时，如果采用剥离工艺去除光刻胶，在一些情况下会导致电极被腐蚀，损坏叉指换能器，影响弹性波装置的性能。
技术实现思路
1、鉴于上述现有技术的不足，本申请的目的在于提供一种弹性波装置、射频前端模组及弹性波装置的制备方法，其旨在避免损坏叉指换能器，提高弹性波装置的性能。
2、为解决上述技术问题，本申请实施例提供一种弹性波装置，其包括：压电衬底以及设于所述压电衬底上的至少一个叉指换能器，所述叉指换能器包括：
3、第一导电层，包括第一金属元素；
4、第二导电层，包括第二金属元素，所述第一金属元素的标准电极电势和所述第二金属元素的标准电极电势存在电势差，所述第一导电层位于所述第二导电层和所述压电衬底之间；
5、保护层，设于目标导电层的上表面，并向靠近所述压电衬底的方向延伸，以覆盖所述目标导电层的侧面，所述保护层自所述目标导电层的上表面边缘沿所述目标导电层的侧面向靠近所述压电衬底的方向延伸的长度为l1，所述目标导电层的侧面的长度为l2，l1大于l2；
<...【技术保护点】
1.一种弹性波装置，其特征在于，包括：压电衬底以及设于所述压电衬底上的至少一个叉指换能器，所述叉指换能器包括：
2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其特征在于，L1/L2为1.05～1.30。
3.根据权利要求2所述的弹性波装置，其特征在于，所述L1/L2为1.05～1.10。
4.根据权利要求1所述的弹性波装置，其特征在于，所述保护层覆盖所述第二导电层的上表面，并向靠近所述压电衬底的方向延伸，以覆盖所述第二导电层的侧面和所述第一导电层的部分侧面；
5.根据权利要求4所述的弹性波装置，其特征在于，所述L4/L3≤7％。
6.根据权利要求1所述的弹性波装置，其特征在于，所述第一金属元素的标准电极电势和所述第二金属元素的标准电极电势的电势差大于1.5V。
7.根据权利要求1所述的弹性波装置，其特征在于，所述第一导电层的厚度和所述第二导电层的厚度之和小于或等于700nm。
8.根据权利要求1所述的弹性波装置，其特征在于，所述保护层的厚度小于9nm。
9.根据权利要求8所述的弹性波装置，其特征
10.根据权利要求1所述的弹性波装置，其特征在于，包括以下至少一个特征：
11.根据权利要求1所述的弹性波装置，其特征在于，所述叉指换能器还包括粘附层，所述粘附层位于所述第一导电层和所述压电衬底之间，所述粘附层的厚度小于所述第一导电层和所述第二导电层中至少一者的厚度。
12.根据权利要求11所述的弹性波装置，其特征在于，所述粘附层的侧面与所述粘附层的底表面之间形成的夹角为锐角，所述第一导电层的侧面与所述第一导电层的底表面之间形成的夹角为锐角，所述第二导电层的侧面与所述第二导电层的底表面之间形成的夹角为锐角。
13.根据权利要求12所述的弹性波装置，其特征在于，所述粘附层的侧面与所述粘附层的底表面之间形成的夹角为β1，所述第一导电层的侧面与所述第一导电层的底表面之间形成的夹角与所述第二导电层的侧面与所述第二导电层的底表面之间形成的夹角相等，且均为β2，其中，β1＜β2。
14.根据权利要求11所述的弹性波装置，其特征在于，所述粘附层的厚度为5nm～20nm；和/或，
15.根据权利要求11所述的弹性波装置，其特征在于，所述保护层覆盖所述第一导电层的上表面，并沿所述第一导电层的侧面向靠近所述压电衬底的方向延伸，以覆盖所述第一导电层的侧面和所述粘附层的侧面的至少部分。
16.根据权利要求1所述的弹性波装置，其特征在于，所述叉指电极还包括第三导电层，所述第三导电层位于所述第一导电层和所述第二导电层之间，所述第三导电层的厚度小于所述第一导电层和所述第二导电层中至少一者的厚度。
17.根据权利要求16所述的弹性波装置，其特征在于，所述第三导电层的厚度为5nm～20nm；和/或，
18.一种射频前端模组，其特征在于，包括根据权利要求1-17任一项所述的弹性波装置。
19.一种弹性波装置的制备方法，用于制备根据权利要求1-17任一项所述的弹性波装置，其特征在于，所述制备方法包括：
20.根据权利要求19所述的弹性波装置的制备方法，其特征在于，所述在目标导电层上形成保护层，包括：
21.根据权利要求20所述的弹性波装置的制备方法，其特征在于，所述形成第一导电层之前，所述方法还包括：
22.根据权利要求21所述的弹性波装置的制备方法，其特征在于，所述方法还包括：
23.根据权利要求19所述的弹性波装置的制备方法，其特征在于，所述形成第一导电层之前，所述方法还包括：
24.根据权利要求19所述的弹性波装置的制备方法，其特征在于，所述形成第一导电层之后，所述在所述第一导电层上形成第二导电层之前，所述方法还包括：
25.根据权利要求19所述的弹性波装置的制备方法，其特征在于，所述剥离工艺中使用的剥离液为N-甲基吡咯烷酮溶液或者丙酮溶液。
...【技术特征摘要】
1.一种弹性波装置，其特征在于，包括：压电衬底以及设于所述压电衬底上的至少一个叉指换能器，所述叉指换能器包括：
2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其特征在于，l1/l2为1.05～1.30。
3.根据权利要求2所述的弹性波装置，其特征在于，所述l1/l2为1.05～1.10。
4.根据权利要求1所述的弹性波装置，其特征在于，所述保护层覆盖所述第二导电层的上表面，并向靠近所述压电衬底的方向延伸，以覆盖所述第二导电层的侧面和所述第一导电层的部分侧面；
5.根据权利要求4所述的弹性波装置，其特征在于，所述l4/l3≤7％。
6.根据权利要求1所述的弹性波装置，其特征在于，所述第一金属元素的标准电极电势和所述第二金属元素的标准电极电势的电势差大于1.5v。
7.根据权利要求1所述的弹性波装置，其特征在于，所述第一导电层的厚度和所述第二导电层的厚度之和小于或等于700nm。
8.根据权利要求1所述的弹性波装置，其特征在于，所述保护层的厚度小于9nm。
9.根据权利要求8所述的弹性波装置，其特征在于，所述保护层的厚度为为2nm～6nm。
10.根据权利要求1所述的弹性波装置，其特征在于，包括以下至少一个特征：
11.根据权利要求1所述的弹性波装置，其特征在于，所述叉指换能器还包括粘附层，所述粘附层位于所述第一导电层和所述压电衬底之间，所述粘附层的厚度小于所述第一导电层和所述第二导电层中至少一者的厚度。
12.根据权利要求11所述的弹性波装置，其特征在于，所述粘附层的侧面与所述粘附层的底表面之间形成的夹角为锐角，所述第一导电层的侧面与所述第一导电层的底表面之间形成的夹角为锐角，所述第二导电层的侧面与所述第二导电层的底表面之间形成的夹角为锐角。
13.根据权利要求12所述的弹性波装置，其特征在于，所述粘附层的侧面与所述粘附层的底表面之间形成的夹角为β1，所述第一导电层的侧面与所述第一...
【专利技术属性】
技术研发人员：曾雲东，蒋欣，曹家强，补强，强欢，李来洋，马志鹏，王华磊，倪建兴，
申请(专利权)人：锐石创芯重庆微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：
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