【技术实现步骤摘要】
本申请涉及光掩模缺陷定位，具体涉及一种定位光掩模缺陷位置的装置。
技术介绍
1、光掩模在生产、使用和保存过程中均有可能产生各种缺陷。光掩模生产出厂前及使用前均会对其进行缺陷检测，对于一般常见的缺陷通常会使用修补和清洗进行消除。但某些外来的异物缺陷，附着力较强，无法使用清洗去除，用修补成功率和效率都很低，可能导致光罩报废，因此需要找到成因从源头解决问题。由于光掩模制成工序较多，仅由缺陷检测得到的光学影像很难判断缺陷来源，对缺陷进行物化分析有利于判断缺陷出处。
2、在对光掩模的缺陷进行物化分析前，分析测试设备如何对目标缺陷位置准确查找定位，常常是操作难点之一。
3、基于此，需要一种新技术方案。
技术实现思路
1、有鉴于此，本说明书实施例提供一种定位光掩模缺陷的装置。
2、本说明书实施例提供以下技术方案：
3、本说明书实施例提供一种定位光掩模缺陷位置的装置，包括测试光掩模以及定位件；
4、所述测试光掩模上带有目标缺陷，且所述定位件设置在测试光掩模的目标缺陷位置处，被配置为定位件定位目标缺陷位置；
5、所述定位件包括标记件以及多个分支件；
6、所述标记件围绕目标缺陷外设置，被配置为用于定位显示目标缺陷；
7、多个所述分支件围绕标记件外设置，且分支件均连接标记件设置。
8、优选的，所述分支件的内端连接标记件，且所述分支件的内端到分支件的外端呈由小到大的形状设置，被配置为定位件由肉眼不可
9、优选的，所述标记件为标记框，被配置为目标缺陷位于所述标记框中。
10、优选的，所述标记框的形状为方形。
11、优选的，所述标记框的形状为圆形。
12、优选的，所述标记框位于定位件的中心位置。
13、优选的，相邻所述分支件间隔预设角度设置。
14、优选的，相邻所述分支件之间的预设角度为90度。
15、优选的，所述分支件包括多个分支块，且多个所述分支块叠摞设置；
16、多个所述分支块垂直于叠摞方向的尺寸由分支件的内端到分支件的外端呈由小到大的尺寸设置。
17、优选的，所述定位件设置为曝光件。
18、与现有技术相比，本说明书实施例采用的上述至少一个技术方案能够达到的有益效果至少包括：
19、本申请在测试光掩模上设置定位件，分析测试设备可通过定位件对测试光掩模的目标缺陷位置进行准确查找定位，通过定位件在进行裂片处理和物化分析等情况时能构快速有效的定位目标缺陷位置，提高对目标缺陷的辨识度，便于找到和区分目标缺陷，适用于光掩模缺陷分析过程中难定位的情况。另外，通过标记件围绕目标缺陷设置，标记件不与目标缺陷发生干涉，便于显示目标缺陷；多个所述分支件围绕标记件设置，能够提高对定位件的辨识度。
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1.一种定位光掩模缺陷位置的装置，其特征在于，包括测试光掩模(1)以及定位件(2)；
2.根据权利要求1所述的定位光掩模缺陷位置的装置，其特征在于，所述分支件(22)的内端连接标记件(21)，且所述分支件(22)的内端到分支件(22)的外端呈由小到大的形状设置，被配置为定位件(2)由肉眼不可见到肉眼可见。
3.根据权利要求1所述的定位光掩模缺陷位置的装置，其特征在于，所述标记件(21)为标记框，被配置为目标缺陷位于所述标记框中。
4.根据权利要求3所述的定位光掩模缺陷位置的装置，其特征在于，所述标记框的形状为方形。
5.根据权利要求3所述的定位光掩模缺陷位置的装置，其特征在于，所述标记框的形状为圆形。
6.根据权利要求3所述的定位光掩模缺陷位置的装置，其特征在于，所述标记框位于定位件(2)的中心位置。
7.根据权利要求1所述的定位光掩模缺陷位置的装置，其特征在于，相邻所述分支件(22)间隔预设角度设置。
8.根据权利要求7所述的定位光掩模缺陷位置的装置，其特征在于，相邻所述分支件(22)之间的预设
9.根据权利要求2所述的定位光掩模缺陷位置的装置，其特征在于，所述分支件(22)包括多个分支块(221)，且多个所述分支块(221)叠摞设置；
10.根据权利要求1所述的定位光掩模缺陷位置的装置，其特征在于，所述定位件(2)设置为曝光件。
...【技术特征摘要】
1.一种定位光掩模缺陷位置的装置，其特征在于，包括测试光掩模(1)以及定位件(2)；
2.根据权利要求1所述的定位光掩模缺陷位置的装置，其特征在于，所述分支件(22)的内端连接标记件(21)，且所述分支件(22)的内端到分支件(22)的外端呈由小到大的形状设置，被配置为定位件(2)由肉眼不可见到肉眼可见。
3.根据权利要求1所述的定位光掩模缺陷位置的装置，其特征在于，所述标记件(21)为标记框，被配置为目标缺陷位于所述标记框中。
4.根据权利要求3所述的定位光掩模缺陷位置的装置，其特征在于，所述标记框的形状为方形。
5.根据权利要求3所述的定位光掩模缺陷位置的装置，其特征在于，所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：柳仙蓉，施维，郑怀志，黄偲，汪德林，
申请(专利权)人：广州新锐光掩模科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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