【技术实现步骤摘要】
本申请涉及晶圆扫描检查的，尤其指一种晶圆扫描装置。
技术介绍
1、在晶圆经初级加工研磨后，通常会经自动光学检查（automated opticalinspection，简称aoi），为是利用高速高精度光学影像检测系统，运用机器视觉做为检测标准技术，在本实施例中是利用扫描器对晶圆表面进行扫描，经影像辨视系统进行比对，以发现晶圆表面的瑕疵。 在进行扫描时，须要有一组治具固定晶圆，若是对晶圆单一表面进行扫描，治具可吸附于晶圆另一面，因此不容易发生干涉情形，但若要缩短检查时间，同时对晶圆顶面、底面两面进行扫描，治具只能夹持于晶圆的圆周壁，此时因治具与晶圆太靠近，治具阴影容易成像于晶圆表面，最终影响到扫描影像正确性，进而出现误判的结果。
技术实现思路
1、为了能够提高晶圆检测的准确性，本申请提供一种晶圆扫描装置，采用如下技术方案：
2、一种晶圆扫描装置，包括机台和扫描单元，所述机台上设有用于放置晶圆的作业区，所述扫描单元包括移动机构及至少一个扫描仪，所述移动机构安装在机台上，且至少一个所述扫描仪沿一直线安装在移动机构上，所述移动机构用于带动扫描仪移动，至少一个所述扫描仪用于对位于作业区的晶圆的顶壁与底壁同时进行扫描，所述机台位于作业区处设有至少四个电控座，每个所述电控座上均安装有承接件，所述承接件用于与晶圆的侧壁抵触，且位于与至少一个所述扫描仪所在的直线平行的直线上的至少一个电控座上的承接件相互错开，并且在对晶圆扫描时，位于至少一个所述扫描仪所在直线上的承接件与晶圆分离。
...【技术保护点】
1.一种晶圆扫描装置，其特征在于：包括机台(2)和扫描单元(1)，所述机台(2)上设有用于放置晶圆(4)的作业区(21)，所述扫描单元(1)包括移动机构(11)及至少一个扫描仪(12)，所述移动机构(11)安装在机台(2)上，且至少一个所述扫描仪(12)沿一直线安装在移动机构(11)上，所述移动机构(11)用于带动扫描仪(12)移动，至少一个所述扫描仪(12)用于对位于作业区(21)的晶圆(4)的顶壁与底壁同时进行扫描，所述机台(2)位于作业区(21)处设有至少四个电控座(22)，每个所述电控座(22)上均安装有承接件(221)，所述承接件(221)用于与晶圆(4)的侧壁抵触，且位于与至少一个所述扫描仪(12)所在的直线平行的直线上的至少一个电控座(22)上的承接件(221)相互错开，并且在对晶圆(4)扫描时，位于至少一个所述扫描仪(12)所在直线上的承接件(221)与晶圆(4)分离。
2.据权利要求1所述的一种晶圆扫描装置，其特征在于：所述承接件(221)的垂直壁面设有圆弧壁(222)，并且所述圆弧壁(222)用于与该晶圆(4)的圆周壁接触。
3.据权利
4.据权利要求3所述的一种晶圆扫描装置，其特征在于：所述载件(251)上设有弧形壁(252)，所述弧形壁(252)用于承接晶圆(4)。
5.据权利要求1所述的一种晶圆扫描装置，其特征在于：所述扫描仪(12)包括上扫描仪组和下扫描仪组，所述上扫描仪组与下扫描仪组均安装在移动机构(11)上，且所述上扫描仪组位于电控座(22)的上方，且所述上扫描仪组用于对晶圆(4)的顶壁进行扫描，所述下扫描仪组位于电控座(22)的下方，且所述下扫描仪组用于对晶圆(4)的底壁进行扫描。
6.据权利要求1所述的一种晶圆扫描装置，其特征在于：所述机台(2)上安装有将晶圆(4)输送至电控座(22)处的送料机构(5)，送料机构(5)包括升降组件(51)，所述升降组件(51)包括升降电机(512)、升降丝杆(513)和升降架(514)，所述升降丝杆(513)沿竖直方向安装在机台(2)上，所述升降电机(512)也安装在机台(2)上，且所述升降电机(512)的输出轴与升降丝杆(513)的一端相连，所述升降架(514)螺纹安装在升降丝杆(513)上，且所述升降架(514)还与机台(2)滑动相连，且所述升降架(514)用于承载晶圆(4)。
7.据权利要求6所述的一种晶圆扫描装置，其特征在于：所述升降电机(512)的输出轴上同轴安装有驱动轮(515)，所述升降丝杆(513)的一端同轴安装有传动轮(516)，所述驱动轮(515)与传动轮(516)之间通过同步带(517)相连。
8.据权利要求6所述的一种晶圆扫描装置，其特征在于：所述送料机构(5)还包括吸附组件(52)，所述吸附组件(52)包括真空吸盘(521)，所述真空吸盘(521)安装在升降架(514)上，且所述真空吸盘(521)与外部气源相连，所述真空吸盘(521)用于吸附晶圆(4)。
9.据权利要求6所述的一种晶圆扫描装置，其特征在于：所述送料机构(5)还包括对中组件(53)，所述对中组件(53)包括对中件、复位件和驱动件，所述对中件包括对中环(531)和对中块(532)，所述机台(2)上位于升降组件(51)处还安装有定位环(533)，所述对中环(531)转动安装在定位环(533)的内圈上，且所述对中环(531)用于供升降架(514)穿过，且所述对中环(531)用于承托晶圆(4)，所述对中块(532)设有至少三个，且至少三个所述对中块(532)均安装在定位环(533)上，且至少三个所述对中块(532)沿圆周方向等角度分布，所述对中块(532)上安装有调整块(5322)，所述调整块(5322)用于抵触晶圆(4)的侧壁，所述对中块(532)上远离调整块(5322)的一侧还安装有调整杆(5321)，所述调整杆(5321)与定位环(533)滑动相连，且所述定位环(533)上安装有供调整杆(5321)滑动的驱动槽(5331)，所述驱动槽(5331)呈弧形，且所述驱动槽(5331)的一端向定位环(533)的圆心方向延伸，所述复位件安装在机台(2)上，且所述复位件与对中环(531)相连，所述驱动件安装在升降架(514)上，且所述驱动件与对中环(531)相连。
10.据权利要求9所述的一...
【技术特征摘要】
1.一种晶圆扫描装置，其特征在于：包括机台(2)和扫描单元(1)，所述机台(2)上设有用于放置晶圆(4)的作业区(21)，所述扫描单元(1)包括移动机构(11)及至少一个扫描仪(12)，所述移动机构(11)安装在机台(2)上，且至少一个所述扫描仪(12)沿一直线安装在移动机构(11)上，所述移动机构(11)用于带动扫描仪(12)移动，至少一个所述扫描仪(12)用于对位于作业区(21)的晶圆(4)的顶壁与底壁同时进行扫描，所述机台(2)位于作业区(21)处设有至少四个电控座(22)，每个所述电控座(22)上均安装有承接件(221)，所述承接件(221)用于与晶圆(4)的侧壁抵触，且位于与至少一个所述扫描仪(12)所在的直线平行的直线上的至少一个电控座(22)上的承接件(221)相互错开，并且在对晶圆(4)扫描时，位于至少一个所述扫描仪(12)所在直线上的承接件(221)与晶圆(4)分离。
2.据权利要求1所述的一种晶圆扫描装置，其特征在于：所述承接件(221)的垂直壁面设有圆弧壁(222)，并且所述圆弧壁(222)用于与该晶圆(4)的圆周壁接触。
3.据权利要求1所述的一种晶圆扫描装置，其特征在于：所述机台(2)上位于作业区(21)处还安装有至少两个动力座(25)，至少两个所述动力座(25)呈等角度分布在位于作业区(21)内的晶圆(4)的圆周方向上，且每个所述动力座(25)上均安装有载件(251)，所述载件(251)用于承接晶圆(4)。
4.据权利要求3所述的一种晶圆扫描装置，其特征在于：所述载件(251)上设有弧形壁(252)，所述弧形壁(252)用于承接晶圆(4)。
5.据权利要求1所述的一种晶圆扫描装置，其特征在于：所述扫描仪(12)包括上扫描仪组和下扫描仪组，所述上扫描仪组与下扫描仪组均安装在移动机构(11)上，且所述上扫描仪组位于电控座(22)的上方，且所述上扫描仪组用于对晶圆(4)的顶壁进行扫描，所述下扫描仪组位于电控座(22)的下方，且所述下扫描仪组用于对晶圆(4)的底壁进行扫描。
6.据权利要求1所述的一种晶圆扫描装置，其特征在于：所述机台(2)上安装有将晶圆(4)输送至电控座(22)处的送料机构(5)，送料机构(5)包括升降组件(51)，所述升降组件(51)包括升降电机(512)、升降丝杆(513)和升降架(514)，所述升降丝杆(513)沿竖直方向安装在机台(2)上，所述升降电机(512)也安装在机台(2)上，且所述升降电机(512)的输出轴与升降丝杆(513)的一端相连，所述升降架(514)螺纹安装在升降丝杆(513)上，且所述升降架(514)还与机台(2)滑动相连，且所述升降架(514)用于承载晶圆(4)。
<...【专利技术属性】
技术研发人员：林德礼，
申请(专利权)人：无锡艾方芯动自动化设备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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