【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种载置装置。
技术介绍
1、在专利文献1中公开了如下的光掩模基板等的搬运工具：将可动框转动自如地与能够伸缩的固定框连结，在固定框及可动框的端部设置基板支承构件，在可动框的与固定框的连结部附近设置手柄。通过使用两个该搬运工具并将固定框彼此连结，能够搬运大型的基板材料。
2、在先技术文献
3、专利文献
4、专利文献1：日本特开2001－168182号公报
技术实现思路
1、专利技术要解决的课题
2、专利文献1所记载的搬运工具用于将收容于壳体等的光掩模基板搬运至清洗支架等装置。由该搬运工具搬运的光掩模基板水平地载置于装置内的载置面。
3、然而，在通过手工作业将光掩模基板载置于载置面时，难以将光掩模基板的姿势维持为水平，有可能因光掩模基板碰撞载置面等而导致光掩模基板缺损或载置面的一部分变形。
4、本专利技术是鉴于这样的情况而完成的，其目的在于提供一种在载置板状的对象物时对象物等不易损伤的载置装置。
5、用于解决课题的手段
6、为了解决上述课题，本专利技术的载置装置例如是将板状的对象物水平地载置于设置有孔的保持构件的载置平面的载置装置，其特征在于，所述载置装置具备：基台，其以能够沿上下方向移动的方式设置于所述保持构件的铅垂方向下侧；第一移动部，其使所述基台沿上下方向移动；以及多个柱状部，它们设置于所述基台，所述柱状部从所述基台沿铅垂方向向上突出，在所述柱状部的前端设置有载置所述对象
7、根据本专利技术的载置装置，在前端设置有载置对象物的第一载置部的柱状部从基台沿铅垂方向向上突出，在基台位于上端时，第一载置部位于比载置平面靠上侧的位置。因此，作业者只要将对象物载置于第一载置部即可，无需直接载置于载置平面。因此，在载置板状的对象物时，对象物、载置平面不易损伤。
8、可以的是，所述载置装置具备多个第二移动部，所述第二移动部具有设置于所述基台的第一轨道和设置为能够沿着所述第一轨道移动的移动构件，通过在所述第二移动部分别设置所述柱状部，从而所述柱状部经由所述第二移动部设置于所述基台。由此，能够利用一个载置装置应对各种大小的对象物。
9、可以的是，所述载置装置具备驱动多个所述移动构件的驱动部，所述第二移动部具有设置于所述移动构件的带，所述驱动部同时以相同的量驱动多个所述带。由此，能够使柱状部同时移动相同的量。
10、可以的是，所述第一载置部具有高度不同的两个面、即作为所述柱状部的前端面的第一面和从所述第一面向下方降阶的第二面，所述第一面设置于所述第二面的外侧，所述第二面是载置所述对象物的面，以高度朝向内侧而变低的方式相对于水平方向倾斜1°～5°。由此，载置于第二面的对象物与第二面的接触面积成为最小限度，作为对象物的功能面的对象物膜面不易被污染。
11、可以的是，连结所述第一面和所述第二面的面以随着高度变高而向外侧倾斜的方式相对于铅垂方向倾斜1°～5°。由此，连结第一面和第二面的面与对象物的接触面积成为最小限度，对象物不易被污染。
12、可以的是，所述第一面在内侧的两端设置有缺口，在从铅垂方向上侧观察时，所述缺口与以连结多个所述柱状部的外侧的角的圆的中心点为中心的任意半径的曲面重叠。由此，不仅是矩形形状的对象物，还能够将圆形状的对象物载置于第二载置部。
13、可以的是，所述载置装置具备设置于所述基台的接近传感器，在所述保持构件的背面设置有标记，所述接近传感器检测所述保持构件，并且读取所述标记。由此，能够使基台的中心与载置平面的中心一致，或者在与所载置的对象物的大小对应的位置配置柱状部。
14、可以的是，所述载置装置具备：第二载置部，其在从铅垂方向上侧观察时，与所述基台相邻地设置；以及掩膜搬运部，其具有能够从下方保持所述对象物的臂和设置有所述臂的第二轨道，所述臂能够沿着所述第二轨道移动。由此，能够不经由作业者而将对象物载置于第一载置部，或者从第一载置部卸下对象物。
15、专利技术效果
16、根据本专利技术，在载置板状的对象物时，对象物等不易损伤。
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1.一种载置装置，其是将板状的对象物水平地载置于设置有孔的保持构件的载置平面的载置装置，其特征在于，
2.根据权利要求1所述的载置装置，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的载置装置，其特征在于，
4.根据权利要求1至3中任一项所述的载置装置，其特征在于，
5.根据权利要求4所述的载置装置，其特征在于，
6.根据权利要求4所述的载置装置，其特征在于，
7.根据权利要求1所述的载置装置，其特征在于，
8.根据权利要求1所述的载置装置，其特征在于，
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种载置装置，其是将板状的对象物水平地载置于设置有孔的保持构件的载置平面的载置装置，其特征在于，
2.根据权利要求1所述的载置装置，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的载置装置，其特征在于，
4.根据权利要求1至3中任一项所...
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