【技术实现步骤摘要】
本技术涉及多晶硅生产，尤其涉及一种多晶硅生产还原尾气冷凝回收系统。
技术介绍
1、多晶硅生产工艺其原理就是在1100℃左右的高纯硅芯上用高纯氢还原高纯三氯氢硅，生成多晶硅沉积在硅芯上，在生产过程中产生的大量h2、hci、sici4、sihcl3、sih2cl2等副产物以及大量副产热能，尾气回收车间大多采用干法回收的工艺，主要处理还原车间送来的副产物以及大量副产热能，包含三氯氢硅、二氯二氢硅、四氯化硅、氢气和氯化氢的混合高温气，经过深冷后，分离出的氢气经过提纯再次送至还原车间当原料使用，冷凝下来的物料送精馏车间再次分离提纯，送至还原车间当原料使用。
2、在上述过程中，还原尾气依次通过循环水换热器、气气换热器、冷冻盐水换热器进行降温冷却，从而达到尾气组分分离的目的。该方法需要大量的冷量才能将尾气中的可凝组分与非可凝组分分离开来，能耗较高，冷量不能得到充分利用。
技术实现思路
1、有鉴于此，本技术提供一种多晶硅生产还原尾气冷凝回收系统，主要目的是提高多晶硅尾气回收利用过程中的冷量利用效率。
2、为达到上述目的，本技术主要提供如下技术方案：
3、本技术提供了一种多晶硅生产还原尾气冷凝回收系统，该系统包括：预处理部和后处理部；
4、所述预处理部包括依次连接的物料换热器、循环水换热器和淋洗塔；
5、所述后处理部包括氢气换热器、氯硅烷换热器、乙二醇换热器和收集罐，所述淋洗塔的排气口、所述氢气换热器的第一空间、所述氯硅烷换热器的第一空间、
6、其中，所述收集罐的下端、氯硅烷换热器的第二空间和所述淋洗塔的喷淋管依次连通，所述收集罐的上端、所述氢气换热器的第二空间和氢气压缩机依次连接。
7、本技术的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。
8、可选的，所述后处理部还包括冷凝器，所述乙二醇换热器下端的排液口通过第一u型管连接于所述收集罐，所述乙二醇换热器的下端侧、所述冷凝器和所述收集罐依次连接。
9、可选的，所述氯硅烷换热器的第一空间下端的排液口通过第二u型管连接于所述收集罐，所述氯硅烷换热器的第一空间的下端侧连接于所述乙二醇换热器的进口。
10、可选的，还包括空冷器，所述淋洗塔的排气口、所述空冷器、所述氢气换热器的第一空间的进口依次连接。
11、可选的，所述物料换热器下端的排液口通过第三u型管连接于所述淋洗塔的进口。
12、可选的，所述循环水换热器下端的排液口通过第四u型管连接于所述淋洗塔的进口。
13、借由上述技术方案，本技术至少具有下列优点：
14、从还原炉出来的高温含氯硅烷、氯化氢和氢气的混合尾气(150℃)依次进入物料换热器、循环水换热器换热，冷却到30至35℃，然后进入淋洗塔，经淋洗塔的排气口排出，并依次流过氢气换热器的第一空间、氯硅烷换热器的第一空间、乙二醇换热器和收集罐，使收集罐内的物料温度降低至-30～-40℃；
15、收集罐中的凝液自收集罐的下端泵送至氯硅烷换热器的第二空间，降低氯硅烷换热器的第一空间内的物料温度，再到达淋洗塔的喷淋管，作为喷淋液进行喷淋；
16、收集罐中的低温氢气先进入氢气换热器的第二空间，降低氢气换热器的第一空间内物料温度后，低温氢气的温度升高至8℃，再进入氢气压缩机进一步提纯。
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1.一种多晶硅生产还原尾气冷凝回收系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的多晶硅生产还原尾气冷凝回收系统，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的多晶硅生产还原尾气冷凝回收系统，其特征在于，
4.根据权利要求1所述的多晶硅生产还原尾气冷凝回收系统，其特征在于，
5.根据权利要求1至4任一项所述的多晶硅生产还原尾气冷凝回收系统，其特征在于，
6.根据权利要求1至4任一项所述的多晶硅生产还原尾气冷凝回收系统，其特征在于，
【技术特征摘要】
1.一种多晶硅生产还原尾气冷凝回收系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的多晶硅生产还原尾气冷凝回收系统，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的多晶硅生产还原尾气冷凝回收系统，其特征在于，
4.根据...
【专利技术属性】
技术研发人员：张新，王银霞，
申请(专利权)人：新疆大全新能源股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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