【技术实现步骤摘要】
本技术涉及碳化硅外延设备，特别涉及一种水平气流sic外延设备石英钟罩内壁清洁工具。
技术介绍
1、水平气流式sic外延设备石英钟罩作为反应腔室，其洁净度对于生长有较大影响。鉴于该石英管是装配于机台端固定，且有一定的密封要求，现有的清洁技术主要靠人工手持吸尘器将内壁吸尘后用无尘布进行擦拭清洁，或者用简单的手持式清洁刷去进行清洁。人工清洁手持布清洁的清洁效果较差，不能保证石英钟罩内壁每个部位都均匀清洁到位，尤其中间位置因长度较长，两端往中间进行清洁时可能会存在遗漏点，而且清洁效率较低，不适用于大批量清洁作业。目前的清洁工具比较简陋、功能相对比较单一，还是需要多套工具组合才能完成。
技术实现思路
1、为了克服现有技术中存在的缺点和不足，本技术的目的在于提供一种水平气流sic外延设备石英钟罩内壁清洁工具。
2、本技术的目的通过下述技术方案实现：一种水平气流sic外延设备石英钟罩内壁清洁工具，包括手持杆和清洗头，所述手持杆的一端与所述清洗头连接，所述清洗头的外侧面设有中间环形凹槽和两个侧环形凹槽，所述中间环形凹槽位于两个所述侧环形凹槽之间，所述中间环形凹槽内间隔设有多个真空吸气孔，两个所述侧环形凹槽内均间隔设有多个氩气吹气孔，所述手持杆的轴向为中空结构，所述中空结构内设有真空管道和氩气管道。中间真空吸尘的中间环形凹槽中均匀分布12个小孔，尺寸较大，用于吸除石英钟罩内壁的颗粒。两侧氩气吹扫的侧环形凹槽中各均匀分布12个小孔，尺寸较小，用于吹气将擦拭过的内部进行再次吹氩气除尘和干燥内
3、作为本技术水平气流sic外延设备石英钟罩内壁清洁工具的一种改进，所述清洗头的内部设有横向支撑杆和纵向支撑杆，所述纵向支撑杆内设有真空吸气孔连接管道，所述横向支撑杆内设有氩气吹气孔连接管道，所述真空管道与所述真空吸气孔连接管道连通，所述氩气管道与所述氩气吹气孔连接管道连通。
4、作为本技术水平气流sic外延设备石英钟罩内壁清洁工具的一种改进，所述真空管道的一端从所述手持杆的端部伸出、并设置有真空吸管接头，所述氩气管道的一端从所述手持杆的端部伸出、并设置有氩气管接头。氩气管接头连接氩气气源，真空吸管接头连接真空设备。
5、作为本技术水平气流sic外延设备石英钟罩内壁清洁工具的一种改进，所述手持杆的一端为外螺纹连接端，所述清洗头的一端中部设有内螺纹孔，所述外螺纹连接端与所述内螺纹孔螺接。
6、作为本技术水平气流sic外延设备石英钟罩内壁清洁工具的一种改进，所述手持杆的一端设有卡块，所述清洗头的一端中部设有卡孔，所述手持杆与所述清洗头卡接。手持杆和清洗头的方式可以替换成卡接的方式，卡块能够卡入卡孔内固定。方便手持杆和清洗头的连接。
7、作为本技术水平气流sic外延设备石英钟罩内壁清洁工具的一种改进，所述中间环形凹槽的宽度比所述侧环形凹槽的宽度大。中间环形凹槽均匀分布12个小孔，尺寸较大，用于吸除石英钟罩内壁的颗粒。两个侧环形凹槽中各均匀分布12个小孔，尺寸较小，用于吹气将擦拭过的内部进行再次吹氩气除尘和干燥内壁。
8、本技术的有益效果在于：本技术能够对圆筒形石英钟罩的内壁进行擦拭、吸尘、气吹三个清洁功能合到一起，清洁覆盖面更全：与圆筒形石英钟罩的内壁具有更好的贴合性，能保证石英钟罩的清洁效果符合炉膛反应需求。
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1.一种水平气流SiC外延设备石英钟罩内壁清洁工具，包括手持杆和清洗头，所述手持杆的一端与所述清洗头连接，其特征在于，所述清洗头的外侧面设有中间环形凹槽和两个侧环形凹槽，所述中间环形凹槽位于两个所述侧环形凹槽之间，所述中间环形凹槽内间隔设有多个真空吸气孔，两个所述侧环形凹槽内均间隔设有多个氩气吹气孔，所述手持杆的轴向为中空结构，所述中空结构内设有真空管道和氩气管道。
2.根据权利要求1所述的水平气流SiC外延设备石英钟罩内壁清洁工具，其特征在于，所述清洗头的内部设有横向支撑杆和纵向支撑杆，所述纵向支撑杆内设有真空吸气孔连接管道，所述横向支撑杆内设有氩气吹气孔连接管道，所述真空管道与所述真空吸气孔连接管道连通，所述氩气管道与所述氩气吹气孔连接管道连通。
3.根据权利要求2所述的水平气流SiC外延设备石英钟罩内壁清洁工具，其特征在于，所述真空管道的一端从所述手持杆的端部伸出、并设置有真空吸管接头，所述氩气管道的一端从所述手持杆的端部伸出、并设置有氩气管接头。
4.根据权利要求1所述的水平气流SiC外延设备石英钟罩内壁清洁工具，其特征在于，所述手持杆
5.根据权利要求1所述的水平气流SiC外延设备石英钟罩内壁清洁工具，其特征在于，所述手持杆的一端设有卡块，所述清洗头的一端中部设有卡孔，所述手持杆与所述清洗头卡接。
6.根据权利要求1所述的水平气流SiC外延设备石英钟罩内壁清洁工具，其特征在于，所述中间环形凹槽的宽度比所述侧环形凹槽的宽度大。
...【技术特征摘要】
1.一种水平气流sic外延设备石英钟罩内壁清洁工具，包括手持杆和清洗头，所述手持杆的一端与所述清洗头连接，其特征在于，所述清洗头的外侧面设有中间环形凹槽和两个侧环形凹槽，所述中间环形凹槽位于两个所述侧环形凹槽之间，所述中间环形凹槽内间隔设有多个真空吸气孔，两个所述侧环形凹槽内均间隔设有多个氩气吹气孔，所述手持杆的轴向为中空结构，所述中空结构内设有真空管道和氩气管道。
2.根据权利要求1所述的水平气流sic外延设备石英钟罩内壁清洁工具，其特征在于，所述清洗头的内部设有横向支撑杆和纵向支撑杆，所述纵向支撑杆内设有真空吸气孔连接管道，所述横向支撑杆内设有氩气吹气孔连接管道，所述真空管道与所述真空吸气孔连接管道连通，所述氩气管道与所述氩气吹气孔连接管道连通。
3.根据权利要求2所...
【专利技术属性】
技术研发人员：鲍勇年，李迅，李锡光，
申请(专利权)人：广东天域半导体股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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