【技术实现步骤摘要】
本技术涉及化学气相沉积金刚石，特别是指一种精准调谐的mpcvd装置。
技术介绍
1、金刚石具有极高的硬度、良好的化学稳定性、高热传导率、较高的透光率，大量应用于精密加工、刀具、散热器、红外光学器件窗口等。金刚石是超宽禁带半导体，禁带宽度为5.5 ev，具有高电子迁移率高、高电子饱和速度、高击穿场强等优点，是制造半导体器件的理想选择。
2、化学气相沉积（cvd）技术可以沉积单晶和多晶金刚石，常见有直流电弧等离子体喷射法（dc arc plasma jet），热丝化学气相沉积法（hfcvd），微波等离子体化学气相沉积法（mpcvd），其中mpcvd具有无污染且沉积时等离子体密度高等优点，可用于沉积制备高质量、大尺寸的金刚石。
3、现有的mpcvd装置主要通过同轴天线、沉积台等部件的移动实现调谐，存在调谐幅度过大，调谐过程中不能精准控制等离子体电子密度的缺点，影响金刚石膜的表面质量。
技术实现思路
1、本技术提供一种精准调谐的mpcvd装置，以解决传统调谐装置受螺纹或电机精度影响，灵敏度过高，调谐幅度过大，调谐过程中不能精准控制等离子体电子密度，从而影响金刚石膜的表面质量的技术问题。
2、为解决上述技术问题，本技术提供如下技术方案：
3、一种精准调谐的mpcvd装置，包括微波传输装置，所述微波传输装置的底部设置有腔室，所述腔室的底部开设有排气口，所述腔室的内部设置有石英罩；所述微波传输装置中贯穿设置有同轴天线，所述同轴天线的底部位于所述腔室
4、可选地，所述顶部传动机构包括顶部旋钮，所述顶部旋钮的底部设置有顶部旋钮齿轮，所述顶部旋钮齿轮与顶部双排齿轮中的第一齿轮相啮合，所述顶部双排齿轮中的第二齿轮与顶部中间轮相啮合，所述顶部中间轮与顶部同轴齿轮相啮合，所述顶部同轴齿轮设置在顶部丝杠的一端，以带动所述顶部丝杠旋转，所述同轴天线的顶部设置有顶部滑块，所述顶部滑块套设在所述顶部丝杠的外侧，并与所述顶部丝杠通过螺纹连接。
5、可选地，所述底部传动机构包括底部旋钮，所述底部旋钮的底部设置有底部旋钮齿轮，所述底部旋钮齿轮与底部双排齿轮中的第一齿轮相啮合，所述底部双排齿轮中的第二齿轮与底部中间轮相啮合，所述底部中间轮的周侧啮合有多个底部同轴齿轮，所述底部同轴齿轮设置在底部丝杠的一端，以带动所述底部丝杠旋转，所述底部天线的底部设置有底部滑块，所述底部滑块套设在所述底部丝杠的外侧，并与所述底部丝杠通过螺纹连接。
6、可选地，所述顶部双排齿轮中的第一齿轮的尺寸大于所述顶部双排齿轮中的第二齿轮的尺寸。
7、可选地，所述底部双排齿轮中的第一齿轮的尺寸大于所述底部双排齿轮中的第二齿轮的尺寸。
8、可选地，所述顶部传动机构设置在所述微波传输装置的顶部，所述底部传动机构设置在所述腔室的底部。
9、可选地，所述底部天线呈环状均布，且数量为大于2的偶数。
10、可选地，所述石英罩呈倒扣的杯状结构，所述石英罩的底部边缘处与所述腔室之间设置有密封圈。
11、本技术的上述技术方案的有益效果如下：
12、上述方案中，所述mpcvd装置结构简单、设计科学合理、使用方便，通过设置顶部传动机构和底部传动机构，可使同轴天线和底部天线进行精准进给，实现了精准调谐，提高了设备的精密性，因此，能够提高金刚石沉积效率和表面质量。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种精准调谐的MPCVD装置，包括微波传输装置，其特征在于，所述微波传输装置的底部设置有腔室，所述腔室的底部开设有排气口，所述腔室的内部设置有石英罩；
2.根据权利要求1所述的精准调谐的MPCVD装置，其特征在于，所述顶部传动机构包括顶部旋钮，所述顶部旋钮的底部设置有顶部旋钮齿轮，所述顶部旋钮齿轮与顶部双排齿轮中的第一齿轮相啮合，所述顶部双排齿轮中的第二齿轮与顶部中间轮相啮合，所述顶部中间轮与顶部同轴齿轮相啮合，所述顶部同轴齿轮设置在顶部丝杠的一端，以带动所述顶部丝杠旋转，所述同轴天线的顶部设置有顶部滑块，所述顶部滑块套设在所述顶部丝杠的外侧，并与所述顶部丝杠通过螺纹连接。
3.根据权利要求1所述的精准调谐的MPCVD装置，其特征在于，所述底部传动机构包括底部旋钮，所述底部旋钮的底部设置有底部旋钮齿轮，所述底部旋钮齿轮与底部双排齿轮中的第一齿轮相啮合，所述底部双排齿轮中的第二齿轮与底部中间轮相啮合，所述底部中间轮的周侧啮合有多个底部同轴齿轮，所述底部同轴齿轮设置在底部丝杠的一端，以带动所述底部丝杠旋转，所述底部天线的底部设置有底部滑块，所述底部滑块套设
4.根据权利要求2所述的精准调谐的MPCVD装置，其特征在于，所述顶部双排齿轮中的第一齿轮的尺寸大于所述顶部双排齿轮中的第二齿轮的尺寸。
5.根据权利要求3所述的精准调谐的MPCVD装置，其特征在于，所述底部双排齿轮中的第一齿轮的尺寸大于所述底部双排齿轮中的第二齿轮的尺寸。
6.根据权利要求1所述的精准调谐的MPCVD装置，其特征在于，所述顶部传动机构设置在所述微波传输装置的顶部，所述底部传动机构设置在所述腔室的底部。
7.根据权利要求1所述的精准调谐的MPCVD装置，其特征在于，所述底部天线呈环状均布，且数量为大于2的偶数。
8.根据权利要求1所述的精准调谐的MPCVD装置，其特征在于，所述石英罩呈倒扣的杯状结构，所述石英罩的底部边缘处与所述腔室之间设置有密封圈。
...【技术特征摘要】
1.一种精准调谐的mpcvd装置，包括微波传输装置，其特征在于，所述微波传输装置的底部设置有腔室，所述腔室的底部开设有排气口，所述腔室的内部设置有石英罩；
2.根据权利要求1所述的精准调谐的mpcvd装置，其特征在于，所述顶部传动机构包括顶部旋钮，所述顶部旋钮的底部设置有顶部旋钮齿轮，所述顶部旋钮齿轮与顶部双排齿轮中的第一齿轮相啮合，所述顶部双排齿轮中的第二齿轮与顶部中间轮相啮合，所述顶部中间轮与顶部同轴齿轮相啮合，所述顶部同轴齿轮设置在顶部丝杠的一端，以带动所述顶部丝杠旋转，所述同轴天线的顶部设置有顶部滑块，所述顶部滑块套设在所述顶部丝杠的外侧，并与所述顶部丝杠通过螺纹连接。
3.根据权利要求1所述的精准调谐的mpcvd装置，其特征在于，所述底部传动机构包括底部旋钮，所述底部旋钮的底部设置有底部旋钮齿轮，所述底部旋钮齿轮与底部双排齿轮中的第一齿轮相啮合，所述底部双排齿轮中的第二齿轮与底部中间轮相啮合，所述底部中间轮的周侧啮合有多个底部同轴齿轮，所述底部同...
【专利技术属性】
技术研发人员：安康，许光宇，张永康，张亚琛，刘峰斌，豆照良，李鸿，李利军，吴海平，
申请(专利权)人：北方工业大学，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。