【技术实现步骤摘要】
本技术涉及真空镀膜，具体为一种针对于卷绕镀膜的清洗结构。
技术介绍
1、真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件(金属、半导体或绝缘体)表面而形成薄膜的一种方法。利用物理或化学方法，并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术，为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺。
2、在真空镀膜的过程中，需将待镀膜卷材表面的浮尘清除。
3、目前真空镀膜清洗技术以轰击工件为主，电极产生等离子体轰击高压、中频、射频等，清洗待镀膜卷材表面，但是当前的清洗方式在清洗时能量不好控制，会产生的大量的热，不仅影响卷材的外观(热变形)，还使得能量利用率降低，对卷材表面的清洗效果不佳，仍有浮尘残留，降低了膜的附着力，因此我们需要提出一种针对于卷绕镀膜的清洗结构。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种针对于卷绕镀膜的清洗结构，通过射频旋转阴极的设计，在放膜过程中清洗膜表面，无需在镀膜传送辊上进行膜清洗，可增加装靶数量，且射频旋转阴极为旋转式磁控靶，内设闭合磁场，可有效清洗膜表面，大量减少浮尘附着，进而提高了膜的附着力，且便于控制能量，不会在镀膜时产生大量的热量，不影响膜的外观，使得能量利用率提高，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种针对于卷绕镀膜的清洗结构，包括安装板、转动安装在安装板上的放膜机构、镀膜传送辊和收膜机构，放膜机构、镀膜传送辊和收膜机构之间通过待镀膜卷材传动
3、优选的，所述收膜机构位于放膜机构的上端，所述收膜机构包括转动设置的收膜筒和两个涨紧导向轴二。
4、优选的，所述磁芯通过第一端板限位在固定轴的内部，所述第一端板的一端连接有限位柱，所述固定轴的一端侧壁开设有限位槽，所述限位柱滑动插接在限位槽的内部。
5、优选的，所述磁芯的一端抵触在第一端板的侧部，所述磁芯的侧边连接有滑块，所述固定轴的内壁开设有滑槽，所述滑块滑动安装在滑槽的内部。
6、优选的，所述射频旋转阴极的一端螺纹连接有第二端板，所述射频旋转阴极的一端安装有螺纹环，所述第二端板的一端连接有螺纹套筒，所述螺纹环螺纹连接在螺纹套筒的内部。
7、优选的，所述第二端板的一端连接有抵触在第一端板上的限位组件，所述限位组件包括弹性伸缩杆，所述弹性伸缩杆的一端转动连接有抵触板。
8、优选的，所述中频旋转靶和柱弧靶均设置有多个，且所述中频旋转靶和柱弧靶交错设置。
9、与现有技术相比，本技术的有益效果是：
10、本技术通过射频旋转阴极的设计，在放膜过程中清洗膜表面，无需在镀膜传送辊上进行膜清洗，可增加装靶数量，且射频旋转阴极为旋转式磁控靶，内设闭合磁场，可有效清洗膜表面，大量减少浮尘附着，进而提高了膜的附着力，且便于控制能量，不会在镀膜时产生大量的热量，不影响膜的外观，使得能量利用率提高。
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1.一种针对于卷绕镀膜的清洗结构，包括安装板(1)、转动安装在安装板(1)上的放膜机构(3)、镀膜传送辊(2)和收膜机构(4)，放膜机构(3)、镀膜传送辊(2)和收膜机构(4)之间通过待镀膜卷材传动连接，其特征在于：所述放膜机构(3)包括放膜筒(31)、涨紧导向轴一(33)和两个射频旋转阴极(32)，所述涨紧导向轴一(33)位于两个射频旋转阴极(32)之间，所述安装板(1)上连接有空心的固定轴(7)，所述射频旋转阴极(32)转动安装在固定轴(7)上，所述固定轴(7)的内部安装有可产生闭合磁场的磁芯(8)，所述射频旋转阴极(32)的侧壁上开设有存储冷却水的冷却腔(9)，所述安装板(1)上还安装有中频旋转靶(5)和柱弧靶(6)。
2.根据权利要求1所述的一种针对于卷绕镀膜的清洗结构，其特征在于：所述收膜机构(4)位于放膜机构(3)的上端，所述收膜机构(4)包括转动设置的收膜筒(41)和两个涨紧导向轴二(42)。
3.根据权利要求1所述的一种针对于卷绕镀膜的清洗结构，其特征在于：所述磁芯(8)通过第一端板(73)限位在固定轴(7)的内部，所述第一端板(73)的一
4.根据权利要求3所述的一种针对于卷绕镀膜的清洗结构，其特征在于：所述磁芯(8)的一端抵触在第一端板(73)的侧部，所述磁芯(8)的侧边连接有滑块(81)，所述固定轴(7)的内壁开设有滑槽(72)，所述滑块(81)滑动安装在滑槽(72)的内部。
5.根据权利要求4所述的一种针对于卷绕镀膜的清洗结构，其特征在于：所述射频旋转阴极(32)的一端螺纹连接有第二端板(11)，所述射频旋转阴极(32)的一端安装有螺纹环(10)，所述第二端板(11)的一端连接有螺纹套筒(12)，所述螺纹环(10)螺纹连接在螺纹套筒(12)的内部。
6.根据权利要求5所述的一种针对于卷绕镀膜的清洗结构，其特征在于：所述第二端板(11)的一端连接有抵触在第一端板(73)上的限位组件(13)，所述限位组件(13)包括弹性伸缩杆，所述弹性伸缩杆的一端转动连接有抵触板。
7.根据权利要求1所述的一种针对于卷绕镀膜的清洗结构，其特征在于：所述中频旋转靶(5)和柱弧靶(6)均设置有多个，且所述中频旋转靶(5)和柱弧靶(6)交错设置。
...【技术特征摘要】
1.一种针对于卷绕镀膜的清洗结构，包括安装板(1)、转动安装在安装板(1)上的放膜机构(3)、镀膜传送辊(2)和收膜机构(4)，放膜机构(3)、镀膜传送辊(2)和收膜机构(4)之间通过待镀膜卷材传动连接，其特征在于：所述放膜机构(3)包括放膜筒(31)、涨紧导向轴一(33)和两个射频旋转阴极(32)，所述涨紧导向轴一(33)位于两个射频旋转阴极(32)之间，所述安装板(1)上连接有空心的固定轴(7)，所述射频旋转阴极(32)转动安装在固定轴(7)上，所述固定轴(7)的内部安装有可产生闭合磁场的磁芯(8)，所述射频旋转阴极(32)的侧壁上开设有存储冷却水的冷却腔(9)，所述安装板(1)上还安装有中频旋转靶(5)和柱弧靶(6)。
2.根据权利要求1所述的一种针对于卷绕镀膜的清洗结构，其特征在于：所述收膜机构(4)位于放膜机构(3)的上端，所述收膜机构(4)包括转动设置的收膜筒(41)和两个涨紧导向轴二(42)。
3.根据权利要求1所述的一种针对于卷绕镀膜的清洗结构，其特征在于：所述磁芯(8)通过第一端板(73)限位在固定轴(7)的内部，所述第一端板(73)的一端连接有限位柱(74)，所述固定轴(7)的...
【专利技术属性】
技术研发人员：郑锋，
申请(专利权)人：深圳市三束科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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