【技术实现步骤摘要】
本申请涉及信号生成领域，具体而言，涉及一种目标控制信号生成方法、装置及计算机可读存储介质。
技术介绍
1、mocvd设备，mocvd设备反应腔在工艺准备的升温过程中，目标温度设定值与常温腔体状态下的反馈温度之间的温差较大，一般在600-1200℃左右。如果在升温阶段，直接将设定信号输入到pid控制器，由于温差过大，会引起较大增量的功率输出和波动，造成温度超调、控制误差大等问题。
2、解决这个问题的常用方法是：用一个线性信号发生器（lsg，linear signalgenerator），以固定步长的增量去逐渐逼近目标温度设定值，使升温阶段的pid的误差输入信号保持在一个较小的范围内，即与恒温生长阶段的误差信号保持在一个量级之内。但是，这种线性信号发生器本质上是一个多线段的非线性函数，在启动和停止点均会出现导数突变的现象，导致响应曲线在这两点产生较大的滞后和超调现象。
技术实现思路
1、有鉴于此，本申请实施例的目的在于提供一种目标控制信号生成方法、装置及计算机可读存储介质，避免响应曲线在启停点产生较大的滞后和超调现象，优化输出的控制信号的性能。
2、第一方面，本申请实施例提供了一种目标控制信号生成方法，包括：根据平滑过渡比确定参考直线，并基于所述参考直线，确定第一切点的第一坐标；其中，所述第一切点为圆弧与原始线性信号响应曲线的第一线段的切点，所述圆弧设置在所述原始线性信号响应曲线的启停点处，所述参考直线为过第一切点的直线；根据所述第一坐标和所述第一线段的斜率，确
3、在上述实现过程中，通过将原始线性信号响应曲线的相邻两个线段之间的部分直线段通过圆弧代替，可以使得该圆弧信号响应曲线在相邻两个线段之间产生一种连续平滑的控制信号，避免响应曲线在启停点产生较大的滞后和超调现象，进而优化该圆弧信号响应曲线输出的控制信号的性能。
4、在一个实施例中，所述根据所述参考圆与所述原始线性信号响应曲线，生成圆弧信号响应曲线，包括：通过所述第一切点和所述第二切点之间的圆弧代替所述原始线性信号响应曲线中所述第一切点和所述第二切点之间线段，形成所述圆弧信号响应曲线；其中，所述圆弧信号响应曲线中相邻两条线段通过所述圆弧过渡。
5、在上述实现过程中，通过第一切点和第二切点之间的圆弧代替原始线性信号响应曲线中第一切点和第二切点之间线段，可以使得相邻两条线段通过圆弧过渡，可以消除线性信号响应曲线中输出的不可导点，使得该圆弧信号响应曲线输出的信号连续可导，实现对目标信号的平稳响应。
6、在一个实施例中，所述根据所述参考圆与所述原始线性信号响应曲线，生成圆弧信号响应曲线之后，所述方法还包括：确定所述圆弧信号响应曲线的起点与所述圆弧信号响应曲线所在坐标系的坐标原点之间的坐标差；根据所述坐标差，平移所述圆弧信号响应曲线；其中，平移后的所述圆弧信号响应曲线的起点与所述坐标系的原点重合。
7、在上述实现过程中，在确定出圆弧信号响应曲线后，若圆弧信号响应曲线存在位于坐标原点之前的坐标点，则对该圆弧信号响应曲线进行平移处理，使得圆弧信号响应曲线中的所有坐标点均位于坐标原点之后，进而可以使得该圆弧信号响应曲线生成的目标控制信号均分布在正时域内，提高圆弧信号响应曲线的目标控制信号输出能力。
8、在一个实施例中，所述根据所述坐标差，平移所述圆弧信号响应曲线之后，所述方法还包括：确定所述原始线性信号响应曲线的第一信号生成周期；确定平移后的圆弧信号响应曲线的第二信号生成周期；计算所述第一信号生成周期与所述第二信号生成周期的周期比例；根据周期函数和所述周期比例，对所述圆弧信号响应曲线进行变换。
9、在上述实现过程中，在圆弧信号响应曲线平移后，通过对平移后的圆弧信号响应曲线进行压缩，可以使得圆弧信号响应曲线与原始线性信号响应曲线的响应时间一致，可以使得圆弧信号响应曲线严格满足信号发生器响应时间的要求，提高圆弧信号响应曲线的响应能力和效率。
10、在一个实施例中，所述根据周期函数和所述周期比例，对所述圆弧信号响应曲线进行变换之后，所述方法还包括：确定变换后的圆弧信号响应曲线的第一斜率；根据所述第一斜率与所述原始线性信号响应曲线的斜率，更新所述平滑过渡比；通过根据后的平滑过渡比更新所述圆弧信号响应曲线，直到所述圆弧信号响应曲线输出的信号满足设定要求。
11、在上述实现过程中，通过根据圆弧信号响应曲线的第一斜率和原始线性信号响应曲线的斜率，更新平滑过渡比，并通过平滑过渡比再进一步更新圆弧信号响应曲线，缩小第一斜率与原始线性信号响应曲线的斜率之间的差距，使得圆弧信号响应曲线输出的信号的失真的允许范围内，提高圆弧信号响应曲线输出的信号的准确性。
12、在一个实施例中，其中，所述原始线性信号响应曲线包括第一启停点和第二启停点，所述圆弧包括第一圆弧和第二圆弧，所述参考直线包括：第一参考直线和第二参考直线；所述方法还包括：根据所述平滑过渡比，确定所述第一参考直线和所述第二参考直线，并基于所述第一参考直线，确定所述第一圆弧的第一切点的第一坐标，以及基于所述第二参考直线，确定所述第二圆弧的第三切点的第三坐标；其中，所述第一切点为所述第一圆弧与原始线性信号响应曲线的第一线段的切点，所述第一圆弧设置在所述第一启停点处，所述第一参考直线为过第一切点的直线；所述第三切点为所述第二圆弧与所述第一线段的切点，所述第二圆弧设置在所述第二启停点处，所述第二参考直线为过第三切点的直线；根据所述第一坐标和所述第一线段的斜率，确定第二切点的第二坐标，以及根据所述第三坐标和所述第一线段的斜率，确定第四切点的第四坐标；其中，所述第二切点为所述第一圆弧与所述原始线性信号响应曲线的第二线段的切点，所述第四切点为所述第二圆弧与所述原始线性信号响应曲线的第三线段的切点；所述第一线段的两端分别连接所述第二线段和所述第三线段；根据所述第一切点和所述第二切点，确定所述第一圆弧所在的第一参考圆的圆心和半径，以及根据所述第三切点和所述第四切点，确定所述第二圆弧所在的第二参考圆的圆心和半径；其中，所述第一参考圆和所述第二参考圆的半径相同；根据所述第一参考圆、所述第二参考圆与所述原始线性信号响应曲线生成所述圆弧信号响应曲线。
13、在上述实现过程中，当该圆弧信号响应曲线中包括多个圆弧时，设置多个圆弧之间的半径相同，可以降低圆弧的计算难度，提高圆弧信号响应曲线的生成效率。
14、在一个实施例中，其中，所述原始线性信号响应曲线包括第一启停点和第二启停点，所述圆弧包括第一圆弧和第二圆弧，所述参考直线包括：第一参考直线和第二本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种目标控制信号生成方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述参考圆与所述原始线性信号响应曲线，生成圆弧信号响应曲线，包括：
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述参考圆与所述原始线性信号响应曲线，生成圆弧信号响应曲线之后，所述方法还包括：
4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述根据所述坐标差，平移所述圆弧信号响应曲线之后，所述方法还包括：
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述根据周期函数和所述周期比例，对所述圆弧信号响应曲线进行变换之后，所述方法还包括：
6.根据权利要求1-5任意一项所述的方法，其特征在于，其中，所述原始线性信号响应曲线包括第一启停点和第二启停点，所述圆弧包括第一圆弧和第二圆弧，所述参考直线包括：第一参考直线和第二参考直线；
7.根据权利要求1-5任意一项所述的方法，其特征在于，其中，所述原始线性信号响应曲线包括第一启停点和第二启停点，所述圆弧包括第一圆弧和第二圆弧，所述参考直线包括：第一参考直线和第二参考直线，所
8.根据权利要求1-5任意一项所述的方法，其特征在于，应用于MOCVD设备，所述目标控制信号为目标温度控制信号；
9.一种目标控制信号生成装置，其特征在于，包括：
10.一种计算机可读存储介质，其特征在于，该计算机可读存储介质上存储有计算机程序，该计算机程序被处理器运行时执行如权利要求1至8任一所述的方法的步骤。
...【技术特征摘要】
1.一种目标控制信号生成方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述参考圆与所述原始线性信号响应曲线，生成圆弧信号响应曲线，包括：
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述参考圆与所述原始线性信号响应曲线，生成圆弧信号响应曲线之后，所述方法还包括：
4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述根据所述坐标差，平移所述圆弧信号响应曲线之后，所述方法还包括：
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述根据周期函数和所述周期比例，对所述圆弧信号响应曲线进行变换之后，所述方法还包括：
6.根据权利要求1-5任意一项所述的方法，其特征在于，其中，所述原始线性信号响应曲线包括第一启停点和...
【专利技术属性】
技术研发人员：王瑞毅，
申请(专利权)人：中晟半导体上海有限公司，
类型：发明
国别省市：
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