一种用于真空蒸镀的蒸发机构制造技术

技术编号:43815541 阅读:8 留言:0更新日期:2024-12-27 13:29
本技术公开了一种用于真空蒸镀的蒸发机构,包括,蒸发部件,蒸发部件包括蒸发机架,蒸发机架顶部设有蒸发槽,正极座和负极座间隔固定于蒸发槽内,一个正极座与负极座之间架设有一个蒸发舟,正极座和蒸发舟为多个;送料部件,送料部件包括送丝机架和固定于送丝机架上的多个送丝基座、料盘,送丝基座上设有送丝机和导向管;送丝机架设置于蒸发槽的一侧;料盘、送丝机、导向管和蒸发舟对应设置,料盘用于缠绕丝状待蒸镀膜料,待蒸镀膜料丝穿入导向管内后送丝机将丝状待蒸镀膜料送入蒸发舟内。本申请防止膜料掉落可能引发的电极与蒸发槽短路的现象,且蒸发舟的维修和更换方便快捷,保证蒸发镀膜的质量和效率。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及导电薄膜生产,尤其涉及一种用于真空蒸镀的蒸发机构


技术介绍

1、导电薄膜是一种表面镀有金属的一种高分子材料,广泛运用于锂离子电池中,在锂离子电池中主要作为电池集流体使用,它的等效载流子的自由程小,因此与同样材料的块体相比,薄膜的电导率较小,是一种优良的锂电池制造材料。现有的导电薄膜生产方法使用最多的为真空蒸镀工艺,真空蒸镀是指在真空条件下,待蒸镀材料受热熔融蒸发,待蒸镀材料以原子或者原子团的形式层积在薄膜上,从而制造得到产品。

2、在真空蒸镀设备内,在蒸发槽内设置电极,并在电极上设置蒸发舟,通过电极对蒸发舟通电,然后对蒸发舟上的蒸镀材料进行加热,使其到达熔融状态进行蒸发镀膜,工作电流大、温度高。现有的设备中,一方面蒸发槽和电极的连接机构发热严重,容易导致电极烧损使用寿命短,从而影响镀膜的效率和质量的问题,且该连接机构不易拆装不方便蒸发舟的维修和更换;另一方面,在蒸镀过程中部分膜料可能会掉落在蒸发槽内,导致电极与蒸发槽发生短路的现象,使膜料的蒸发受到影响,从而影响了镀膜效果。


技术实现思路

1、为了克服现有的技术在蒸镀过程中部分膜料可能会掉落在蒸发槽内的不足,本技术提供一种用于真空蒸镀的蒸发机构。

2、本技术技术方案如下所述:

3、一种用于真空蒸镀的蒸发机构,包括,

4、蒸发部件,所述蒸发部件包括蒸发机架,所述蒸发机架顶部设有蒸发槽,正极座和负极座间隔固定于所述蒸发槽内,一个所述正极座与所述负极座之间架设有一个蒸发舟,所述正极座和所述蒸发舟为多个;

5、送料部件,所述送料部件包括送丝机架和固定于所述送丝机架上的多个送丝基座、料盘,所述送丝基座上设有送丝机和导向管;

6、所述送丝机架设置于所述蒸发槽的一侧;所述料盘、所述送丝机、所述导向管和所述蒸发舟对应设置,所述料盘用于缠绕丝状待蒸镀膜料,待蒸镀膜料丝穿入所述导向管内后所述送丝机将丝状待蒸镀膜料送入所述蒸发舟内。

7、进一步地,在一实施例中,所述蒸发槽的底板上具有极座孔,所述正极座穿过所述极座孔固定于所述蒸发槽的底板上,所述正极座为从上到下呈直径减小的阶梯式圆台且底端伸出到所述蒸发槽外,以方便所述正极座的通电。

8、进一步地,在一实施例中,多个所述正极座成一行设置于所述负极座的一侧,所述送料部件为一个,设置于与所述负极座长轴平行的所述蒸发槽的围板外侧。

9、进一步地,在一实施例中,多个所述正极座成两行分别设置于所述负极座的两侧,所述送料部件为两个,设置于与所述负极座长轴平行的所述蒸发槽的两个围板的外侧;

10、所述负极座上,所述蒸发舟错位排布。

11、进一步地,在一实施例中,所述正极座上设有第一安装槽,所述负极座上设有多个第二安装槽,所述蒸发舟一端置于所述第一安装槽内、另一端置于所述第二安装槽内,所述正极座和所述负极座通电后所述蒸发舟被加热以将膜料融化。

12、进一步地,在一实施例中,所述蒸发舟两端与所述第一安装槽、所述第二安装槽的接触面上套有石墨密封套,所述石墨密封套由石墨纸制成。

13、进一步地,在一实施例中,所述极座孔内设有云母绝缘套,所述云母绝缘套隔离所述蒸发槽的底板与所述正极座;

14、在所述蒸发槽内,所述正极座上套接有上绝缘套,在所述蒸发槽外,所述正极座上套接有下绝缘套。

15、进一步地,在一实施例中,送丝基座底部设有绝缘垫块,所述送丝基座与所述送丝机架之间绝缘。

16、进一步地,在一实施例中,所述正极座和所述负极座内均设有冷却水路。

17、进一步地,在一实施例中,所述蒸发槽与所述负极座平行的侧面围板上设有多个u型槽,所述导向管为弧状且穿过所述u型槽。

18、根据上述方案的本技术,其有益效果在于,通过对电极结构正极座、蒸发舟、负极座以及蒸镀膜料入料形式的改进,不仅使得蒸发舟的维修和更换拆装方便快捷,且丝状的膜料使得膜料完全进入蒸发舟内不会掉落在蒸发槽内,保证蒸发镀膜的质量和效率。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于真空蒸镀的蒸发机构,其特征在于,包括,

2.根据权利要求1所述的用于真空蒸镀的蒸发机构,其特征在于,所述蒸发槽的底板上具有极座孔,所述正极座穿过所述极座孔固定于所述蒸发槽的底板上,所述正极座为从上到下呈直径减小的阶梯式圆台且底端伸出到所述蒸发槽外,以方便所述正极座的通电。

3.根据权利要求2所述的用于真空蒸镀的蒸发机构,其特征在于,多个所述正极座成一行设置于所述负极座的一侧,所述送料部件为一个,设置于与所述负极座长轴平行的所述蒸发槽的围板外侧。

4.根据权利要求2所述的用于真空蒸镀的蒸发机构,其特征在于,多个所述正极座成两行分别设置于所述负极座的两侧,所述送料部件为两个,设置于与所述负极座长轴平行的所述蒸发槽的两个围板的外侧;

5.根据权利要求1所述的用于真空蒸镀的蒸发机构,其特征在于,所述正极座上设有第一安装槽,所述负极座上设有多个第二安装槽,所述蒸发舟一端置于所述第一安装槽内、另一端置于所述第二安装槽内,所述正极座和所述负极座通电后所述蒸发舟被加热以将膜料融化。

6.根据权利要求5所述的用于真空蒸镀的蒸发机构,其特征在于,所述蒸发舟两端与所述第一安装槽、所述第二安装槽的接触面上套有石墨密封套,所述石墨密封套由石墨纸制成。

7.根据权利要求2所述的用于真空蒸镀的蒸发机构,其特征在于,所述极座孔内设有云母绝缘套,所述云母绝缘套隔离所述蒸发槽的底板与所述正极座;

8.根据权利要求1所述的用于真空蒸镀的蒸发机构,其特征在于,送丝基座底部设有绝缘垫块,所述送丝基座与所述送丝机架之间绝缘。

9.根据权利要求1所述的用于真空蒸镀的蒸发机构,其特征在于,所述正极座和所述负极座内均设有冷却水路。

10.根据权利要求1所述的用于真空蒸镀的蒸发机构,其特征在于,所述蒸发槽与所述负极座平行的侧面围板上设有多个U型槽,所述导向管为弧状且穿过所述U型槽。

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【技术特征摘要】

1.一种用于真空蒸镀的蒸发机构,其特征在于,包括,

2.根据权利要求1所述的用于真空蒸镀的蒸发机构,其特征在于,所述蒸发槽的底板上具有极座孔,所述正极座穿过所述极座孔固定于所述蒸发槽的底板上,所述正极座为从上到下呈直径减小的阶梯式圆台且底端伸出到所述蒸发槽外,以方便所述正极座的通电。

3.根据权利要求2所述的用于真空蒸镀的蒸发机构,其特征在于,多个所述正极座成一行设置于所述负极座的一侧,所述送料部件为一个,设置于与所述负极座长轴平行的所述蒸发槽的围板外侧。

4.根据权利要求2所述的用于真空蒸镀的蒸发机构,其特征在于,多个所述正极座成两行分别设置于所述负极座的两侧,所述送料部件为两个,设置于与所述负极座长轴平行的所述蒸发槽的两个围板的外侧;

5.根据权利要求1所述的用于真空蒸镀的蒸发机构,其特征在于,所述正极座上设有第一安装槽,所述负极座上设有多个第二安装槽,所述蒸发舟一端置于所述...

【专利技术属性】
技术研发人员:臧伟罗能铁
申请(专利权)人:深圳市镭煜科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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