【技术实现步骤摘要】
本技术涉及镀膜设备，尤其涉及一种派瑞林镀膜设备真空度测量装置。
技术介绍
1、派瑞林真空镀膜设备中，镀膜腔需要精准测量内部压力。但是派瑞林镀膜在腔体所有部位基本都会发生，因此压力传感器也可能被派瑞林薄膜所覆盖，从而可能导致真空压力传感器灵敏度降低甚至被破坏。
技术实现思路
1、本技术的主要目的在于提供一种，以便有效解决
技术介绍
中提出的问题。
2、为实现上述目的，本技术采取如下技术方案：一种派瑞林镀膜设备真空度测量装置，包括壳体、隔板、立柱、加热组件、电子真空计，所述壳体为桶体形状，上面有密封盖，桶体外侧包裹有加热组件，桶体下侧设置有电子真空计，密封盖上面设置有连接管连通真空镀膜腔，桶体内腔设置有隔板。
3、优选的，所述隔板为与桶体内径相同的圆盘，设置有多层，每层中间设有中心孔，用立柱穿过中心孔将隔板间隔固定在桶体内腔，立柱固定在桶体底部。
4、优选的，所述隔板按45度一个区域，划分为八个区域，其中四个区域内设置有多个通孔，有通孔的区域与无通孔的区域间隔设置。
5、优选的，所述桶体内腔的多层隔板，下层隔板上设置有通孔的区域对应上一层隔板无通孔区域。
6、优选的，所述电子真空计位于最底层隔板下面。
7、优选的，所述桶体内腔工作时加热至50-120℃。
8、本技术的有益效果：本装置通过管道连接镀膜腔体，但设置多层隔板，可有效避免活性派瑞林分子进入最底层与压力传感器接触。因为派瑞林优先附着再低温表面成膜，所
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1.一种派瑞林镀膜设备真空度测量装置，其特征在于：其包括壳体、隔板、立柱、加热组件、电子真空计，所述壳体为桶体形状，上面有密封盖，桶体外侧包裹有加热组件，桶体下侧设置有电子真空计，密封盖上面设置有连接管连通真空镀膜腔，桶体内腔设置有隔板。
2.根据权利要求1所述的一种派瑞林镀膜设备真空度测量装置，其特征在于：所述隔板为与桶体内径相同的圆盘，设置有多层，每层中间设有中心孔，用立柱穿过中心孔将隔板间隔固定在桶体内腔，立柱固定在桶体底部。
3.根据权利要求1所述的一种派瑞林镀膜设备真空度测量装置，其特征在于：所述隔板按45度一个区域，划分为八个区域，其中四个区域内设置有多个通孔，有通孔的区域与无通孔的区域间隔设置。
4.根据权利要求1所述的一种派瑞林镀膜设备真空度测量装置，其特征在于：所述桶体内腔的多层隔板，下层隔板上设置有通孔的区域对应上一层隔板无通孔区域。
5.根据权利要求1所述的一种派瑞林镀膜设备真空度测量装置，其特征在于：所述电子真空计位于最底层隔板下面。
6.根据权利要求1所述的一种派瑞林镀膜设备真空度测量装置，其特
...【技术特征摘要】
1.一种派瑞林镀膜设备真空度测量装置，其特征在于：其包括壳体、隔板、立柱、加热组件、电子真空计，所述壳体为桶体形状，上面有密封盖，桶体外侧包裹有加热组件，桶体下侧设置有电子真空计，密封盖上面设置有连接管连通真空镀膜腔，桶体内腔设置有隔板。
2.根据权利要求1所述的一种派瑞林镀膜设备真空度测量装置，其特征在于：所述隔板为与桶体内径相同的圆盘，设置有多层，每层中间设有中心孔，用立柱穿过中心孔将隔板间隔固定在桶体内腔，立柱固定在桶体底部。
3.根据权利要求1所述的一种派瑞林镀膜设备真空度测量装置，其...
【专利技术属性】
技术研发人员：尹勇，章霞，蹇华清，
申请(专利权)人：深圳方寸达科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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