一种水冷热屏锥斗抛光机制造技术

技术编号:43813490 阅读:3 留言:0更新日期:2024-12-27 13:28
本技术涉及抛光设备技术领域,公开了一种水冷热屏锥斗抛光机,包括总装机架,总装机架的内部安装有升降机构和前后进给机构,升降机构上安装有抛光机构,升降机构包括:基座、第二电机、第一丝杠、第一滚动螺母、升降架、第一滑轨和第一滑块,基座竖直固定于总装机架内,基座上固定有第二电机,第一丝杠转动连接于基座上,第二电机的输出轴与第一丝杠相连,第一丝杠上安装有第一滚动螺母,第一滚动螺母与升降架相连,基座上固定有两个第一滑轨,每个第一滑轨上均滑动安装有两个第一滑块,第一滑块与升降架相固定。本技术自动化对锥斗进行全面抛光,抛光效果好,节省人力。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及抛光设备,尤其涉及一种水冷热屏锥斗抛光机


技术介绍

1、晶体生长是指:通过硬轴炉或软轴炉把半导体级硅的多晶硅块转换成一个大的单晶硅,生长后的单晶硅被称为硅锭或硅棒。在晶体生长炉内往往通过设置水冷热屏来加快晶棒的冷却速度,从而提高提拉速度,降低生产成本。

2、水冷热屏的外形呈锥斗形状,在加工时需要对锥斗的外壁进行抛光。由于锥斗的外表有斜面,现有的抛光机往往只能对圆柱状或者平面状的物料进行抛光,导致抛光锥斗时需要人手持抛光工具进行手动抛光,十分耗费人力,且抛光效果一般,因此,针对以上现状,迫切需要开发一种自动化对锥斗进行全面抛光,抛光效果好,节省人力的水冷热屏锥斗抛光机,以克服当前实际应用中的不足,满足当前的需求。


技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种水冷热屏锥斗抛光机,自动化对锥斗进行全面抛光,抛光效果好,节省人力。

2、为了实现上述目的,本技术采用了如下技术方案:

3、一种水冷热屏锥斗抛光机,包括总装机架、三爪卡盘、抛光机构、升降机构、前后进给机构、角度偏转机构和旋转驱动机构,所述总装机架的内部安装有升降机构和前后进给机构,所述升降机构上安装有抛光机构,所述升降机构包括:基座、第二电机、第一丝杠、第一滚动螺母、升降架、第一滑轨和第一滑块,所述基座竖直固定于总装机架内,所述基座上固定有第二电机,所述第一丝杠转动连接于基座上,所述第二电机的输出轴与第一丝杠相连,所述第一丝杠上安装有第一滚动螺母,所述第一滚动螺母与升降架相连,所述基座上固定有两个第一滑轨,每个所述第一滑轨上均滑动安装有两个第一滑块,所述第一滑块与升降架相固定,所述抛光机构包括:驱动轴、抛光轮、第一电机、主动轮、从动轮和传动带,所述驱动轴转动连接于升降架上,所述驱动轴的前端固定有抛光轮,所述第一电机固定于升降架上,所述第一电机的输出轴上安装有主动轮,所述主动轮通过传动带与从动轮传动连接,所述从动轮安装于驱动轴上,所述前后进给机构上安装有角度偏转机构,所述角度偏转机构上安装有旋转驱动机构,所述旋转驱动机构与三爪卡盘固定连接。

4、优选的:所述总装机架的前侧滑动安装有两个推拉防护门,所述总装机架的前侧安装有控制按钮。

5、优选的:所述前后进给机构包括:支撑板、第三电机、第二丝杠、第二滚动螺母、前后移动架、第二滑块和第二滑轨,所述支撑板固定于总装机架内,所述支撑板上固定有第三电机,所述第二丝杠转动安装于支撑板上,所述第三电机的输出轴与第二丝杠相连,所述第二丝杠上安装有第二滚动螺母,所述第二滚动螺母与前后移动架相固定,所述支撑板上固定有两个第二滑轨,每个所述第二滑轨上均滑动安装有两个第二滑块,所述第二滑块与前后移动架相固定,所述角度偏转机构安装于前后移动架上。

6、优选的:所述角度偏转机构包括:旋转架、转轴和第四电机,所述旋转架的下端固定有转轴,所述转轴转动连接于前后移动架上,所述第四电机固定于前后移动架上,所述第四电机的输出轴与转轴相连,所述旋转驱动机构安装于旋转架上。

7、优选的:所述旋转驱动机构包括:第五电机、小链轮、大链轮、链条和传动轴,所述传动轴转动连接于旋转架上,所述传动轴的前端与三爪卡盘相固定,所述第五电机固定于旋转架上,所述第五电机的输出轴上安装有小链轮,所述传动轴上安装有大链轮,所述小链轮和大链轮之间通过链条传动连接。

8、本技术的有益效果是:该水冷热屏锥斗抛光机,使用时,先用三爪卡盘将锥斗夹紧,然后,通过第二电机带动第一丝杠转动,通过第一丝杠转动带动第一滚动螺母上下移动,通过第一滚动螺母带动升降架上下移动,通过升降架带动抛光机构上下移动,使得抛光轮贴到锥斗的外壁上,通过第一电机带动主动轮、从动轮转动,通过从动轮带动驱动轴、抛光轮转动,通过抛光轮转动对锥斗进行抛光,同时,通过旋转驱动机构带动三爪卡盘转动,通过三爪卡盘带动锥斗转动,通过前后进给机构带动角度偏转机构、旋转驱动机构和三爪卡盘朝着抛光机构移动,进而使得抛光机构对锥斗的外表面进行全面的抛光。综上所述,本技术自动化对锥斗进行全面抛光,抛光效果好,节省人力。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种水冷热屏锥斗抛光机,其特征在于,包括总装机架(1)、三爪卡盘(4)、抛光机构(5)、升降机构(6)、前后进给机构(7)、角度偏转机构(8)和旋转驱动机构(9),所述总装机架(1)的内部安装有升降机构(6)和前后进给机构(7),所述升降机构(6)上安装有抛光机构(5),所述升降机构(6)包括:基座(601)、第二电机(602)、第一丝杠(603)、第一滚动螺母(604)、升降架(605)、第一滑轨(606)和第一滑块(607),所述基座(601)竖直固定于总装机架(1)内,所述基座(601)上固定有第二电机(602),所述第一丝杠(603)转动连接于基座(601)上,所述第二电机(602)的输出轴与第一丝杠(603)相连,所述第一丝杠(603)上安装有第一滚动螺母(604),所述第一滚动螺母(604)与升降架(605)相连,所述基座(601)上固定有两个第一滑轨(606),每个所述第一滑轨(606)上均滑动安装有两个第一滑块(607),所述第一滑块(607)与升降架(605)相固定,所述抛光机构(5)包括:驱动轴(501)、抛光轮(502)、第一电机(503)、主动轮(504)、从动轮(505)和传动带(506),所述驱动轴(501)转动连接于升降架(605)上,所述驱动轴(501)的前端固定有抛光轮(502),所述第一电机(503)固定于升降架(605)上,所述第一电机(503)的输出轴上安装有主动轮(504),所述主动轮(504)通过传动带(506)与从动轮(505)传动连接,所述从动轮(505)安装于驱动轴(501)上,所述前后进给机构(7)上安装有角度偏转机构(8),所述角度偏转机构(8)上安装有旋转驱动机构(9),所述旋转驱动机构(9)与三爪卡盘(4)固定连接。

2.根据权利要求1所述的水冷热屏锥斗抛光机,其特征在于,所述总装机架(1)的前侧滑动安装有两个推拉防护门(2),所述总装机架(1)的前侧安装有控制按钮(3)。

3.根据权利要求1所述的水冷热屏锥斗抛光机,其特征在于,所述前后进给机构(7)包括:支撑板(701)、第三电机(702)、第二丝杠(703)、第二滚动螺母(704)、前后移动架(705)、第二滑块(706)和第二滑轨(707),所述支撑板(701)固定于总装机架(1)内,所述支撑板(701)上固定有第三电机(702),所述第二丝杠(703)转动安装于支撑板(701)上,所述第三电机(702)的输出轴与第二丝杠(703)相连,所述第二丝杠(703)上安装有第二滚动螺母(704),所述第二滚动螺母(704)与前后移动架(705)相固定,所述支撑板(701)上固定有两个第二滑轨(707),每个所述第二滑轨(707)上均滑动安装有两个第二滑块(706),所述第二滑块(706)与前后移动架(705)相固定,所述角度偏转机构(8)安装于前后移动架(705)上。

4.根据权利要求3所述的水冷热屏锥斗抛光机,其特征在于,所述角度偏转机构(8)包括:旋转架(801)、转轴(802)和第四电机(803),所述旋转架(801)的下端固定有转轴(802),所述转轴(802)转动连接于前后移动架(705)上,所述第四电机(803)固定于前后移动架(705)上,所述第四电机(803)的输出轴与转轴(802)相连,所述旋转驱动机构(9)安装于旋转架(801)上。

5.根据权利要求4所述的水冷热屏锥斗抛光机,其特征在于,所述旋转驱动机构(9)包括:第五电机(901)、小链轮(902)、大链轮(903)、链条(904)和传动轴(905),所述传动轴(905)转动连接于旋转架(801)上,所述传动轴(905)的前端与三爪卡盘(4)相固定,所述第五电机(901)固定于旋转架(801)上,所述第五电机(901)的输出轴上安装有小链轮(902),所述传动轴(905)上安装有大链轮(903),所述小链轮(902)和大链轮(903)之间通过链条(904)传动连接。

...

【技术特征摘要】

1.一种水冷热屏锥斗抛光机,其特征在于,包括总装机架(1)、三爪卡盘(4)、抛光机构(5)、升降机构(6)、前后进给机构(7)、角度偏转机构(8)和旋转驱动机构(9),所述总装机架(1)的内部安装有升降机构(6)和前后进给机构(7),所述升降机构(6)上安装有抛光机构(5),所述升降机构(6)包括:基座(601)、第二电机(602)、第一丝杠(603)、第一滚动螺母(604)、升降架(605)、第一滑轨(606)和第一滑块(607),所述基座(601)竖直固定于总装机架(1)内,所述基座(601)上固定有第二电机(602),所述第一丝杠(603)转动连接于基座(601)上,所述第二电机(602)的输出轴与第一丝杠(603)相连,所述第一丝杠(603)上安装有第一滚动螺母(604),所述第一滚动螺母(604)与升降架(605)相连,所述基座(601)上固定有两个第一滑轨(606),每个所述第一滑轨(606)上均滑动安装有两个第一滑块(607),所述第一滑块(607)与升降架(605)相固定,所述抛光机构(5)包括:驱动轴(501)、抛光轮(502)、第一电机(503)、主动轮(504)、从动轮(505)和传动带(506),所述驱动轴(501)转动连接于升降架(605)上,所述驱动轴(501)的前端固定有抛光轮(502),所述第一电机(503)固定于升降架(605)上,所述第一电机(503)的输出轴上安装有主动轮(504),所述主动轮(504)通过传动带(506)与从动轮(505)传动连接,所述从动轮(505)安装于驱动轴(501)上,所述前后进给机构(7)上安装有角度偏转机构(8),所述角度偏转机构(8)上安装有旋转驱动机构(9),所述旋转驱动机构(9)与三爪卡盘(4)固定连接。

2.根据权利要求1所述的水冷热屏锥斗抛光机,其特征在于,所述总装机架(1)的前侧滑动安装有两个推拉防护门(2),所述总装机架(1)的前侧安装有控制按钮(3)。

【专利技术属性】
技术研发人员:侯景成
申请(专利权)人:广东柏创智能装备有限公司
类型:新型
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1