一种晶圆清洗设备用供液系统技术方案

本技术公开了一种晶圆清洗设备用供液系统，属于晶圆清洗供液技术领域，其技术方案要点包括主壳体，所述主壳体的顶部设置有端盖，所述主壳体的内部设置有多级过滤组件，所述主壳体的底部设置有恒温组件，主壳体内部的清洗液会在高速旋转下依次通过一级过滤网、二级过滤网和三级过滤网，以此完成对清洗液的多次过滤，使得内部的清洗液能够更好的循环使用，设置恒温组件，从进气管道通入恒温气体在恒温仓中，对恒温内筒进行保温措施，以此保证内部清洗液处于同一温度，设置密封环和密封圈，在使用时将恒温内筒与一级过滤网之间隔开，防止清洗液从恒温内筒顶部或者底部流出，提高了清洗液的纯度，保证了内部温度的稳定性。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及晶圆清洗供液，特别涉及一种晶圆清洗设备用供液系统。

技术介绍

1、晶圆清洗设备用的供液系统在半导体制造过程中起到了重要的作用，使用范围越来越广，最初应用在半导体行业，随着半导体制程工艺的广泛应用，现代制造业形成了一个泛半导体产业，即皆以半导体制程为参照的制造流程，其中的制程包括如掺杂、光刻、刻蚀、cvd成膜等均需使用液体输送功能，从而产生对中央供液系统的大量需求。

2、传统的清洗液体缺少辅助动作装置，清洗液体过滤时，通常通过自重进行过滤，导致清洗液体过滤效率较低。

3、目前公告号为：cn213793214u的中国技术专利，公开了一种晶圆清洗设备用辅助水循环动作装置，此技术通过设置滤网、转轴和连接板，达到了提高清洗液体过滤效率的效果，保证清洗液体的循环过滤效率，提高了设备实用性，通过设置滤网、转轴和连接板，达到了提高清洗液体过滤效率的效果，清洗液体通过进水管流入外壳内部，电机工作时，带动转轴和连接板发生转动，连接板带动清洗液体发生转动，使清洗液体产生旋转离心力，迫使清洗液体与滤网内壁相接触，从而提高了清洗液体通过滤网过滤的效率，提高了设备实用性。

4、针对于上述问题，现有专利给出了解决方案，但在使用过程中，仅仅一次的过滤不足以很好的提高清洗液的纯度，并且在晶圆长时间清洗过程中，清洗液的浓度及温度会不断地发生变化，从而对清洗效果造成影响。

5、为此提出一种晶圆清洗设备用供液系统。

技术实现思路

1、1．要解决的技术问题

<p>2、本技术提供一种晶圆清洗设备用供液系统，旨在解决现有的晶圆清洗设备用供液系统在使用过程中，仅仅一次的过滤不足以很好的提高清洗液的纯度，并且在晶圆长时间清洗过程中，清洗液的浓度及温度会不断地发生变化，从而对清洗效果造成影响的问题。

3、技术方案

4、本技术是这样实现的，一种晶圆清洗设备用供液系统，包括主壳体，所述主壳体的顶部设置有端盖，所述主壳体的内部设置有多级过滤组件，所述主壳体的底部设置有恒温组件；

5、所述多级过滤组件包括输出电机、旋转轴、转动盘、一级过滤网、二级过滤网和三级过滤网，所述输出电机固定设置于端盖的顶部，所述旋转轴的一端固定设置于输出电机的输出端，所述转动盘固定设置于旋转轴的另一端，所述一级过滤网、二级过滤网和三级过滤网均依次固定设置于转动盘上。

6、为了保证内部清洗液处于同一温度，作为本技术的一种晶圆清洗设备用供液系统优选的，所述恒温组件包括恒温内筒、恒温仓、进气管道和出气管道，所述恒温内筒设置于主壳体的内部，所述恒温仓设置于主壳体内壁和恒温内筒之间，所述进气管道设置于主壳体的一侧并且与恒温仓相通，所述出气管道设置于进气管道的对侧并且与恒温仓相通。

7、为了使得端盖与主壳体之间的连接更加的稳定，作为本技术的一种晶圆清洗设备用供液系统优选的，所述主壳体的顶部设置有卡槽，所述端盖的底部设置有卡块，所述卡块与卡槽相互配合使用。

8、为了防止向内部通入清洗液时进入恒温仓中，作为本技术的一种晶圆清洗设备用供液系统优选的，所述主壳体的一侧设置有进水管道，所述主壳体的另一侧设置有出水管道，所述进水管道和出水管道均与恒温内筒相通。

9、为了将恒温内筒与一级过滤网之间隔开，防止清洗液从恒温内筒顶部或者底部流出，作为本技术的一种晶圆清洗设备用供液系统优选的，所述恒温内筒的内侧底部固定设置有密封环，所述转动盘与密封环紧密贴合并且与密封环转动连接，所述端盖的底部设置有密封圈。

10、为了将主壳体托起，方便工作人员操作，作为本技术的一种晶圆清洗设备用供液系统优选的，所述主壳体的底部固定设置有支撑腿，所述支撑腿的数量为三组。

11、为了减少旋转轴转动时的摩擦力，提高转速，作为本技术的一种晶圆清洗设备用供液系统优选的，所述端盖的内部设置有转动槽，所述转动槽的内部设置有转动轴承，所述转动轴承与旋转轴相互连接。

12、为了随时记录恒温仓内部的温度，防止内部温度失衡，作为本技术的一种晶圆清洗设备用供液系统优选的，所述端盖的顶部设置有温度计，所述温度计的一端伸入在恒温仓的内部。

13、有益效果

14、与现有技术相比，本技术的有益效果是：

15、本技术通过设置多级过滤组件，主壳体内部的清洗液会在高速旋转下依次通过一级过滤网、二级过滤网和三级过滤网，以此完成对清洗液的多次过滤，使得内部的清洗液能够更好的循环使用。

16、2、本技术通过设置恒温组件，从进气管道通入恒温气体在恒温仓中，对恒温内筒进行保温措施，以此保证内部清洗液处于同一温度，设置密封环和密封圈，在使用时将恒温内筒与一级过滤网之间隔开，防止清洗液从恒温内筒顶部或者底部流出。

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【技术保护点】

1.一种晶圆清洗设备用供液系统，包括主壳体（1），其特征在于：所述主壳体（1）的顶部设置有端盖（2），所述主壳体（1）的内部设置有多级过滤组件（3），所述主壳体（1）的底部设置有恒温组件（4）；

2.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗设备用供液系统，其特征在于：所述恒温组件（4）包括恒温内筒（401）、恒温仓（402）、进气管道（403）和出气管道（404），所述恒温内筒（401）设置于主壳体（1）的内部，所述恒温仓（402）设置于主壳体（1）内壁和恒温内筒（401）之间，所述进气管道（403）设置于主壳体（1）的一侧并且与恒温仓（402）相通，所述出气管道（404）设置于进气管道（403）的对侧并且与恒温仓（402）相通。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗设备用供液系统，其特征在于：所述主壳体（1）的顶部设置有卡槽（5），所述端盖（2）的底部设置有卡块（6），所述卡块（6）与卡槽（5）相互配合使用。

4.根据权利要求2所述的一种晶圆清洗设备用供液系统，其特征在于：所述主壳体（1）的一侧设置有进水管道（7），所述主壳体（1）的另一侧设置有出水管道（8），所述进水管道（7）和出水管道（8）均与恒温内筒（401）相通。

5.根据权利要求2所述的一种晶圆清洗设备用供液系统，其特征在于：所述恒温内筒（401）的内侧底部固定设置有密封环（9），所述转动盘（303）与密封环（9）紧密贴合并且与密封环（9）转动连接，所述端盖（2）的底部设置有密封圈（10）。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗设备用供液系统，其特征在于：所述主壳体（1）的底部固定设置有支撑腿（11），所述支撑腿（11）的数量为三组。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗设备用供液系统，其特征在于：所述端盖（2）的内部设置有转动槽，所述转动槽的内部设置有转动轴承，所述转动轴承与旋转轴（302）相互连接。

8.根据权利要求2所述的一种晶圆清洗设备用供液系统，其特征在于：所述端盖（2）的顶部设置有温度计（14），所述温度计（14）的一端伸入在恒温仓（402）的内部。

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【技术特征摘要】

1.一种晶圆清洗设备用供液系统，包括主壳体（1），其特征在于：所述主壳体（1）的顶部设置有端盖（2），所述主壳体（1）的内部设置有多级过滤组件（3），所述主壳体（1）的底部设置有恒温组件（4）；

2.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗设备用供液系统，其特征在于：所述恒温组件（4）包括恒温内筒（401）、恒温仓（402）、进气管道（403）和出气管道（404），所述恒温内筒（401）设置于主壳体（1）的内部，所述恒温仓（402）设置于主壳体（1）内壁和恒温内筒（401）之间，所述进气管道（403）设置于主壳体（1）的一侧并且与恒温仓（402）相通，所述出气管道（404）设置于进气管道（403）的对侧并且与恒温仓（402）相通。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗设备用供液系统，其特征在于：所述主壳体（1）的顶部设置有卡槽（5），所述端盖（2）的底部设置有卡块（6），所述卡块（6）与卡槽（5）相互配合使用。

4.根据权利要求2所述的一种晶圆清洗设备用供液系统，其特征在于：...

【专利技术属性】
技术研发人员：陆先锋，
申请(专利权)人：无锡颂林达科技有限公司，
类型：新型
国别省市：