【技术实现步骤摘要】
本技术涉及干蚀刻机，尤其涉及一种用于液晶面板干蚀刻机的支撑销及基板支撑结构。
技术介绍
1、现有的液晶面板干蚀刻机真空准备室的基板支撑结构如图1所示，包括底座10，在底座10的顶部设置有六列的支撑销组件，每列支撑销组件均包含8个支撑销20。因此，液晶面板干蚀刻机的真空准备室共有48颗支撑销。支撑销20由防静电的铁氟龙材质制成，现有的支撑销的结构如图2所示，支撑销的下部为具有螺纹的螺纹段21，用于旋入到底座10内，支撑销20的顶部为圆弧面。
2、在底座的每个角部均布置有一个定位气缸30。基板先从大气手臂传送进来后放置在支撑销上，然后四周定位气缸30做动对基板进行归正(底座右侧的定位气缸30先做动，左侧的定位气缸30后做动)，再由真空搬运室的手臂取出放进基板处理室进行蚀刻。
3、支撑销在使用过程中与基板背面发生摩擦，圆弧面逐渐磨损成平面，且随着支撑销磨损程度，气缸归正基板时候的作用力也会慢慢变大，容易发生基板破片，导致机台停机处理，严重影响产线推移，造成重大损失。
4、为减少破片，现有采取的手段是缩短支撑销更换周期，但却大大增加成本，且在更换支撑销时，产线也必须停下，影响机台稼动率和产线推移。
技术实现思路
1、本技术要解决的技术问题，在于提供一种用于液晶面板干蚀刻机的支撑销及基板支撑结构，能够延长支撑销的更换周期，且减少基板的破片率，以提高机台的稼动率。
2、本技术是这样实现的：
3、第一方面，本技术提供了一种用于液晶面板干
4、进一步地，所述滚珠由聚酰亚胺材质制成，所述衬套由塑料材质制成，所述基座由金属材质制成。
5、进一步地，所述座体的外侧壁设置有卡槽，所述衬套的内侧设置有卡接凸起，所述座体通过卡槽和卡接凸起与所述衬套可拆卸连接。
6、进一步地，所述座体的外侧壁设置有两个第一平面，两个所述第一平面设置在卡槽的下方。
7、进一步地，所述容纳槽的底壁为弧形面。
8、第二方面，本技术提供了一种用于液晶面板干蚀刻机的基板支撑结构，包括有底座以及第一方面中所述的支撑销，所述支撑销的数量设置有四十个，所述底座设置有六列孔位，每列所述孔位均包括八个安装孔；
9、所述基板支撑结构还包括有八个支撑柱，八个所述支撑柱均分为两组，两组所述支撑柱分别安装在位于边缘的两列孔位中；且两组所述支撑柱分别在对应列的孔位的中部位置；
10、所述底座上的其余安装孔分别安装有支撑销。
11、进一步地，所述支撑柱由第二螺纹段和设置在第二螺纹段顶部的主体组成，所述主体的顶部为圆弧面，所述主体的侧壁设置有两个第二平面。
12、本技术的优点在于：本技术中的支撑销为万向滚动型，在定位气缸对基板归正时，能够大大减小基板与支撑销之间的阻力，减少了支撑销的磨损，延长了支撑销的使用寿命，从而提高机台的稼动率。
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1.一种用于液晶面板干蚀刻机的支撑销，其特征在于：包括有基座、滚珠以及衬套，所述基座由第一螺纹段和设置在第一螺纹段顶部的座体组成，所述座体的顶部开设有容纳槽，所述滚珠容纳在容纳槽内，所述衬套可拆卸连接在基座的顶部，所述衬套的中部开设有圆孔，所述圆孔的直径小于滚珠的直径，所述滚珠的上部穿过圆孔位于容纳槽的外部，在所述容纳槽内还设置有复数个钢珠，复数个所述钢珠填充在滚珠与容纳槽侧壁的间隙之中。
2.如权利要求1所述的一种用于液晶面板干蚀刻机的支撑销，其特征在于：所述滚珠由聚酰亚胺材质制成，所述衬套由塑料材质制成，所述基座由金属材质制成。
3.如权利要求1所述的一种用于液晶面板干蚀刻机的支撑销，其特征在于：所述座体的外侧壁设置有卡槽，所述衬套的内侧设置有卡接凸起，所述座体通过卡槽和卡接凸起与所述衬套可拆卸连接。
4.如权利要求1所述的一种用于液晶面板干蚀刻机的支撑销，其特征在于：所述座体的外侧壁设置有两个第一平面，两个所述第一平面设置在卡槽的下方。
5.如权利要求1所述的一种用于液晶面板干蚀刻机的支撑销，其特征在于：所述容纳槽的底壁为弧形
6.一种用于液晶面板干蚀刻机的基板支撑结构，其特征在于：包括有底座以及权利要求1-5任一项所述的支撑销，所述支撑销的数量设置有四十个，所述底座设置有六列孔位，每列所述孔位均包括八个安装孔；
7.如权利要求6所述的一种用于液晶面板干蚀刻机的基板支撑结构，其特征在于：所述支撑柱由第二螺纹段和设置在第二螺纹段顶部的主体组成，所述主体的顶部为圆弧面，所述主体的侧壁设置有两个第二平面。
...【技术特征摘要】
1.一种用于液晶面板干蚀刻机的支撑销，其特征在于：包括有基座、滚珠以及衬套，所述基座由第一螺纹段和设置在第一螺纹段顶部的座体组成，所述座体的顶部开设有容纳槽，所述滚珠容纳在容纳槽内，所述衬套可拆卸连接在基座的顶部，所述衬套的中部开设有圆孔，所述圆孔的直径小于滚珠的直径，所述滚珠的上部穿过圆孔位于容纳槽的外部，在所述容纳槽内还设置有复数个钢珠，复数个所述钢珠填充在滚珠与容纳槽侧壁的间隙之中。
2.如权利要求1所述的一种用于液晶面板干蚀刻机的支撑销，其特征在于：所述滚珠由聚酰亚胺材质制成，所述衬套由塑料材质制成，所述基座由金属材质制成。
3.如权利要求1所述的一种用于液晶面板干蚀刻机的支撑销，其特征在于：所述座体的外侧壁设置有卡槽，所述衬套的内侧设置有卡接凸起，所述座体通过...
【专利技术属性】
技术研发人员：李世雄，杨朝胜，董浩，程辉，胡斌，
申请(专利权)人：福建华佳彩有限公司，
类型：新型
国别省市：
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