【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体离子注入设备，尤其涉及一种离子注入机高压发生器配接机构。
技术介绍
1、离子注入机中的高压发生器可为离子加速过程提供能量，其一般安装于离子注入机框架中。专利文献cn213982786u公开一种高压发生器绝缘支架，可应用于离子注入机中，其包括固定底座和支架本体，支架本体在固定底座上，支架本体包括纵向固定板和横向固定板，纵向固定板和横向固定板处于同一象限的侧面开设有固定凹槽，纵向固定板和横向固定板分别设有纵向调节机构和横向调节机构，纵向调节机构包括纵向滑槽、纵向调节丝杆、纵向滑块和纵向挡板，横向调节机构包括横向滑槽、横向调节丝杆、横向滑块和横向挡板，纵向挡板和横向挡板设有端部夹持机构，纵向固定板和横向固定板位于固定凹槽内均设有侧部夹持机构，通过纵向调节机构和横向调节机构的配合，既可以适用于安装不同尺寸的高压电源，也可以调节高压发生器的安装角度，操作简单，提高了支架的实用性和灵活性。然而，这种支架的横向固定板与纵向固定板之间采用固定连接结构，无法进行微调，并且横向固定板前端受到的拉力角度较大，当横向固定板向下变形时，难以进行回调，使高压电源角度偏斜，影响高压发生器的运行稳定性。因此，有必要对其进行结构优化，以克服上述缺陷。
技术实现思路
1、本技术的目的是提供一种离子注入机高压发生器配接机构，以提升设备运行稳定性。
2、本技术为解决其技术问题所采用的技术方案是：
3、一种离子注入机高压发生器配接机构，包括：
4、支撑装配构件，该支撑装配
5、竖向转接构件，该竖向转接构件安装于支撑装配构件中，其内部具有装配空间；
6、横向悬伸构件，该横向悬伸构件安装于竖向转接构件中，并通过连接件安装于离子注入机框架中，其内部具有装配空间；
7、横向支托构件，该横向支托构件通过活动连接结构安装于竖向转接构件中，并与横向悬伸构件位置对应，其可在竖向转接构件中调节安装角度，并在横向悬伸构件与横向支托构件之间形成容纳空间；
8、锁紧定位构件，该锁紧定位构件安装于横向悬伸构件与横向支托构件之间，由锁紧定位构件对横向支托构件的安装角度进行锁紧，横向悬伸构件通过锁紧定位构件对横向支托构件提供拉力；
9、遮罩容纳构件，该遮罩容纳构件安装于横向支托构件中，由横向支托构件对其进行支托，遮罩容纳构件内部具有高压发生器容纳空间，可对高压发生器进行遮罩。
10、具体地，支撑装配构件包括：
11、支撑基板，该支撑基板设有一对，并分别通过连接件安装于离子注入机框架中；
12、装配凸缘，该装配凸缘设有一对，各装配凸缘分别形成于支撑基板外壁，并向支撑基板外侧凸出，竖向转接构件可安装于装配凸缘上。
13、在本技术的一个实施例中，支撑基板采用平面金属板件制作，装配凸缘采用u形金属板件制作，其内端焊接于支撑基板外壁，其外端向支撑基板外侧凸出。
14、竖向转接构件包括：
15、转接立板，该转接立板设有一对，各转接立板分别沿竖向布置，其底部与装配凸缘接合，其顶部向转接凸缘上方延伸。
16、在本技术的一个实施例中，转接立板采用角形结合金属板制作，其一边与转接凸缘接合，另一边向转接凸缘外侧凸出。
17、横向悬伸构件包括：
18、悬伸顶梁，该悬伸顶梁设有一对，各悬伸顶梁分别沿横向布置，其中部接合于转接立板顶部，其内端向悬伸顶梁内侧延伸，其外端向转接立板外侧延伸；
19、横向端板，该横向端板设有一对，各横向端板分别接合于悬伸顶梁内端，并通过连接件与离子注入机框架接合。
20、在本技术的一个实施例中，悬伸顶梁采用金属方管制作，横向端板采用平面金属板件制作，其焊接于悬伸顶梁内端，并通过连接螺栓与离子注入机框架接合。
21、横向支托构件包括：
22、支托框架，该支托框架沿横向布置，并位于悬伸顶梁下方，其内端位于转接立板之间，转接立板中部分别开设有转接通孔，可通过与之适配的转接螺栓将支托框架内端与转接立板接合，并可在转接立板之间调节安装角度，悬伸顶梁的长度小于支托框架的长度。
23、在本技术的一个实施例中，支托框架采用一组角形结合金属板围合连接形成。
24、锁紧定位构件包括：
25、定位板条，该定位板条设有一对，各定位板条分别位于悬伸顶梁与支托框架之间，其顶端通过连接螺栓接合于悬伸顶梁外端，可在悬伸顶梁上调节安装角度，其底端开设有锁紧长孔，该锁紧长孔沿定位板条的长度方向延伸，可通过与之适配的锁紧螺栓与支托框架外端接合，由定位板条对支托框架提供拉力，并对支托框架的安装角度进行锁紧。
26、在本技术的一个实施例中，定位板条采用长条形平面金属板件制作。
27、遮罩容纳构件包括：
28、遮罩壳板，该遮罩壳板设有一组，各遮罩壳板相互围合连接，在其内部形成与高压发生器形状适配的容纳腔体，高压发生器可插接于容纳腔体中，由遮罩壳板对高压发生器进行遮罩。
29、在本技术的一个实施例中，遮罩壳板采用平面金属板件制作，相邻遮罩壳板接合部位连接有加强筋板，加强筋板采用角形结合金属板制作。
30、本技术的优点在于：
31、该配接机构采用支承基板和装配凸缘组成支撑装配构件，使配接机构能够稳固地安装在离子注入机框架中，支承基板提供良好的承重能力，装配凸缘可增强支撑基板的连接强度和稳定性，转接立板采用角形结合金属板制作，具有较高的抗弯和抗扭强度，能够有效地传递和分散来自上方构件的载荷，保证整体结构的竖向稳定性，悬伸顶梁采用金属方管制作，具有较高的抗弯刚度和强度，能够有效地承受横向载荷，支托框架采用一组角形结合金属板围合连接形成，具有较高的整体性和稳定性，能够有效地支托上方的遮罩容纳构件和高压发生器，定位板条采用长条形平面金属板件制作，通过连接螺栓将支托框架与悬伸顶梁牢固地连接在一起，并对支托框架的安装角度进行锁紧，保证整体结构的横向稳定性，使高压发生器在稳定的配接结构中运行，避免在离子注入过程中发生故障，有利于提升离子注入质量，提高集成电路成品的性能。
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1.一种离子注入机高压发生器配接机构，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种离子注入机高压发生器配接机构，其特征在于，支撑装配构件包括：
3.根据权利要求2所述的一种离子注入机高压发生器配接机构，其特征在于，竖向转接构件包括：
4.根据权利要求3所述的一种离子注入机高压发生器配接机构，其特征在于，横向悬伸构件包括：
5.根据权利要求4所述的一种离子注入机高压发生器配接机构，其特征在于，横向支托构件包括：
6.根据权利要求5所述的一种离子注入机高压发生器配接机构，其特征在于，锁紧定位构件包括：
7.根据权利要求5所述的一种离子注入机高压发生器配接机构，其特征在于，遮罩容纳构件包括：
【技术特征摘要】
1.一种离子注入机高压发生器配接机构，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种离子注入机高压发生器配接机构，其特征在于，支撑装配构件包括：
3.根据权利要求2所述的一种离子注入机高压发生器配接机构，其特征在于，竖向转接构件包括：
4.根据权利要求3所述的一种离子注入机高压发生器配接机构，其...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘青隆，龚再生，李烨，
申请(专利权)人：浙江中科尚弘离子装备工程有限公司，
类型：新型
国别省市：
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