一种用于晶圆的超声波清洗设备制造技术

本技术公开了一种用于晶圆的超声波清洗设备，包括超声波清洗主体，所述超声波清洗主体内部安装有放置板，且放置板顶端活动套接有转杆，所述转杆底端安装有第一锥齿轮。将晶圆放置在放置板上，在拧动转杆进行转动，带动第一锥齿轮进行转动，通过第一锥齿轮啮合带动第二锥齿轮进行转动，在带动螺杆进行转动，然后活动块在螺杆表面进行螺纹移动，在通过活动块推动连接块进行移动，同时活动块在放置板内部向上滑动，在推动支撑杆进行滑动，在通过支撑杆推动支撑块滑出放置板，通过放置板顶端设置的支撑块，使在放置时增加了支撑点，减少接触与放置板之间的接触面积，使得超声波在清洗时更加的快捷，提高清洗的效率。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及晶圆清洗，特别涉及一种用于晶圆的超声波清洗设备。

技术介绍

1、超声波清洗是利用超声波在液体中的空化作用、加速度作用及直进流作用对液体和污物直接、间接的作用，使污物层被分散、乳化、剥离而达到清洗目的，目前所用的超声波清洗机中，空化作用和直进流作用应用得更多，超声波的传播要依靠弹性介质，其传播时,使弹性介质中的粒子振荡,并通过介质按超声波的传播方向传递能量,这种波可分为纵向波和横向波。

2、但是上述结构在使用时的一种用于晶圆的超声波清洗设备在清洗时，由于晶圆材料的特殊性，放置后不够稳定，在清洗时难免相互碰撞相互影响，这样会降低清洗的效率，同时在放置后，接触面积过大，会导致清洗时不够均匀，会提高清洗的时间。

技术实现思路

1、本技术的目的在于至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提供一种用于晶圆的超声波清洗设备在清洗时，由于晶圆材料的特殊性，放置后不够稳定，在清洗时难免相互碰撞相互影响，这样会降低清洗的效率，同时在放置后，接触面积过大，会导致清洗时不够均匀，会提高清洗的时间。

2、为实现上述目的，提供一种用于晶圆的超声波清洗设备，包括超声波清洗主体，所述超声波清洗主体内部安装有放置板，且放置板顶端活动套接有转杆，所述转杆底端安装有第一锥齿轮，且第一锥齿轮表面啮合连接有第二锥齿轮，所述第二锥齿轮安装在螺杆外壁，且螺杆表面螺纹连接有活动块，所述活动块顶端活动连接有连接块，且连接块顶端固定连接有支撑杆，所述支撑杆顶端固定连接有支撑块。

3、将晶圆放置在放置板上，在拧动转杆进行转动，带动第一锥齿轮进行转动，通过第一锥齿轮啮合带动第二锥齿轮进行转动，在带动螺杆进行转动，然后活动块在螺杆表面进行螺纹移动，在通过活动块推动连接块进行移动，在推动支撑杆进行滑动，在通过支撑杆推动支撑块滑出放置板，通过放置板顶端设置的支撑块，使在放置时增加了支撑点，减少接触与放置板之间的接触面积，使得超声波在清洗时更加的快捷，提高清洗的效率。

4、根据所述的一种用于晶圆的超声波清洗设备，所述支撑块底端安装有伸缩弹簧，且伸缩弹簧套接在支撑杆外壁。

5、根据所述的一种用于晶圆的超声波清洗设备，所述放置板两侧对称安装有螺纹块，且螺纹块螺纹连接在螺纹杆外壁，所述螺纹杆活动套接在超声波清洗主体内部，且螺纹块活动套接在超声波清洗主体内壁。

6、根据所述的一种用于晶圆的超声波清洗设备，所述放置板顶端安装有隔板。

7、根据所述的一种用于晶圆的超声波清洗设备，所述隔板内部开设有限位槽，且限位槽内部活动套接有垫块，所述垫块固定套接在活动杆外壁，且活动杆一侧固定安装有限位板。

8、根据所述的一种用于晶圆的超声波清洗设备，所述垫块一侧固定安装有复位弹簧，且复位弹簧另一侧安装在限位槽内部。

9、根据所述的一种用于晶圆的超声波清洗设备，所述限位板一侧安装有若干软块。

10、当晶圆放置在放置板上后，推动限位板，推动活动杆在限位槽内部向内滑动，也带动垫块进行滑动，使得复位弹簧进行收缩，在没有推动力后，通过复位弹簧的伸缩性，推动限位板进行复位移动，对晶圆进行限位夹持，保证晶圆在清洗时的稳定性，避免相互碰撞相互影响，在拧动螺纹杆，使得螺纹块在螺纹杆表面进行螺纹移动，从而带动放置板的下降，滑入到超声波清洗主体内部中进行清洗，然后带动放置板进行上下，便于清洗前后的拿放。

11、本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于晶圆的超声波清洗设备，其特征在于，包括超声波清洗主体(1)，所述超声波清洗主体(1)内部安装有放置板(2)，且放置板(2)顶端活动套接有转杆(3)，所述转杆(3)底端安装有第一锥齿轮(4)，且第一锥齿轮(4)表面啮合连接有第二锥齿轮(5)，所述第二锥齿轮(5)安装在螺杆(6)外壁，且螺杆(6)表面螺纹连接有活动块(7)，所述活动块(7)顶端活动连接有连接块(8)，且连接块(8)顶端固定连接有支撑杆(9)，所述支撑杆(9)顶端固定连接有支撑块(10)。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆的超声波清洗设备，其特征在于，所述支撑块(10)底端安装有伸缩弹簧(11)，且伸缩弹簧(11)套接在支撑杆(9)外壁。

3.根据权利要求1所述的一种用于晶圆的超声波清洗设备，其特征在于，所述放置板(2)两侧对称安装有螺纹块(12)，且螺纹块(12)螺纹连接在螺纹杆(13)外壁，所述螺纹杆(13)活动套接在超声波清洗主体(1)内部，且螺纹块(12)活动套接在超声波清洗主体(1)内壁。

4.根据权利要求1所述的一种用于晶圆的超声波清洗设备，其特征在于，所述放置板(2)顶端安装有隔板(14)。

5.根据权利要求4所述的一种用于晶圆的超声波清洗设备，其特征在于，所述隔板(14)内部开设有限位槽(15)，且限位槽(15)内部活动套接有垫块(16)，所述垫块(16)固定套接在活动杆(17)外壁，且活动杆(17)一侧固定安装有限位板(18)。

6.根据权利要求5所述的一种用于晶圆的超声波清洗设备，其特征在于，所述垫块(16)一侧固定安装有复位弹簧(19)，且复位弹簧(19)另一侧安装在限位槽(15)内部。

7.根据权利要求5所述的一种用于晶圆的超声波清洗设备，其特征在于，所述限位板(18)一侧安装有若干软块(20)。

...

【技术特征摘要】

1.一种用于晶圆的超声波清洗设备，其特征在于，包括超声波清洗主体(1)，所述超声波清洗主体(1)内部安装有放置板(2)，且放置板(2)顶端活动套接有转杆(3)，所述转杆(3)底端安装有第一锥齿轮(4)，且第一锥齿轮(4)表面啮合连接有第二锥齿轮(5)，所述第二锥齿轮(5)安装在螺杆(6)外壁，且螺杆(6)表面螺纹连接有活动块(7)，所述活动块(7)顶端活动连接有连接块(8)，且连接块(8)顶端固定连接有支撑杆(9)，所述支撑杆(9)顶端固定连接有支撑块(10)。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆的超声波清洗设备，其特征在于，所述支撑块(10)底端安装有伸缩弹簧(11)，且伸缩弹簧(11)套接在支撑杆(9)外壁。

3.根据权利要求1所述的一种用于晶圆的超声波清洗设备，其特征在于，所述放置板(2)两侧对称安装有螺纹块(12)，且螺纹块(12)螺纹连接在螺纹杆(13...

【专利技术属性】
技术研发人员：王婷婷，曾献金，
申请(专利权)人：恒超源洗净科技深圳有限公司，
类型：新型
国别省市：