【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体加工，尤其涉及一种真空生成装置和加工设备。
技术介绍
1、普通干式真空生成装置无法抽吸含大量水蒸气或水滴的气体，液环式真空泵本身就是以液体作为密封环，最适合排出含水蒸气或水滴的气体。使用液环式真空泵作为真空生成装置的吸引源，不仅可以抽吸气体，还可以抽吸含水蒸气或水滴的气体，另也可耐受一定的颗粒物。但液环真空泵需适当从外部追加水，以补充密封水循环中的液体的蒸发量，如采用直接补水，则消耗的水量较大，不节能减排。
技术实现思路
1、本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术提出一种真空生成装置，所述真空生成装置使得从出口出来的气液混合物可以进行气液分离，分离出来的液体可以被回收利用减少了外部的供水量，提高了节水效果。
2、本技术还提出了一种加工设备，包括上述的真空生成装置。
3、根据本技术实施例的真空生成装置，包括：气液分离箱，所述气液分离箱包括：箱体和第一隔板，所述箱体上具有进口、排气口和排水口，所述第一隔板设于所述箱体内且与所述进口相对设置；真空泵，所述真空泵具有出口、液体进口和负压口，所述出口与所述进口连通，所述液体进口与所述排水口连通。
4、根据本技术实施例的真空生成装置，设置气液分离箱，气液分离箱具有进口、排气口和排水口，真空泵具有出口、液体进口和负压口，出口与进口连通，液体进口与排水口连通，气液分离箱可以对从出口而来的气液混合物进行分离，分离出来的液体会从排水口流向液体进口从而重新回到真空泵，从而使得分离出
5、在本技术的一些实施例中，所述进口设于所述箱体的侧壁上，所述第一隔板包括：第一板体，所述第一板体水平设置且位于所述进口下方，所述第一板体与所述箱体设有所述进口的内壁连接，所述第一板体上具有沿上下方向贯穿所述第一板体的出水孔；第二板体，所述第二板体竖直设置，所述第二板体的下端与所述第一板体远离所述箱体内壁的一端连接，所述第二板体与所述进口相对设置且与所述进口的轴线垂直。
6、在本技术的一些实施例中，所述第二板体的上端与所述箱体的顶壁间隔设置。
7、在本技术的一些实施例中，所述箱体的底壁上具有第二隔板，所述第二隔板竖直设置，用于将所述箱体的底部空间分割成间隔开的第一盛水空间和第二盛水空间，在水平方向上，所述第一盛水空间相对所述第二盛水空间靠近所述进口设置，且所述第二隔板在所述箱体底壁上的投影位于所述第一盛水空间内，所述排水口与所述第二盛水空间连通。
8、在本技术的一些实施例中，所述第一盛水空间内具有第三隔板，所述第三隔板竖直设置，所述第三隔板的上端高于所述第二隔板的上端且下端与所述箱体的内底壁间隔开，所述第三隔板的朝向所述第二隔板的表面与所述第一隔板的背离所述进口的表面平齐，或，在水平方向上，所述第一隔板背离所述进口的表面相对所述第三隔板背离所述第二隔板的表面更靠近所述进口设置。
9、在本技术的一些实施例中，所述箱体的侧壁上具有溢水口，所述溢水口与所述第二盛水空间连通；和/或，所述第一盛水空间和所述第二盛水空间的底部均具有排放口。
10、在本技术的一些实施例中，所述气液分离箱具有用于与水源连接的补水口。
11、在本技术的一些实施例中，所述水源和所述补水口之间设有过滤器、电磁阀和流量计中的至少一个。
12、在本技术的一些实施例中，所述水源和所述补水口之间设有电磁阀和流量计，所述电磁阀为多个且包括第一电磁阀和第二电磁阀，所述流量计为多个且包括第一流量计和第二流量计，在水源至所述补水口的方向上，所述第一电磁阀、所述第二电磁阀和所述第一流量计依次串联，所述第二流量计与所述第二电磁阀并联连接后与所述第一电磁阀和所述第一流量计串联。
13、在本技术的一些实施例中，所述排气口设于所述气液分离箱的顶壁上；和/或，所述排水口设于所述气液分离箱的底壁上。
14、在本技术的一些实施例中，所述液体进口和所述排水口之间设有流量温度传感器。
15、在本技术的一些实施例中，所述负压口连接有真空管道，所述真空管道上设有单向阀，所述单向阀仅允许气体和/或液体流向所述真空泵，所述真空管道的背离所述真空泵的一端适于与待抽真空设备连接。
16、在本技术的一些实施例中，所述负压口连接有防汽蚀管道，所述防汽蚀管道背离所述真空泵的一端与所述气液分离箱连通。
17、在本技术的一些实施例中，所述真空生成装置还包括：外罩，所述真空泵和所述气液分离箱设于所述外罩内。
18、在本技术的一些实施例中，所述外罩的底部设有转动轮。
19、根据本技术实施例的加工设备，包括：工作台，所述工作台的上表面具有安装槽，所述工作台上具有连通所述安装槽的抽气通道；多孔台面，所述多孔台面嵌设在所述安装槽内，所述抽气通道的开口位于所述多孔台面的下方；上述的真空生成装置，所述负压口与所述抽气通道背离所述安装槽的一端连通；加工装置，所述加工装置适于对所述多孔台面上的产品进行加工。
20、根据本技术实施例的加工设备，通过设置上述的真空生成装置，设置气液分离箱，气液分离箱具有进口、排气口和排水口，真空泵具有出口、液体进口和负压口，出口与进口连通，液体进口与排水口连通，气液分离箱可以对从出口而来的气液混合物进行分离，分离出来的液体会从排水口流向液体进口从而重新回到真空泵，从而使得分离出来的液体可以被回收利用，从而减少了外部的供水量，提高了节水效果。
21、在本技术的一些实施例中，所述加工装置为磨轮装置，所述加工设备还包括：冷却管，所述冷却管用于向所述多孔台面上的所述产品喷射冷却液。
22、本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
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1.一种真空生成装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的真空生成装置，其特征在于，所述进口设于所述箱体的侧壁上，所述第一隔板包括：
3.根据权利要求2所述的真空生成装置，其特征在于，所述第二板体的上端与所述箱体的顶壁间隔设置。
4.根据权利要求1所述的真空生成装置，其特征在于，所述箱体的底壁上具有第二隔板，所述第二隔板竖直设置，用于将所述箱体的底部空间分割成间隔开的第一盛水空间和第二盛水空间，
5.根据权利要求4所述的真空生成装置，其特征在于，所述第一盛水空间内具有第三隔板，所述第三隔板竖直设置，所述第三隔板的上端高于所述第二隔板的上端且下端与所述箱体的内底壁间隔开，
6.根据权利要求4所述的真空生成装置，其特征在于，所述箱体的侧壁上具有溢水口，所述溢水口与所述第二盛水空间连通；
7.根据权利要求1所述的真空生成装置，其特征在于，所述气液分离箱具有用于与水源连接的补水口。
8.根据权利要求7所述的真空生成装置，其特征在于，所述水源和所述补水口之间设有过滤器、电磁阀和流量计中的至少一个。<...
【技术特征摘要】
1.一种真空生成装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的真空生成装置，其特征在于，所述进口设于所述箱体的侧壁上，所述第一隔板包括：
3.根据权利要求2所述的真空生成装置，其特征在于，所述第二板体的上端与所述箱体的顶壁间隔设置。
4.根据权利要求1所述的真空生成装置，其特征在于，所述箱体的底壁上具有第二隔板，所述第二隔板竖直设置，用于将所述箱体的底部空间分割成间隔开的第一盛水空间和第二盛水空间，
5.根据权利要求4所述的真空生成装置，其特征在于，所述第一盛水空间内具有第三隔板，所述第三隔板竖直设置，所述第三隔板的上端高于所述第二隔板的上端且下端与所述箱体的内底壁间隔开，
6.根据权利要求4所述的真空生成装置，其特征在于，所述箱体的侧壁上具有溢水口，所述溢水口与所述第二盛水空间连通；
7.根据权利要求1所述的真空生成装置，其特征在于，所述气液分离箱具有用于与水源连接的补水口。
8.根据权利要求7所述的真空生成装置，其特征在于，所述水源和所述补水口之间设有过滤器、电磁阀和流量计中的至少一个。
9.根据权利要求8所述的真空生成装置，其特征在于，...
【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，请求不公布姓名，
申请(专利权)人：江苏元夫半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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