【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及外延片加工设备，具体为一种碲锌镉单晶外延片高精度磨边装置。
技术介绍
1、碲锌镉单晶外延片是一种用于生长锌化物半导体材料的基板,锌化物半导体材料在光电子器件领域具有重要应用，如led、激光二极管等,碲锌镉指的是碎裂的锌锅，通常是通过在高温下快速冷却或受到外力作用而破裂的。碲锌镉的表面结构特殊，有助于形成单晶外延片,单晶外延片是在锌锅上生长的单晶薄片，可以作为半导体材料的基板。在外延过程中，锌化物材料会在碲锌镉表面逐渐形成单晶结构，从而得到具有优良晶体质量的薄片。
2、在对外延片进行磨边加工的过程中，特别是圆形的外延片，首先需要对其进行圆心定位，否则在磨边后成型的外延片形状不规则，而且加工完的外延片必须是完整的，所以在对于圆形外延片的定位需要采用特殊的方法进行圆心定位。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种碲锌镉单晶外延片高精度磨边装置，以解决需要对其进行圆心定位，否则在磨边后成型的外延片形状不规则的问题。
2、为解决上述技术问题，本专利技术是通过以下技术方案实现的：
3、本专利技术为一种碲锌镉单晶外延片高精度磨边装置，包括打磨箱，所述打磨箱的正面开设有进料口，所述打磨箱内螺纹安装有双向螺纹杆，所述双向螺纹杆的顶端延伸至打磨箱外，所述双向螺纹杆的顶端固定安装有转盘一，还包括：
4、定位机构，所述定位机构包括螺纹套设在双向螺纹杆上的圆形盘，所述圆形盘的底部开设有若干个条形槽，若干个所述条形槽内分别滑动安装有条形杆，
5、进一步地，所述圆形盘的底部设置有调节机构，所述调节机构包括转动安装在圆形盘底部的圆筒，所述圆筒的外壁上固定套设有圆板，所述圆板上开设有若干个曲形限位槽，若干个所述限位杆的底端分别延伸至若干个曲形限位槽内分别与若干个曲形限位槽相适配，所述圆板的外壁上固定安装有若干个齿牙。
6、进一步地，所述圆形盘上开合机构，所述开合机构包括滑动安装在打磨箱顶部的转杆，所述转杆的顶端固定安装有转盘二，所述转杆贯穿圆形盘并与圆形盘转动连接，所述转杆上固定套设有齿轮，所述齿轮与若干个齿牙相啮合。
7、进一步地，所述打磨箱内设置有转动机构，所述转动机构包括固定安装在打磨箱底部内壁上的若干个支撑杆，若干个所述支撑杆的顶部固定安装有安装板，所述安装板的顶部转动安装有蜗杆，所述打磨箱的底部内壁上固定安装有驱动电机，所述蜗杆贯穿安装板并与驱动电机的输出轴固定连接。
8、进一步地，所述蜗杆的顶端设置有固定机构，所述固定机构包括固定安装在蜗杆顶端放置的圆板，所述放置圆板上设置有若干个橡胶块，所述放置圆板的顶部设置有外延片，所述外延片的顶部设置有夹持板，所述夹持板与外延片相接触，所述夹持板的顶部与双向螺纹杆转动连接。
9、进一步地，所述打磨箱内设置有两个传动机构，所述传动机构包括转动安装在打磨箱内的转动轴，所述转动轴上固定套设有涡轮，所述涡轮与蜗杆相啮合，所述转动轴上固定套设有伸缩筒。
10、进一步地，所述打磨箱内设置有两个推动机构，所述推动机构包括固定安装在打磨箱右侧内壁上的液压缸，所述液压缸的输出轴上固定安装有活动板，所述活动板的左侧转动安装有转轴，所述转轴上固定套设有磨边轮，所述打磨箱内固定安装有滑杆，所述滑杆贯穿活动板并与活动板滑动连接，所述转轴和伸缩筒上分别固定套设有皮带轮，两个所述皮带轮上缠绕有同步皮带。
11、进一步地，所述打磨箱的顶部设置有降温机构，所述降温机构包括固定安装在打磨箱顶部的冷却箱，所述打磨箱的背面固定安装有水泵，所述水泵的背面固定安装有进水管，所述进水管的顶端与冷却箱固定连接，所述水泵的正面固定安装有出水管，所述出水管的前端延伸至打磨箱内，所述打磨箱的底部内壁上开设有若干个斜坡，所述打磨箱的外壁上固定安装有若干个收集箱，若干个所述斜坡分别与若干个收集箱相通。
12、本专利技术具有以下有益效果：
13、(1)本专利技术一种碲锌镉单晶外延片高精度磨边装置，首先转动转盘一,转盘一带动双向螺纹杆转动，双向螺纹杆在双向螺纹的作用下向上移动，此时圆形盘在双向螺纹的作用下向下移动，当圆形盘带动弧形定位块移动到合适的位置时，转动转盘二，转盘二带动转杆转动，转杆带动齿轮转动，齿轮在若干个齿牙的作用下带动圆板转动，圆板转动时带动若干个曲形限位槽移动，曲形限位槽带动限位杆向圆形盘的圆心位置相互靠近，此时若干个限位杆带动若干个条形杆移动，若干个条形杆带动若干个弧形定位块相互靠近并对外延片进行定位，有效对外延片的加工位置进行定位，避免外延片偏离圆形，导致无效加工磨边；
14、(2)本专利技术一种碲锌镉单晶外延片高精度磨边装置，定位完成后，反向转动双向螺纹杆,双向螺纹杆带动圆形盘向上移，反之双向螺纹杆会向下移动，双向螺纹杆带动夹持板向下移动直至挤压到外延片，通过在放置圆板上设置的橡胶块，可以增大外延片的摩擦力，避免在放置圆板转动的过程中，放置圆板与外延片发生偏移，有效提高磨边的稳定性和和可靠性；
15、(3)本专利技术一种碲锌镉单晶外延片高精度磨边装置，在磨边的过程中，先启动驱动电机,驱动电机带动蜗杆转动，蜗杆带动放置圆板进行旋转，放置圆板带动外延片转动，蜗杆还会在两个涡轮的作用下同时带动两个转动轴转动，两个转动轴带动两个伸缩筒转动，在皮带轮和同步皮带的作用下，两个伸缩筒会带动两个转轴转动，两个转轴会同时带动两个磨边轮转动，然后根据需要磨边的尺寸启动两个液压缸，两个液压缸同时带动两个活动板相互靠近，在两个伸缩筒的作用下，两个皮带轮和两个同步皮带会同步移动，两个活动板同时带动两个磨边轮相互靠近，在两个磨边轮接触到外延片时会对旋转中的外延片进行打磨，有效提高打磨的精准度；
16、(4)本专利技术一种碲锌镉单晶外延片高精度磨边装置，在打磨的过程中启动水泵,水泵将冷却箱内的冷却液通过出水管喷到外延片上，对外延片磨边过程中产生的热量进行降温，避免外延片在磨边时温度过高导致外延片损坏，降温后的冷却液落在打磨箱的底部内壁上，然后经过若干个斜坡流进若干个收集箱内进行收集即可。
17、当然，实施本专利技术的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。
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1.一种碲锌镉单晶外延片高精度磨边装置，包括打磨箱(1)，所述打磨箱(1)的正面开设有进料口(101)，所述打磨箱(1)内螺纹安装有双向螺纹杆(2)，所述双向螺纹杆(2)的顶端延伸至打磨箱(1)外，所述双向螺纹杆(2)的顶端固定安装有转盘一(3)，其特征在于，还包括：
2.根据权利要求1所述的一种碲锌镉单晶外延片高精度磨边装置，其特征在于：所述圆形盘(4)的底部设置有调节机构，所述调节机构包括转动安装在圆形盘(4)底部的圆筒(9)，所述圆筒(9)的外壁上固定套设有圆板(10)，所述圆板(10)上开设有若干个曲形限位槽(11)，若干个所述限位杆(8)的底端分别延伸至若干个曲形限位槽(11)内分别与若干个曲形限位槽(11)相适配，所述圆板(10)的外壁上固定安装有若干个齿牙(12)。
3.根据权利要求2所述的一种碲锌镉单晶外延片高精度磨边装置，其特征在于：所述圆形盘(4)上开合机构，所述开合机构包括滑动安装在打磨箱(1)顶部的转杆(13)，所述转杆(13)的顶端固定安装有转盘二(14)，所述转杆(13)贯穿圆形盘(4)并与圆形盘(4)转动连接，所述转杆(13)
4.根据权利要求1所述的一种碲锌镉单晶外延片高精度磨边装置，其特征在于：所述打磨箱(1)内设置有转动机构，所述转动机构包括固定安装在打磨箱(1)底部内壁上的若干个支撑杆(16)，若干个所述支撑杆(16)的顶部固定安装有安装板(17)，所述安装板(17)的顶部转动安装有蜗杆(18)，所述打磨箱(1)的底部内壁上固定安装有驱动电机(19)，所述蜗杆(18)贯穿安装板(17)并与驱动电机(19)的输出轴固定连接。
5.根据权利要求4所述的一种碲锌镉单晶外延片高精度磨边装置，其特征在于：所述蜗杆(18)的顶端设置有固定机构，所述固定机构包括固定安装在蜗杆(18)顶端放置的圆板(20)，所述放置圆板(20)上设置有若干个橡胶块(21)，所述放置圆板(20)的顶部设置有外延片(22)，所述外延片(22)的顶部设置有夹持板(23)，所述夹持板(23)与外延片(22)相接触，所述夹持板(23)的顶部与双向螺纹杆(2)转动连接。
6.根据权利要求4所述的一种碲锌镉单晶外延片高精度磨边装置，其特征在于：所述打磨箱(1)内设置有两个传动机构，所述传动机构包括转动安装在打磨箱(1)内的转动轴(24)，所述转动轴(24)上固定套设有涡轮(25)，所述涡轮(25)与蜗杆(18)相啮合，所述转动轴(24)上固定套设有伸缩筒(26)。
7.根据权利要求6所述的一种碲锌镉单晶外延片高精度磨边装置，其特征在于：所述打磨箱(1)内设置有两个推动机构，所述推动机构包括固定安装在打磨箱(1)右侧内壁上的液压缸(27)，所述液压缸(27)的输出轴上固定安装有活动板(28)，所述活动板(28)的左侧转动安装有转轴(29)，所述转轴(29)上固定套设有磨边轮(30)，所述打磨箱(1)内固定安装有滑杆(31)，所述滑杆(31)贯穿活动板(28)并与活动板(28)滑动连接，所述转轴(29)和伸缩筒(26)上分别固定套设有皮带轮(32)，两个所述皮带轮(32)上缠绕有同步皮带(33)。
8.根据权利要求1所述的一种碲锌镉单晶外延片高精度磨边装置，其特征在于：所述打磨箱(1)的顶部设置有降温机构，所述降温机构包括固定安装在打磨箱(1)顶部的冷却箱(34)，所述打磨箱(1)的背面固定安装有水泵(35)，所述水泵(35)的背面固定安装有进水管(36)，所述进水管(36)的顶端与冷却箱(34)固定连接，所述水泵(35)的正面固定安装有出水管(37)，所述出水管(37)的前端延伸至打磨箱(1)内，所述打磨箱(1)的底部内壁上开设有若干个斜坡(38)，所述打磨箱(1)的外壁上固定安装有若干个收集箱(39)，若干个所述斜坡(38)分别与若干个收集箱(39)相通。
...【技术特征摘要】
1.一种碲锌镉单晶外延片高精度磨边装置，包括打磨箱(1)，所述打磨箱(1)的正面开设有进料口(101)，所述打磨箱(1)内螺纹安装有双向螺纹杆(2)，所述双向螺纹杆(2)的顶端延伸至打磨箱(1)外，所述双向螺纹杆(2)的顶端固定安装有转盘一(3)，其特征在于，还包括：
2.根据权利要求1所述的一种碲锌镉单晶外延片高精度磨边装置，其特征在于：所述圆形盘(4)的底部设置有调节机构，所述调节机构包括转动安装在圆形盘(4)底部的圆筒(9)，所述圆筒(9)的外壁上固定套设有圆板(10)，所述圆板(10)上开设有若干个曲形限位槽(11)，若干个所述限位杆(8)的底端分别延伸至若干个曲形限位槽(11)内分别与若干个曲形限位槽(11)相适配，所述圆板(10)的外壁上固定安装有若干个齿牙(12)。
3.根据权利要求2所述的一种碲锌镉单晶外延片高精度磨边装置，其特征在于：所述圆形盘(4)上开合机构，所述开合机构包括滑动安装在打磨箱(1)顶部的转杆(13)，所述转杆(13)的顶端固定安装有转盘二(14)，所述转杆(13)贯穿圆形盘(4)并与圆形盘(4)转动连接，所述转杆(13)上固定套设有齿轮(15)，所述齿轮(15)与若干个齿牙(12)相啮合。
4.根据权利要求1所述的一种碲锌镉单晶外延片高精度磨边装置，其特征在于：所述打磨箱(1)内设置有转动机构，所述转动机构包括固定安装在打磨箱(1)底部内壁上的若干个支撑杆(16)，若干个所述支撑杆(16)的顶部固定安装有安装板(17)，所述安装板(17)的顶部转动安装有蜗杆(18)，所述打磨箱(1)的底部内壁上固定安装有驱动电机(19)，所述蜗杆(18)贯穿安装板(17)并与驱动电机(19)的输出轴固定连接。
5.根据权利要求4所述的一种碲锌镉单晶外延片高精度磨边装置，其特征在于：所述蜗杆(18)的顶端设置有固定机构，所述固定机构包括固定安装在蜗杆(18)顶端放置的圆板(20)，所述放...
【专利技术属性】
技术研发人员：王夏芳，李伟东，常文峰，
申请(专利权)人：安徽承禹半导体材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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