【技术实现步骤摘要】
本申请涉及蒸镀装置冷却的，尤其是涉及一种蒸镀装置。
技术介绍
1、参照图1，在具有电子发射装置和坩埚的蒸镀装置中，电子发射装置向在蒸镀装置中的坩埚中的金属发射电子束，电子束的能量使得金属材料中的部分原子获得足够的能量，从而使得坩埚中的金属气化为金属蒸气。金属蒸气上升到基板上，在基板上形成蒸镀膜。
2、参照图2，在实际使用过程中，虽然电子发射装置发射的电子束大部分都能进入到真空容器1中，但会有一部分电子束散射到真空容器1的腔室横板11的内表面上，由于电子发射装置发射的电子束的能量较大，进而导致腔室横板11的温度较高，进而使得腔室横板11产生较大的热变形，这种热变形往往是不可逆的。而电子发射装置安装在法兰盘2上，法兰盘2又固定设置在腔室横板11上，腔室横板11较大的变形会使得电子发射装置的位置发生偏移，进而使得电子束的入射角度发生较大的变化，使得电子束不能对准坩埚中的金属，降低了坩埚中的金属的气化效率。
技术实现思路
1、本申请的目的是提供一种蒸镀装置，有助于解决电子的入射角度容易发生较大变化的问题。
2、本申请提供的一种蒸镀装置采用如下的技术方案，包括：
3、真空容器，开设有第一通孔；
4、法兰盘，固定连接在所述真空容器的外侧壁，所述法兰盘开设有第二通孔，所述第二通孔与所述第一通孔相互连通；
5、电子枪，与所述法兰盘固定连接，所述电子枪的输出端朝向第二通孔；
6、控制板，设置在所述真空容器背离法兰盘的一侧且位于所
7、降温装置，设置在所述真空容器靠近第一通孔的位置处，所述降温装置用于降低真空容器侧壁的温度。
8、通过上述的技术方案，有助于解决电子的入射角度容易发生较大变化的问题。当第一通孔处的腔室横板以及控制板由于电子的能量发生较大的热变形时，会使得电子枪发射的电子严重偏移预设位置。而将降温装置设置在真空容器靠近第一通孔的位置处，则能够大大限制控制板以及第一通孔处的腔室横板的温度，使得控制板以及第一通孔处的腔室横板不会发生较大的形变，从而使得电子枪发射的大部分电子都能够抵达预设位置。
9、可选的，所述降温装置为隔热环，所述隔热环分为隔热部与第一抵接部，所述隔热部与所述第一通孔的孔壁以及所述第二通孔的孔壁抵接，所述第一抵接部固定在所述隔热部的一端，所述第一抵接部与所述控制板面向所述电子枪输出端的一侧连接。
10、通过上述的技术方案，达到了降低了电子的入射角度偏移的效果。隔热环提供了隔热保护，可以减少电子枪发射的电子的高能量对控制板以及真空容器侧壁造成的热应力，降低控制板以及真空容器的腔室横板的形变，进而使得电子枪发射的电子能够抵达预设位置，提高蒸镀装置的蒸镀质量。
11、可选的，所述第一抵接部的外周面设置有第二抵接部，所述第二抵接部的一侧面与所述控制板面向所述电子枪的一侧抵接，所述第二抵接部的另一侧面与所述真空容器的内侧壁抵接。
12、通过上述的技术方案，达到了防止热量从控制板传递到真空容器的侧壁上的效果。第二抵接部设置在第一抵接部的外周面，第二抵接部的一侧与真空容器的内侧壁抵接，第二抵接部的另一侧与控制板抵接，第二抵接部使得控制板与真空容器的内侧壁之间的连接更加稳定，第二抵接部起到类似垫片的作用，降低了隔热环在蒸镀过程中的松动风险。而且如果没有第二抵接部，热量会从控制板的入射孔的侧壁传递到控制板上，再从控制板上传递到真空容器的内侧壁上，进而使得内侧壁受热变形，进而导致电子枪的电子无法到达预设位置。而在第一抵接部的外周设置了第二抵接部，则能有效阻止热量从控制板传递到真空容器的侧壁上。
13、可选的，所述隔热部、第一抵接部以及第二抵接部主要由多层隔热板组成。
14、通过上述的技术方案，达到了高效隔热的效果。多层隔热板的设计可以有效地提供多层隔热效果，不同层次的隔热板能够形成温度梯度，限制热量的传递，大大降低热量传导到真空容器侧壁的风险，进而使得真空容器的侧壁保持低温状态，使得电子枪发射的大部分电子都能够到达预设位置。
15、可选的，多层所述隔热板之间设置有真空层。
16、通过上述的技术方案，达到了减少隔热材料使用的同时，显著提高多层隔热板的隔热性能的效果。真空是一种优良的隔热介质，真空中既无法导热，又无法对流，而在多层隔热板之间设置真空层可以有效地阻止热量的传导，在减少隔热材料使用的同时，能够显著提高多层隔热板的隔热性能。
17、可选的，还包括磁聚焦组件，所述磁聚焦组件设置于所述隔热部的内腔，所述控制板开设有偏离所述控制板中心的入射孔，所述磁聚焦组件用于将电子聚焦到所述入射孔。
18、通过上述的技术方案，达到了使蒸镀过程更加高效的效果。磁聚焦组件可以通过控制磁场的强度和方向，使得电子枪发射的电子直接聚焦到控制板的入射孔上，使得电子更加集中，使电子保持较小的束斑直径和更高的聚焦度，可以使更多的电子能量直接射向坩埚中的金属，减少能量损失，提高了能量利用率，使蒸镀过程更加高效。
19、可选的，所述隔热环转动安装于第一通孔的内壁，所述隔热环的旋转轴线的延伸方向与所述电子枪的入射方向平行。
20、通过上述的技术方案，达到了能够灵活调整电子的入射位置的效果。当需要对坩埚中的金属进行加热时，电子都是通过控制板的入射孔进入真空容器内的。当需要调整电子的入射位置时，由于控制板的一端与隔热环的第二抵接部抵接，只需要转动隔热环便可带动控制板旋转。又由于控制板的入射孔偏离控制板中心，当控制板进行旋转时，电子进入坩埚内的位置也会随之改变。如此，通过旋转隔热环带动控制板旋转，进而便能够灵活调整电子的入射位置。
21、可选的，所述隔热环与所述控制板一体成型。
22、通过上述的技术方案，达到了减少了可能出现的配件安装错误以及配件松动的风险的效果。隔热环与控制板一体成型，这种紧密结合确保了隔热环与控制板之间的稳固连接，防止在蒸镀过程中隔热环与控制板发生相对运动，进而使得控制板偏离预设位置，进而造成电子枪发射的电子无法到达预设的位置的情况发生，而且减少了可能出现的配件安装错误以及配件松动的风险。
23、可选的，所述隔热环的材料为低热导率的材料。
24、通过上述的技术方案，达到了为真空容器、法兰盘以及控制板提供良好的隔热保护的效果。低热导率的材料能够有效地减缓热量的传导，进而为真空容器、法兰盘以及控制板提供良好的隔热保护，降低热量对它们的影响，进而使得电子枪发射的电子能够精确地到达预设位置。
25、综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：
26、1.真空容器上开设有第一通孔，法兰盘固定连接在真空容器的外侧壁，法兰盘开设有第二通孔，第二通孔与第一通孔相互连通，电子枪与法兰盘固定连接，电子枪的输出端朝向第二通孔。控制板设置在真空容器背离法兰盘的一侧且位于第一通孔的孔口本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括:
2.根据权利要求1所述的一种蒸镀装置，其特征在于：所述降温装置（5）为隔热环（51），所述隔热环（51）分为隔热部（511）与第一抵接部（512），所述隔热部（511）与所述第一通孔（12）的孔壁以及所述第二通孔（21）的孔壁抵接，所述第一抵接部（512）固定在所述隔热部（511）的一端，所述第一抵接部（512）与所述控制板（4）面向所述电子枪（3）输出端的一侧连接。
3.根据权利要求2所述的一种蒸镀装置，其特征在于：所述第一抵接部（512）的外周面设置有第二抵接部（513），所述第二抵接部（513）的一侧面与所述控制板（4）面向所述电子枪（3）的一侧抵接，所述第二抵接部（513）的另一侧面与所述真空容器（1）的内侧壁抵接。
4.根据权利要求3所述的一种蒸镀装置，其特征在于：所述隔热部（511）、第一抵接部（512）以及第二抵接部（513）主要由多层隔热板（514）组成。
5.根据权利要求4所述的一种蒸镀装置，其特征在于：多层所述隔热板（514）之间设置有真空层（515）。
6.根据
7.根据权利要求6所述的一种蒸镀装置，其特征在于：所述隔热环（51）转动安装于第一通孔（12）的内壁，所述隔热环（51）的旋转轴线的延伸方向与所述电子枪（3）的入射方向平行。
8.根据权利要求2所述的一种蒸镀装置，其特征在于：所述隔热环（51）与所述控制板（4）一体成型。
9.根据权利要求2所述的一种蒸镀装置，其特征在于：所述隔热环（51）的材料为低热导率的材料。
...【技术特征摘要】
1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括:
2.根据权利要求1所述的一种蒸镀装置，其特征在于：所述降温装置（5）为隔热环（51），所述隔热环（51）分为隔热部（511）与第一抵接部（512），所述隔热部（511）与所述第一通孔（12）的孔壁以及所述第二通孔（21）的孔壁抵接，所述第一抵接部（512）固定在所述隔热部（511）的一端，所述第一抵接部（512）与所述控制板（4）面向所述电子枪（3）输出端的一侧连接。
3.根据权利要求2所述的一种蒸镀装置，其特征在于：所述第一抵接部（512）的外周面设置有第二抵接部（513），所述第二抵接部（513）的一侧面与所述控制板（4）面向所述电子枪（3）的一侧抵接，所述第二抵接部（513）的另一侧面与所述真空容器（1）的内侧壁抵接。
4.根据权利要求3所述的一种蒸镀装置，其特征在于：所述隔热部（511）、第一抵接部（512）以及第二抵接部（513）主要由...
【专利技术属性】
技术研发人员：尹翔，
申请(专利权)人：北京北方华创真空技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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