【技术实现步骤摘要】
本技术涉及碳化硅晶圆，具体涉及一种带防护罩的碳化硅晶片单面研磨机。
技术介绍
1、碳化硅是一种无机化合物，具有高硬度、高熔点和优异的热导性能。碳化硅常用作耐高温材料，电子元件的制造以及磨料等领域，因其在极端条件下表现出色而备受关注。
2、中国专利公开了一种碳化硅晶圆的研磨抛光设备(公开号：cn217992125u)，该装置通过防护罩用于减少灰尘，通过研磨抛光机用来对碳化硅晶圆进行研磨抛光的，通过抛光座用于将左边端储料盘和右边端储料盘进行放置操作的，通过左边端储料盘和右边端储料盘用于增加取料存放的空间，通过支撑柱用于将定位压板安装定位，但装置中还存在如下缺陷：
3、上述装置中防护罩仅是在研磨抛光机和抛光座外侧设置的隔离结构，且防护罩的体积过大，在使用研磨抛光机对碳化硅晶片进行打磨时，产生的灰尘可能会分散在防护罩内部的各处，从而在对防护罩内部进行清理时，可能会增大清理的难度。
技术实现思路
1、本技术所要解决的技术问题如下：
2、在使用研磨抛光机对碳化硅晶片进行打磨时，产生的灰尘可能会分散在防护罩内部的各处，从而在对防护罩内部进行清理时，可能会增大清理的难度。
3、本技术的目的可以通过以下技术方案实现：
4、一种带防护罩的碳化硅晶片单面研磨机，包括装置主体，所述装置主体的中部设置有防护机构，所述装置主体的内部设置有研磨机和抽风机；
5、还包括：
6、其中，所述防护机构包括防护罩，所述防护罩为收尾相连的环
7、其中，所述防护罩的底部中间开设有通槽，且所述防护罩的通槽设置为环形；
8、其中，所述防护罩的底部且位于通槽的外侧壁滑动连接有集尘管，且所述集尘管设置为环形。
9、作为本技术进一步的方案：所述防护罩的底部且位于集尘管的两侧固定安装有连接套，所述连接套对称设置在集尘管上方的两侧，且所述集尘管成对排列在防护罩底部的四周。
10、作为本技术进一步的方案：所述连接套的中部镂空，所述连接套中部内部滑动连接有卡块，所述卡块靠近连接套镂空处的一端开设有斜面，且所述卡块的外壁斜面处朝下，所述卡块的；另一侧固定连接有弹簧，且所述弹簧的另一端与连接套固定连接，所述卡块和弹簧对称设置在连接套的内壁两侧。
11、作为本技术进一步的方案：所述集尘管的顶部且位于各个连接套的下方均固定安装有连接轴，所述连接轴的顶部设置为半球体，所述连接轴的外壁且位于半球体的下方套设有挤压环，所述挤压环的上端和下端均设置为椎体，且所述挤压环的中部直径大于顶端和底端直径，且所述连接轴位于半球体的底部与挤压环卡合连接。
12、作为本技术进一步的方案：所述连接轴位于半球体的外侧壁与连接套内壁滑动连接，且所述连接轴的外侧壁与卡块滑动连接，且所述挤压环的外侧壁与卡块滑动连接。
13、作为本技术进一步的方案：所述装置主体包括底座，所述底座的顶部一侧固定安装有放置台，所述放置台的顶部外侧与防护罩固定安装，所述放置台的顶部且位于防尘网一的内侧开设有积尘槽，所述积尘槽设置为环形，所述放置台的顶部且靠近积尘槽的一端开设有收集槽。
14、作为本技术进一步的方案：所述底座的顶部另一端与抽风机固定安装，所述抽风机的抽气口固定安装有连接管，所述连接管的另一端与连接口固定连接，所述抽风机的出气口固定连接有防尘布袋。
15、本技术的有益效果：
16、(1)本技术通过在放置台的侧边设置防护机构，对碳化硅晶片打磨时产生的灰尘进行阻挡，防护机构内部起到拦截灰尘作用的防护罩连接抽风机，当启动抽风机时，防护罩在碳化硅晶片的周围形成负压，进而形成气流推动灰尘和碎渣进入积尘槽内，工作结束后，可通过收集槽将积尘槽内部的碎渣扫出；
17、(2)部分较小的灰尘颗粒停留在防护罩内部，而防护罩的底部设置便于拆装的积尘管，通过向上推动接着向下压动积尘管即可快速将其拆卸，方便对积尘管内部灰尘进行清理；
18、(3)装置中抽风机的出气口连接了防尘布袋，部分小颗粒灰尘穿过抽风机后从出气口排出，而防尘布袋对这些灰尘进行拦截和收集，防止污染外界环境。
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1.一种带防护罩的碳化硅晶片单面研磨机，包括装置主体(1)，所述装置主体(1)的中部设置有防护机构(2)，所述装置主体(1)的内部设置有研磨机(104)和抽风机(105)；
2.根据权利要求1所述的一种带防护罩的碳化硅晶片单面研磨机，其特征在于，所述防护罩(201)的底部且位于集尘管(205)的两侧固定安装有连接套(206)，所述连接套(206)对称设置在集尘管(205)上方的两侧，且所述集尘管(205)成对排列在防护罩(201)底部的四周。
3.根据权利要求2所述的一种带防护罩的碳化硅晶片单面研磨机，其特征在于，所述连接套(206)的中部镂空，所述连接套(206)中部内部滑动连接有卡块(209)，所述卡块(209)靠近连接套(206)镂空处的一端开设有斜面，且所述卡块(209)的外壁斜面处朝下，所述卡块(209)的；另一侧固定连接有弹簧(210)，且所述弹簧(210)的另一端与连接套(206)固定连接，所述卡块(209)和弹簧(210)对称设置在连接套(206)的内壁两侧。
4.根据权利要求1所述的一种带防护罩的碳化硅晶片单面研磨机，其特征在
5.根据权利要求4所述的一种带防护罩的碳化硅晶片单面研磨机，其特征在于，所述连接轴(207)位于半球体的外侧壁与连接套(206)内壁滑动连接，且所述连接轴(207)的外侧壁与卡块(209)滑动连接，且所述挤压环(208)的外侧壁与卡块(209)滑动连接。
6.根据权利要求1所述的一种带防护罩的碳化硅晶片单面研磨机，其特征在于，所述装置主体(1)包括底座(101)，所述底座(101)的顶部一侧固定安装有放置台(102)，所述放置台(102)的顶部外侧与防护罩(201)固定安装，所述放置台(102)的顶部且位于防尘网一(202)的内侧开设有积尘槽(103)，所述积尘槽(103)设置为环形，所述放置台(102)的顶部且靠近积尘槽(103)的一端开设有收集槽(108)。
7.根据权利要求6所述的一种带防护罩的碳化硅晶片单面研磨机，其特征在于，所述底座(101)的顶部另一端与抽风机(105)固定安装，所述抽风机(105)的抽气口固定安装有连接管(106)，所述连接管(106)的另一端与连接口(204)固定连接，所述抽风机(105)的出气口固定连接有防尘布袋(107)。
...【技术特征摘要】
1.一种带防护罩的碳化硅晶片单面研磨机，包括装置主体(1)，所述装置主体(1)的中部设置有防护机构(2)，所述装置主体(1)的内部设置有研磨机(104)和抽风机(105)；
2.根据权利要求1所述的一种带防护罩的碳化硅晶片单面研磨机，其特征在于，所述防护罩(201)的底部且位于集尘管(205)的两侧固定安装有连接套(206)，所述连接套(206)对称设置在集尘管(205)上方的两侧，且所述集尘管(205)成对排列在防护罩(201)底部的四周。
3.根据权利要求2所述的一种带防护罩的碳化硅晶片单面研磨机，其特征在于，所述连接套(206)的中部镂空，所述连接套(206)中部内部滑动连接有卡块(209)，所述卡块(209)靠近连接套(206)镂空处的一端开设有斜面，且所述卡块(209)的外壁斜面处朝下，所述卡块(209)的；另一侧固定连接有弹簧(210)，且所述弹簧(210)的另一端与连接套(206)固定连接，所述卡块(209)和弹簧(210)对称设置在连接套(206)的内壁两侧。
4.根据权利要求1所述的一种带防护罩的碳化硅晶片单面研磨机，其特征在于，所述集尘管(205)的顶部且位于各个连接套(206)的下方均固定安装有连接轴(207)，所述连接轴(207)的顶部设置为半球体，所述连接轴(207)的外壁且位于半球体的下方套设有挤压环(...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈宇翔，翟会阳，李永波，李纪宏，
申请(专利权)人：苏州万龙达电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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