【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种排风系统领域，具体而言，涉及一种晶圆排风系统及控制方法。
技术介绍
1、随着科技的不断发展，半导体制造过程中，对晶圆排风系统的要求不断提高。现阶段内，排风系统难以保证晶圆在排风系统所要到达的洁净程度和内部对进出气流的精准控制；以及对于晶圆检测数据的增加，与之匹配的传感器设置于排风系统当中，导致内部管路与排风系统框架相互交错，影响对内部气流流向和流量的控制，不利于对排风系统内部晶圆的精准监控。
技术实现思路
1、本专利技术解决的问题是如何实现晶圆排风系统中气流的有效控制，以及防止内部结构过于复杂的问题。
2、为解决上述问题，本专利技术提供了一种晶圆排风系统，包括：送风管路、排风管路、存放装置和腔体，其中，送风管路为引导气流流通的管道，包括：公共管道和衔接管道，公共管道用于引导气流流入的管道；衔接管道连接公共管道；排风管路用于引导气流流出的管道；存放装置与衔接管道连接；公共管道与衔接管道形成腔体，腔体位于存放装置一侧；其中，排风管路位于送风管路同侧。
3、与现有技术相比，采用该技术方案后所达到的技术效果：送风管路与排风管路代替现有技术中排风系统的框架结构，增强晶圆排风系统的机械强度和稳定性；排风管路与送风管路同侧安装，有助于简化晶圆排风系统内部的安装过程，便于维修；作为框架结构的一部分，管路可以帮助分散和减轻由设备运转产生的振动，从而减少对其他部件的影响。
4、进一步的，晶圆排风系统还包括：控制组件，控制组件设置于送风管路和/或排风
5、与现有技术相比，采用该技术方案后所达到的技术效果：对送风管路与排风管路精准控制，提高了晶圆排风系统的精确控制能力。
6、进一步的，控制组件，包括：旋钮、隔层和阀门叶片，旋钮设于送风管路和/或排风管路外；隔层设置于送风管路和/或述排风管路表面；阀门叶片设于送风管路和/或排风管路内；其中，旋钮控制阀门叶片转动，控制送风管路和/或排风管路内气流量。
7、与现有技术相比，采用该技术方案后所达到的技术效果：通过采用旋钮控制阀门叶片的方式，可以更精确地调节送风管路和排风管路中的气流量，从而实现对气流速度和压力的精细控制，提高系统的稳定性和效率。
8、进一步的，控制组件还包括：第一控制阀与第二控制阀，第一控制阀设于衔接管道，控制进入存放装置的气流流量；第二控制阀设于排风管路，控制排出腔体的气流流量。
9、与现有技术相比，采用该技术方案后所达到的技术效果：通过增设第一控制阀与第二控制阀，可以更精确地控制进入存放装置和从腔体排出的气流流量，从而更好地维持腔体内的压力平衡，确保系统运行的稳定性和可靠性。
10、进一步的，存放装置包括：壳体和滤网，壳体设有第一开口和第二开口，第一开口与衔接管道连接，第二开口安装滤网；滤网与壳体连接；其中，腔体位于滤网的一侧，滤网供气流流入腔体。
11、与现有技术相比，采用该技术方案后所达到的技术效果：通过采用带有滤网的壳体设计，提高空气质量，从而保障半导体制造过程中的环境清洁度。
12、进一步的，晶圆排风系统还包括：电控装置，电控装置位于腔体一侧，电控装置监测腔体内气体参数。
13、与现有技术相比，采用该技术方案后所达到的技术效果：通过在腔体一侧设置电控装置来监测气体参数，可以实时监控腔体内的气压和其他关键参数，确保系统在最佳状态下运行，提高系统的可控性和响应速度。
14、进一步的，电控装置包括：检测装置和检测通道，其中，检测装置位于电控装置远离腔体的一侧，检测腔体的气压值；检测通道位于电控装置远离检测装置的一侧，检测通道与检测装置连接；其中，腔体位于检测通道一侧，便于检测装置进行检测。
15、与现有技术相比，采用该技术方案后所达到的技术效果：通过设置专门的检测装置和检测通道，可以更准确地测量腔体内的气压值，为系统提供实时的数据支持，提高监测的准确性。
16、进一步的，电控装置上设有显示框，显示框与检测装置连接，用于查看腔体的气压值。
17、与现有技术相比，采用该技术方案后所达到的技术效果：通过在电控装置上设置显示框，操作人员可以直接查看腔体内的气压值，方便快速地了解系统状态，提高操作便捷性和系统的可操作性。
18、进一步的，衔接管道与排风管路设有检修板，便于控制组件的维修。
19、与现有技术相比，采用该技术方案后所达到的技术效果：通过在衔接管道与排风管路上设置检修板，可以方便地进行控制组件的维修和更换，提高系统的可用性和维护效率。
20、为解决上述问题，本专利技术提供一种晶圆排风系统的控制方法，控制方法通过任一项晶圆排风系统实现，晶圆排风系统包括控制组件包括：第一控制阀，第一控制阀一端设有第一旋钮，另一端为阀门叶片设置于送风管路内；第二控制阀，第二控制阀一端设有第二旋钮，另一端为阀门叶片设置于排风管路内；控制方法包括：控制第一控制阀与第二控制阀，将排气压力调至设定压力，当压力值低于设定压力时，设备报警停机。
21、与现有技术相比，采用该技术方案后所达到的技术效果：通过控制第一控制阀与第二控制阀来调节排气压力至设定压力，并在压力值低于设定值时报警停机，可以确保系统在安全范围内运行，避免因压力异常而导致的生产事故，提高系统的安全性。
22、综上所述，本申请上述各个技术方案可以具有如下一个或多个优点或有益效果：i)通过将管路作为框架结构使用，可以减少额外支撑结构的需求，节省空间并简化排风系统的布局。ii）利用现有管路作为结构支撑可以减少材料的使用，从而降低成本。iii）减少晶圆排风系统内部结构件的数量意味着安装过程更加简单快捷，同时也有助于简化维护过程，因为减少了潜在故障点。iv）送风管路与排风管路上设有控制组件，对进入腔体内部的气流精准控制。v)存放装置设有滤网有利于气流的流通。
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1.一种晶圆排风系统（100），其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的晶圆排风系统（100），其特征在于，还包括：
3.根据权利要求2所述的晶圆排风系统（100），其特征在于，所述控制组件（150），包括：旋钮（151）、隔层（152）和阀门叶片（153），所述旋钮（151）设于所述送风管路（110）和/或所述排风管路（120）外；所述隔层（152）设置于所述送风管路（110）和/或述排风管路（120）表面；所述阀门叶片（153）设于所述送风管路（110）和/或所述排风管路（120）内；其中，所述旋钮（151）控制所述阀门叶片（153）转动，控制所述送风管路（110）和/或所述排风管路（120）内气流量。
4.根据权利要求3所述的晶圆排风系统（100），其特征在于，所述控制组件（150）还包括：第一控制阀（154）与第二控制阀（155），所述第一控制阀（154）设于所述衔接管道（112），控制进入所述存放装置（130）的气流流量；所述第二控制阀（155）设于所述排风管路（120），控制排出所述腔体（140）的气流流量。
5.根
6.根据权利要求1所述的晶圆排风系统（100），其特征在于，还包括：
7.根据权利要求6所述的晶圆排风系统（100），其特征在于，电控装置（160）包括：
8.根据权利要求7所述的晶圆排风系统（100），其特征在于，所述电控装置（160）上设有显示框（163），所述显示框（163）与所述检测装置（161）连接，用于查看所述腔体（140）的气压值。
9.根据权利要求2所述的晶圆排风系统（100），其特征在于，所述衔接管道（112）与所述排风管路（120）设有检修板（170），便于所述控制组件（150）的维修。
10.一种晶圆排风系统（100）的控制方法，所述控制方法通过权利要求1至9中任一项晶圆排风系统（100）实现，其特征在于，所述晶圆排风系统（100）包括控制组件（150）包括：第一控制阀（154），所述第一控制阀（154）一端设有第一旋钮（151），另一端为阀门叶片（153）设置于所述送风管路（110）内；第二控制阀（155），所述第二控制阀（155）一端设有第二旋钮（151），另一端为阀门叶片（153）设置于所述排风管路（120）内；
...【技术特征摘要】
1.一种晶圆排风系统（100），其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的晶圆排风系统（100），其特征在于，还包括：
3.根据权利要求2所述的晶圆排风系统（100），其特征在于，所述控制组件（150），包括：旋钮（151）、隔层（152）和阀门叶片（153），所述旋钮（151）设于所述送风管路（110）和/或所述排风管路（120）外；所述隔层（152）设置于所述送风管路（110）和/或述排风管路（120）表面；所述阀门叶片（153）设于所述送风管路（110）和/或所述排风管路（120）内；其中，所述旋钮（151）控制所述阀门叶片（153）转动，控制所述送风管路（110）和/或所述排风管路（120）内气流量。
4.根据权利要求3所述的晶圆排风系统（100），其特征在于，所述控制组件（150）还包括：第一控制阀（154）与第二控制阀（155），所述第一控制阀（154）设于所述衔接管道（112），控制进入所述存放装置（130）的气流流量；所述第二控制阀（155）设于所述排风管路（120），控制排出所述腔体（140）的气流流量。
5.根据权利要求1所述的晶圆排风系统（100），其特征在于...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨新锐，
申请(专利权)人：宁波润华全芯微电子设备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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