【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及硅片制造设备，更具体地说，它涉及一种反应腔外部水冷环结构。
技术介绍
1、硅片在真空反应腔进行反应时，为了能够提高真空反应腔内冷却效率，通常是在腔体的体壁厚内部加工散热水道、或在外表面焊接散热水道，在内部加工散热水道的成本较高，而在外表面直接焊接水道既增加了体积，同时也使得冷却接触面减少，冷却效果差。因此，亟需一个既能够控制外部装置成本，又能够提高冷却效率的冷却结构来解决上述技术问题。
技术实现思路
1、本专利技术克服了现有技术中真空反应腔外部加工散热水道成本高、冷却效果差的不足，提供了一种反应腔外部水冷环结构，它能够提高冷却的效率，同时生产成本低的优点。
2、为了解决上述技术问题，本专利技术采用以下技术方案：一种反应腔外部水冷环结构，包括：同心设置的内环壁和外环壁，内环壁和外环壁之间形成环形散热腔，在内环壁和外环壁的两端分别设置有上法兰和下法兰，上法兰和下法兰使得环形散热腔形成封闭结构；在环形散热腔内设置有散热水道，散热水道的一端设置有进水接口，散热水道的另一端设置有出水接口；冷却水从进水接口进入散热水道后从出水接口流出。
3、本专利技术中，在内环壁和外环壁之间形成环形散热腔，并通过将上法兰和下法兰设置在环形散热腔轴向方向的两端，从而在内环壁和外环壁、上法兰和下法兰之间的配合下，将环形散热腔合围成一个封闭的环形散热腔。在环形散热腔内设置有散热水道，散热水道的一端设置有进水接口、另一端设置有出水接口，当降温水从进水接口进入环形散热腔之后，降温水
4、作为优选，散热水道包括若干个沿着轴向方向设置的隔板环，若干个隔板环将环形散热腔分隔成若干个沿轴线方向排列的散热小环腔，若干个隔板环上设置有至少一个将相邻散热小环腔相连通的隔板穿孔；进水接口和轴线方向底端的散热小环腔连通，出水接口和轴线方向顶端的散热小环腔连通。
5、通过在环形散热腔内设置若干个隔板环，并在隔板环上设置隔板穿孔，使得将环形散热腔分隔成若干个散热小环腔，而降温水通过隔板穿孔流进各个散热小环腔的过程中，使得能够提高降温水流动路径的长度，使得能够充分利用降温水来对内环壁进行散热。另外，进水接口和底端的散热小环腔联通，而出水接口和顶端的散热小环腔联通，在散热的时候，降温水能够充分的填满在环形散热腔内，从而提高冷却的效率。
6、作为优选，隔板环设置有一个。
7、设置一个隔板环，从而将内部的环形散热腔分隔成两个散热小环腔，适用于小型的真空反应腔。
8、作为优选，内环形散热腔内沿轴线方向设置有两个平行设置的水道隔板，两个水道隔板之间配合形成轴向水道；沿轴线方向底部的散热小环腔与进水接口连通；沿轴线方向顶部的散热小环腔和轴向水道连通，轴向水道的底部和出水接口连通。
9、通过上述设置，使得进水接口和出水接口都能够设置在同一法兰端，方便进水接口和出水接口的布置。
10、作为优选，进水接口贯穿设置在靠近轴向水道的下法兰上；若干个隔板环上设置有一个隔板穿孔，靠近下法兰的隔板环上的隔板穿孔设置在轴向水道远离进水接口的另一侧，相邻隔板环上的隔板穿孔交错的分布在轴向水道的两侧。
11、通过上述结构设置，使得能够增大降温水在环形散热腔内流动路径的周长，增大流经的区域，提高冷却的效率。
12、作为优选，轴向水道内设置有导流道，导流道向着出水接口的方向逐渐缩小。
13、导流块的设置能够促进接近出水接口处充分吸收热量的水流加速流出
14、作为优选，轴向水道内设置有导流块，导流块上倾斜设置有导流面，导流面和一侧的水道隔板配合形成导流道。通过导流块的配合，使得导流块的设置能够促进接近出水接口处充分吸收热量的水流加速流出。
15、作为优选，若干个隔板环在对应的位置上均设置有若干个灌水穿孔，灌水穿孔内设置有浮力开关；浮力开关包括灌水滑杆、设置在灌水滑杆上端的浮力球和设置在灌水滑杆上的若干个挡水罩；灌水滑杆穿设在同一轴向方向的若干个隔板环的灌水穿孔内，浮力球设置在最顶部的散热小环腔内，挡水罩的个数和隔板环的个数相对应。
16、通过浮力开关和灌水穿孔的配合，使得在最初对环形散热腔进行注水时，灌水穿孔处于开启状态，使得相邻的散热小环腔能够通过灌水穿孔来注水，能够提高注水的效率；而当最顶部的散热小环腔充满水之后，则依靠浮力球的浮力，将灌水穿孔阻挡，使得散热水道恢复正常的散热状态。
17、作为优选，挡水罩为圆锥形，灌水穿孔的下端设置有与挡水罩相配合的锥形口。
18、锥形的挡水罩和锥形口配合，能够使得灌水穿孔更好的封闭
19、作为优选，挡水罩的上表面设置有密封圈，锥形口内设置有和密封圈相配合的环槽。
20、通过环槽和密封圈的配合，能够提高挡水罩和锥形孔之间的密封性能。
21、与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：本专利技术通过在内环壁和外环壁之间形成环形散热腔，并通过将上法兰和下法兰设置在环形散热腔轴向方向的两端，从而在内环壁和外环壁、上法兰和下法兰之间的配合下，将环形散热腔合围成一个封闭的环形散热腔。在环形散热腔内设置有散热水道，散热水道的一端设置有进水接口、另一端设置有出水接口，当降温水从进水接口进入环形散热腔之后，降温水在散热水道内流动，从而将内环壁中间位置处的反应腔内的热量给带走，从而起到散热的作用，之后降温水再从出水接口流出，完成对内环壁和外环壁的降温。本申请相比于现有技术中，将反应腔的外壳设置成含有环形散热腔的结构，因此，相比于现有技术中在反应腔外壳设置散热水道来说，具有造价低的优点，且内环壁的厚度相比于直接在反应腔外壳设置散热水道的反应腔外壳的厚度来说，厚度能够更薄，从而散热的效率能够更高。
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1.一种反应腔外部水冷环结构，其特征是，包括：同心设置的内环壁和外环壁，内环壁和外环壁之间形成环形散热腔，在内环壁和外环壁的两端分别设置有上法兰和下法兰，上法兰和下法兰使得环形散热腔形成封闭结构；在环形散热腔内设置有散热水道，散热水道的一端设置有进水接口，散热水道的另一端设置有出水接口；冷却水从进水接口进入散热水道后从出水接口流出。
2.根据权利要求1所述的反应腔外部水冷环结构，其特征是，散热水道包括若干个沿着轴向方向设置的隔板环，若干个隔板环将环形散热腔分隔成若干个沿轴线方向排列的散热小环腔，若干个隔板环上设置有至少一个将相邻散热小环腔相连通的隔板穿孔；进水接口和轴线方向底端的散热小环腔连通，出水接口和轴线方向顶端的散热小环腔连通。
3.根据权利要求2所述的反应腔外部水冷环结构，其特征是，隔板环设置有一个。
4.根据权利要求2或3所述的反应腔外部水冷环结构，其特征是，内环形散热腔内沿轴线方向设置有两个平行设置的水道隔板，两个水道隔板之间配合形成轴向水道；沿轴线方向底部的散热小环腔与进水接口连通；沿轴线方向顶部的散热小环腔和轴向水道连通，轴向水
5.根据权利要求4所述的反应腔外部水冷环结构，其特征是，进水接口贯穿设置在靠近轴向水道的下法兰上；若干个隔板环上设置有一个隔板穿孔，靠近下法兰的隔板环上的隔板穿孔设置在轴向水道远离进水接口的另一侧，相邻隔板环上的隔板穿孔交错的分布在轴向水道的两侧。
6.根据权利要求4所述的反应腔外部水冷环结构，其特征是，轴向水道内设置有导流道，导流道向着出水接口的方向逐渐缩小。
7.根据权利要求6所述的反应腔外部水冷环结构，其特征是，轴向水道内设置有导流块，导流块上倾斜设置有导流面，导流面和一侧的水道隔板配合形成导流道。
8.根据权利要求2或3所述的反应腔外部水冷环结构，其特征是，若干个隔板环在对应的位置上均设置有若干个灌水穿孔，灌水穿孔内设置有浮力开关；浮力开关包括灌水滑杆、设置在灌水滑杆上端的浮力球和设置在灌水滑杆上的若干个挡水罩；灌水滑杆穿设在同一轴向方向的若干个隔板环的灌水穿孔内，浮力球设置在最顶部的散热小环腔内，挡水罩的个数和隔板环的个数相对应。
9.根据权利要求8所述的反应腔外部水冷环结构，其特征是，挡水罩为圆锥形，灌水穿孔的下端设置有与挡水罩相配合的锥形口。
10.根据权利要求8所述的反应腔外部水冷环结构，其特征是，挡水罩的上表面设置有密封圈，锥形口内设置有和密封圈相配合的环槽。
...【技术特征摘要】
1.一种反应腔外部水冷环结构，其特征是，包括：同心设置的内环壁和外环壁，内环壁和外环壁之间形成环形散热腔，在内环壁和外环壁的两端分别设置有上法兰和下法兰，上法兰和下法兰使得环形散热腔形成封闭结构；在环形散热腔内设置有散热水道，散热水道的一端设置有进水接口，散热水道的另一端设置有出水接口；冷却水从进水接口进入散热水道后从出水接口流出。
2.根据权利要求1所述的反应腔外部水冷环结构，其特征是，散热水道包括若干个沿着轴向方向设置的隔板环，若干个隔板环将环形散热腔分隔成若干个沿轴线方向排列的散热小环腔，若干个隔板环上设置有至少一个将相邻散热小环腔相连通的隔板穿孔；进水接口和轴线方向底端的散热小环腔连通，出水接口和轴线方向顶端的散热小环腔连通。
3.根据权利要求2所述的反应腔外部水冷环结构，其特征是，隔板环设置有一个。
4.根据权利要求2或3所述的反应腔外部水冷环结构，其特征是，内环形散热腔内沿轴线方向设置有两个平行设置的水道隔板，两个水道隔板之间配合形成轴向水道；沿轴线方向底部的散热小环腔与进水接口连通；沿轴线方向顶部的散热小环腔和轴向水道连通，轴向水道的底部和出水接口连通。
5.根据权利要求4所述的反应腔外部水冷环结构，其特征是，进水接...
【专利技术属性】
技术研发人员：王斌，郑胜华，祝伟生，王兴兴，黎继璇，
申请(专利权)人：浙江先导精密机械有限公司，
类型：发明
国别省市：
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