【技术实现步骤摘要】
本申请涉及数字图像处理技术，尤其涉及一种图像质量的检测方法、装置、电子设备及存储介质。
技术介绍
1、在半导体材料的制备领域，对半导体制备工艺的质量要求极高，先进工艺节点尤甚。为了表征工艺质量，在关键的工艺步骤完成后，需要对制备半导体材料的图案进行量测。
2、目前，在半导体图案边缘质量检测领域，常规sem图案质量的检测方法为：选定量测区域(采样)，设置量测窗口，提取量测窗口内结构边缘，测量边缘之间的几何尺寸(间隔、宽度、深度等)，计算平均量测参数。
3、上述常规量测方法可以看出，一方面，需要大量测试样本以保证统计的结构尺寸的覆盖够全面，但常规的平均操作又淹没了许多工艺过程中的异常情况，数据的统计处理方式必然会导致数据的颗粒度降低，从而对异常数据的敏感度不高，导致获取的统计特征值准确度偏低；另一方面，由于传统的采样方式需要遍历大量的图像数据，高分辨率图像数据的载入与视觉化呈现对资源消耗较大，导致数据处理速度慢。
技术实现思路
1、本申请提供一种图像质量的检测方法、装置、电子设备及存储介质，用以解决传统的图像质量的检测方法的精度不高导致检测准确性低，样本需求量大导致检测效率低的问题，实现提升处理图像的分辨率，降低对采样样本数量的需求以提升检测效率的技术效果。
2、一方面，本申请提供一种图像质量的检测方法，包括：
3、获取多个目标图像各自对应的边缘轮廓信息；
4、基于多个上述目标图像各自对应的边缘轮廓信息，确定多个上述目标图像的
5、根据多个上述目标图像的上述工艺变化带宽信息和预先确定的基准图像的基准带宽信息，确定多个上述目标图像各自与上述基准图像之间的边缘位置误差信息；
6、根据多个上述目标图像各自与上述基准图像之间的边缘位置误差信息，确定多个上述目标图像各自对应的图像质量。
7、可选的，在获取多个目标图像各自对应的边缘轮廓信息之前，上述方法还包括：
8、获取多个初始图像，其中，在同一工艺制造环节分次扫描同一结构得到多个初始图像；
9、分别对多个上述初始图像进行图像去噪处理，得到多个去噪后图像；
10、分别对多个上述去噪后图像进行图像对准处理，得到多个上述目标图像。
11、可选的，获取多个目标图像各自对应的边缘轮廓信息，包括：
12、采用边缘提取算法或边缘检测算法，提取多个上述目标图像各自对应的边缘轮廓信息。
13、可选的，基于多个上述目标图像各自对应的边缘轮廓信息，确定多个上述目标图像的工艺变化带宽信息，包括：
14、对多个上述目标图像各自对应的上述边缘轮廓信息进行二值转换处理，得到多个上述目标图像各自对应的二值化边缘图像；
15、对多个上述目标图像各自对应的二值化边缘图像进行矩阵或运算，得到待填补边缘带图像；
16、对待填补边缘带图像进行空隙填补处理，得到完整边缘带图像；
17、基于从完整边缘带图像提取到的边缘，确定多个上述目标图像的工艺变化带宽信息。
18、可选的，根据多个上述目标图像各自与上述基准图像之间的边缘位置误差信息，确定多个上述目标图像各自对应的图像质量，包括：
19、根据多个上述目标图像各自与上述基准图像之间的边缘位置误差信息，统计多个上述边缘位置误差信息的误差分布；
20、对多个上述边缘位置误差信息的误差分布进行拟合，以得到用于表征多个上述目标图像各自对应的图像质量的标准方差。
21、另一方面，本申请提供一种图像质量的检测装置，上述装置包括：
22、获取模块，用于获取多个目标图像各自对应的边缘轮廓信息；
23、第一确定模块，用于基于多个上述目标图像各自对应的边缘轮廓信息，确定多个上述目标图像的工艺变化带宽信息；
24、第二确定模块，用于根据多个上述目标图像的上述工艺变化带宽信息和预先确定的基准图像的基准带宽信息，确定多个上述目标图像各自与上述基准图像之间的边缘位置误差信息；
25、第三确定模块，用于根据多个上述目标图像各自与上述基准图像之间的边缘位置误差信息，确定多个上述目标图像各自对应的图像质量。
26、可选的，上述装置还包括：
27、图像获取模块，用于获取多个初始图像，其中，在同一工艺制造环节分次扫描同一结构得到多个初始图像；
28、对准处理模块，用于分别对多个上述初始图像进行图像去噪处理，得到多个去噪后图像；
29、去噪处理模块，用于分别对多个上述去噪后图像进行图像对准处理，得到多个上述目标图像。
30、可选的，上述获取模块包括：
31、提取单元，用于采用边缘提取算法或边缘检测算法，提取多个上述目标图像各自对应的边缘轮廓信息。
32、可选的，上述第一确定模块，包括：
33、对多个上述目标图像各自对应的上述边缘轮廓信息进行二值转换处理，得到多个上述目标图像各自对应的二值化边缘图像；
34、对多个上述目标图像各自对应的二值化边缘图像进行矩阵或运算，得到待填补边缘带图像；
35、对待填补边缘带图像进行空隙填补处理，得到完整边缘带图像；
36、基于从完整边缘带图像提取到的边缘，确定多个上述目标图像的工艺变化带宽信息。
37、可选的，上述第三确定模块，包括：
38、误差统计单元，用于根据多个上述目标图像各自与上述基准图像之间的边缘位置误差信息，统计多个上述边缘位置误差信息的误差分布；
39、拟合单元，用于对多个上述边缘位置误差信息的误差分布进行拟合，以得到用于表征多个上述目标图像各自对应的图像质量的标准方差。
40、另一方面，本申请提供一种电子设备，包括：处理器，以及与上述处理器连接的存储器；
41、上述存储器存储计算机执行指令；
42、上述处理器执行上述存储器存储的计算机执行指令，以实现如任一项上述的方法。
43、另一方面，本申请提供一种计算机可读存储介质，上述计算机可读存储介质中存储有计算机执行指令，上述计算机执行指令被处理器执行时用于实现如任一项上述的方法。
44、另一方面，本申请提供一种计算机程序产品，包括计算机程序，该计算机程序被处理器执行时实现任一项上述的方法。
45、本申请提供的图像质量的检测方法，通过获取多个目标图像各自对应的边缘轮廓信息；基于多个目标图像各自对应的边缘轮廓信息，确定多个目标图像的工艺变化带宽信息；根据多个目标图像的工艺变化带宽信息和预先确定的基准图像的基准带宽信息，确定多个目标图像各自与基准图像之间的边缘位置误差信息；根据多个目标图像各自与基准图像之间的边缘位置误差信息，确定多个目标图像各自对应的图像质量。用以解决传统的图像质量的检测方法的精度不高导致检测准确性低，样本需求量大导致检测效率低的问题，实现提本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种图像质量的检测方法，其特征在于，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在获取多个目标图像各自对应的边缘轮廓信息之前，所述方法还包括：
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，获取多个目标图像各自对应的边缘轮廓信息，包括：
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，基于多个所述目标图像各自对应的边缘轮廓信息，确定多个所述目标图像的工艺变化带宽信息，包括：
5.根据权利要求1至4中任意一项所述的方法，其特征在于，根据多个所述目标图像各自与所述基准图像之间的边缘位置误差信息，确定多个所述目标图像各自对应的图像质量，包括：
6.一种图像质量的检测装置，其特征在于，所述装置包括：
7.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述装置还包括：
8.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述获取模块包括：
9.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述第一确定模块，包括：
10.根据权利要求6至9中任意一项所述的装置，其特征在于，所述第三确定模块，包括：>
11.一种电子设备，其特征在于，包括：处理器，以及与所述处理器连接的存储器；
12.一种计算机可读存储介质，其特征在于，所述计算机可读存储介质中存储有计算机执行指令，所述计算机执行指令被处理器执行时用于实现如权利要求1至5中任一项所述的方法。
13.一种计算机程序产品，其特征在于，包括计算机程序，该计算机程序被处理器执行时实现权利要求1至5中任一项所述的方法。
...【技术特征摘要】
1.一种图像质量的检测方法，其特征在于，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在获取多个目标图像各自对应的边缘轮廓信息之前，所述方法还包括：
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，获取多个目标图像各自对应的边缘轮廓信息，包括：
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，基于多个所述目标图像各自对应的边缘轮廓信息，确定多个所述目标图像的工艺变化带宽信息，包括：
5.根据权利要求1至4中任意一项所述的方法，其特征在于，根据多个所述目标图像各自与所述基准图像之间的边缘位置误差信息，确定多个所述目标图像各自对应的图像质量，包括：
6.一种图像质量的检测装置，其特征在于，所述装置包括：
7.根据权利要...
【专利技术属性】
技术研发人员：周涛，李琛，时雪龙，
申请(专利权)人：上海集成电路研发中心有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。